一种空间曲梁六自由度微位移工作台的制作方法

文档序号:14475551阅读:来源:国知局
一种空间曲梁六自由度微位移工作台的制作方法

技术特征:

1.一种空间曲梁六自由度微位移工作台,其特征在于:包括基座(1)、工作台(2)、柔顺曲梁元件(3)、侧板(4)、Z型驱动架(5)、L型驱动架(6)和驱动微分头;所述的工作台(2)通过柔顺曲梁元件(3)安装到基座(1)上,所述的柔顺曲梁元件(3)有四组,分别安装在工作台(2)的四周;每组柔顺曲梁元件(3)由两段四分之一圆弧曲梁组成,呈“人”字型安装在工作台(2)的一侧;圆弧曲梁的上端固定在工作台(2)上、下端固定在基座(1)上;所述的侧板(4)有四个,分别安装在工作台(2)的四周;所述的Z型驱动架(5)有四个,分别固定在基座(1)四周;所述的L型驱动架(6)有两个,分别安装在工作台(2)两侧的基座(1)的上,所述的在Z型驱动架(5)和L型驱动架(6)上均安装水平驱动微分头;所述的在Z型驱动架(5)上均安装垂直驱动微分头。

2.根据权利要求1所述的一种空间曲梁六自由度微位移工作台,其特征在于:所述的Z型驱动架(5)安装在基座(1)的中心轴线上;所述的L型驱动架(6)安装在基座(1)同一中心轴线的两侧。

3.根据权利要求1所述的一种空间曲梁六自由度微位移工作台,其特征在于:所述的基座(1)水平面形状为方形。

4.根据权利要求1所述的一种空间曲梁六自由度微位移工作台,其特征在于:所述的圆弧曲梁的上端通过内六角圆柱头螺钉固定在工作台(2)侧边的中部。

5.根据权利要求1所述的一种空间曲梁六自由度微位移工作台,其特征在于:所述的Z型驱动架(5)通过内六角沉头螺钉固定在基座(1)四周的凹槽处。

6.根据权利要求1所述的一种空间曲梁六自由度微位移工作台,其特征在于:整个工作台为中心对称结构。

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