通用老化治具及老化设备的制作方法

文档序号:21681251发布日期:2020-07-31 21:53阅读:288来源:国知局
通用老化治具及老化设备的制作方法

本发明涉及半导体测试领域,更具体地说是一种通用老化治具及老化设备。



背景技术:

现有的半导体存储制造领域中,老化设备对ic存储产品进行老化。老化设备提供老化所需的温循环境,并通过硬件在上位机测试软件和测试产品之间建立通讯,以便在所需的温度环境中对ic产品进行老化测试。其中,测试老化治具便属于硬件组成中重要的一部分。

老化治具安装在老化设备中,并提供连接器接口使老化板与老化设备上位机完成测试通讯。现有的老化治具包括分别适配于monoflash产品的老化治具和适配于emmc产品的老化治具,老化治具功能单一,只适用于特定的对象,从而只能满足于上述两种产品中的一种,不具备兼容性和通用性,不能最大限度利用老化设备提供的温循环境。

公开于该背景技术部分的信息仅仅旨在加深对本发明的总体背景技术的理解,而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域技术人员所公知的现有技术。



技术实现要素:

本发明的目的在于克服现有技术的不足,提供一种通用老化治具及老化设备。

为实现上述目的,本发明采用以下技术方案:

本发明提出一种通用老化治具,包括固定底座,及设置于所述固定底座上的连接组件,以及两条正相对设置于固定底座的双层导轨,所述双层导轨的末端正对所述连接组件;

所述双层导轨包括设置于固定底座上的第一导轨单体,以及设置于第一导轨单体上的第二导轨单体,两条相对设置的所述第一导轨单体组成第一导轨组件,两条相对设置的所述第二导轨单体组成第二导轨组件,所述第一导轨单体和第二导轨单体的相对侧面均设置有导向用的轴承对,连接组件上设置有mono连接器和emmc连接器,所述第一导轨组件和第二导轨组件用于装载并导入mono老化板或emmc老化板,使mono老化板与mono连接器连接,或者,使emmc老化板与emmc连接器连接。

进一步地,所述第一导轨单体和第二导轨单体上均开设有若干个镂空孔。

进一步地,所述镂空孔为圆形、椭圆形或者矩形通孔。

进一步地,所述第二导轨单体通过螺栓固接于所述第一导轨单体构成所述双层导轨

进一步地,所述连接组件包括连接支架、第一连接器和第二连接器,所述连接支架包括第一安装板和第二安装板,所述第一安装板设置于所述固定底座上,所述第一安装板通过支撑柱连接第二安装板,所述第二安装板位于第一安装板的上方,所述第一连接器设置于第一安装板上表面,所述第二连接器设置于第二安装板的上表面,第一连接器和第二连接器为mono连接器或emmc连接器的一种,第一连接器和第二连接器不相同。

进一步地,所述连接组件还包括第一固定块和第二固定块,所述第一固定块固设于所述第一安装板,所述第一连接器固接于所述第一固定块上;所述第二固定块固设于第二安装板,所述第二连接器固接于所述第二固定块。

进一步地,所述连接组件还包括第一防撞块和第二防撞块,所述第一防撞块设置于所述第一安装板上,且位于所述第一连接器的前侧方,所述第二防撞块设置于第二安装板上,且位于所述第二连接器的前侧方。

进一步地,所述第一导轨单体或第二导轨单体的相对侧面沿水平方向设置有多个所述轴承对,所述轴承对包括两个沿竖直方向相邻设置的圆柱轴承,两个所述圆柱轴承之间为导向间隙,设置于同一所述第一导轨单体或第二导轨单体的多个轴承对的导向间隙构成导向通道,导向通道用于导入mono老化板或emmc老化板。

进一步地,所述圆柱轴承为高温圆柱轴承。

本发明还提出一种老化设备,包括如上任一项所述的通用老化治具。

本发明与现有技术相比的有益效果是:一种通用老化治具通过设置两个相对的双层导轨得到第一导轨组件和第二导轨组件,可以分别用于装入mono老化板或emmc老化板进行老化测试,不局限于只能测试一种老化板,提高老化测试设备的适用性,降低老化测试成本;同时,双层导轨部分镂空,既减轻了治具重量,还减小了治具的吸热,降低设备能耗。

上述说明仅是本发明技术方案的概述,为了能够更清楚了解本发明技术手段,可依照说明书的内容予以实施,并且为了让本发明的上述和其它目的、特征及优点能够更明显易懂,以下特举较佳实施例,详细说明如下。

附图说明

图1为本发明的通用老化治具的具体实施例的结构示意图;

图2为本发明的通用老化治具的具体实施例中的双层导轨的结构示意图;

图3为本发明的通用老化治具的具体实施例中的连接组件的结构示意图;

图4为本发明的通用老化治具的装入mono老化板的状态示意图;

图5为本发明的通用老化治具的装入emmc老化板的状态示意图。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白,下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细说明。

下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。

此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中,“多个”的含义是两个或两个以上,除非另有明确具体的限定。

在本发明中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解,例如,可以是连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触,也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方,或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本说明书的描述中,参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不应理解为必须针对的是相同的实施例或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外,本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例进行结合和组合。

参考图1-5,本发明提出一种通用老化治具,包括固定底座10,及设置于固定底座10上的连接组件20,以及两条正相对设置于固定底座10的双层导轨30,双层导轨30的末端正对连接组件20。具体的,双层导轨30包括设置于固定底座10上的第一导轨单体31,以及设置于第一导轨单体31上的第二导轨单体32,两条相对设置的第一导轨单体31组成第一导轨组件,两条相对设置的第二导轨单体32组成第二导轨组件,第一导轨单体31和第二导轨单体32的相对侧面均设置有导向用的轴承对40,连接组件20上设置有mono连接器和emmc连接器,第一导轨组件和第二导轨组件用于装载并导入mono老化板50或emmc老化板60,使mono老化板50与mono连接器连接,或者,使emmc老化板60与emmc连接器连接。

老化板在使用时,需放置在老化治具的双层导轨30上,导轨设计成双层的形式,且可拆卸,在合理地利用了设备空间的同时,还满足了两种老化板尺寸不一特性所带来的空间需求。具体的,本方案通过设置两个相对的双层导轨30得到第一导轨组件和第二导轨组件,可以分别用于装入mono老化板50或emmc老化板60进行老化测试,不同的老化板可以分别通过上/下层的导轨组件导入,并与连接组件20上的对应的连接器对应连接进行老化测试,提高老化设备的适用性,满足产品老化测试的兼容性需求,从而最大限度利用老化设备的温循环境,提高设备利用率,节省了老化测试成本与能源消耗。

如图2所示,在本实施例中,位于下层的第一导轨组件较宽,为mono老化板导轨组件,可以用于装载并导入mono老化板50;位于上层的第二导轨组件比第一导轨组件窄,为emmc老化板导轨组件,可以用于装载并导入emmc老化板60,如图1和2所示,两个双层导轨30之间的导入空间为上窄下宽的结构。在本发明的另一实施例中,位于下层的第一导轨组件也可以设置为较窄的emmc老化板导轨组件,位于上层的第二导轨组件可以为设置为较宽的mono老化板导轨组件,也即是双层导轨30为上宽下窄的结构。

具体的,位于上方的第二导轨单体32通过螺栓固接于第一导轨单体31构成双层导轨30,第一导轨单体31也通过螺栓可拆连接于固定底座10。通过螺栓连接的方式,能够实现第一导轨单体31和第二导轨单体32的快速拆卸和组装,提高双层导轨30的组装效率和兼容性,在后续需要测试其他规格的老化板时,可以直接根据需要更换对应的导轨单体,降低双层导轨30升级成本,同时提高双层导轨30的升级效率。

如图2所示,第一导轨单体31和第二导轨单体32上均开设有若干个镂空孔33,也即是双层导轨30部分镂空,在不降低双层导轨30支撑刚度和强度的同时,既减轻了老化治具本身总量,又免于治具置于老化设备中老化时过多吸热导致多余的能耗。

具体的,在本实施例中,镂空孔33为圆形、椭圆形或者矩形通孔等规则通孔,在其他一实施例中,镂空孔33还可以为其他不规则形状的通孔。

参考图2,第一导轨单体31或第二导轨单体32的相对侧面沿水平方向设置有多个轴承对40,轴承对40包括两个沿竖直方向相邻设置的圆柱轴承,两个圆柱轴承之间为导向间隙,设置于同一第一导轨单体31或第二导轨单体32的多个轴承对40的导向间隙构成导向通道,导向通道用于导入mono老化板50或emmc老化板60。圆柱轴承通过螺钉固定在双层导轨30上,还可以灵活地沿轴心转动,多个轴承对40同时具备良好的导向性与灵活性,可用于支撑并导入对应的老化板。在本实施例中,圆柱轴承为高温圆柱轴承,耐高温的高温圆柱轴承具有更长的使用寿命。

如图3所示,连接组件20包括连接支架、第一连接器23和第二连接器26,连接支架包括第一安装板21和第二安装板22,第一安装板21设置于固定底座10上,第一安装板21通过支撑柱连接第二安装板22,第二安装板22位于第一安装板21的上方,第一连接器23设置于第一安装板21上表面,第二连接器26设置于第二安装板22的上表面,第一连接器23和第二连接器26为mono连接器或emmc连接器的一种,第一连接器23和第二连接器26不相同。其中,连接支架上下两层对应双层导轨30的具体构成设置对应的连接器。具体的,当第一导轨组件为mono老化板导轨组件,第二导轨组件为emmc老化板导轨组件时,第一连接器23对应为mono连接器,第二连接器26对应为emmc连接器;当第一导轨组件为emmc老化板导轨组件,第二导轨组件为mono老化板导轨组件时,第一连接器23对应为emmc连接器,第二连接器26为mono连接器。以使emmc老化板60/mono老化板50通过第一导轨组件或第二导轨组件导入时,能够与连接支架上的emmc连接器/mono连接器对应连接,进行老化测试。

由于在尺寸上,mono连接器比emmc连接器更宽更长,放置在下方也更具备合理性,本实施例优选的将mono连接器和mono老化板导轨组件设置于下方。但是在具体实施过程中,不局限于mono连接器位于上方,emmc连接器位于下方的布局。

如图3所示,连接组件20还包括第一固定块24和第二固定块27,第一固定块24固设于第一安装板21,第一连接器23固接于第一固定块24上;第二固定块27固设于第二安装板22,第二连接器26固接于第二固定块27。第一固定块24和第二固定块27均固接于连接支架,并用于固定对应的第一连接器23和第二连接器26,固定块可以通过压紧固定或连接固定的方式来具体实现,保证第一连接器23和第二连接在与老化板连接时,不会轻易发生位移,保证老化治具的可靠性和稳定性。

如图3所示,连接组件20还包括第一防撞块25和第二防撞块28,第一防撞块25设置于第一安装板21上,且位于第一连接器23的前侧方,第二防撞块28设置于第二安装板22上,且位于第二连接器26的前侧方。第一防撞块25和第二防撞块28可避免老化板在导入并与连接器插接的过程中,老化板上面的金手指给对应连接器带来过大的冲击,进而损坏金手指或连接器,更好的保护连接器和老化板。

图4为通用老化治具与mono老化板50配套使用的状态,mono老化板50水平放置在轴承对40中间,给mono老化板50施加水平推力使其平移,并将mono老化板50的金手指插入mono连接器中,第一防撞块25位于mono连接器两侧,在此过程中可起缓冲作用,避免金手指与mono连接器产生强烈冲击,同时第一防撞块25可平衡受力,延长使用寿命。

图5为通用老化治具与emmc老化板60配套使用的状态图,emmc老化板60同样水平放置在轴承对40中间,给emmc老化板60施加水平推力使其平移,emmc老化板60的金手指插入emmc连接器中,第二防撞块28位于连接器两侧,在此过程中可起缓冲作用,避免金手指与emmc连接器产生强烈冲击。

本发明提供的一种通用老化治具,通过设置两个相对的双层导轨30得到第一导轨组件和第二导轨组件,可以分别用于装入mono老化板50或emmc老化板60进行老化测试,不局限于只能测试一种老化板,提高老化测试设备的适用性,降低老化测试成本;同时,双层导轨30部分镂空,既减轻了治具重量,还减小了治具的吸热,降低设备能耗。

本发明还提出一种老化设备,包括如上实施例所述的通用老化治具。

本发明提供的一种老化设备,老化设备中设置有通用老化治具,通过设置两个相对的双层导轨30得到第一导轨组件和第二导轨组件,可以分别用于装入mono老化板50或emmc老化板60进行老化测试,不局限于只能测试一种老化板,提高老化测试设备的适用性,降低老化测试成本;同时,双层导轨30部分镂空,既减轻了治具重量,还减小了治具的吸热,降低老化设备能耗。

上述仅以实施例来进一步说明本发明的技术内容,以便于读者更容易理解,但不代表本发明的实施方式仅限于此,任何依本发明所做的技术延伸或再创造,均受本发明的保护。本发明的保护范围以权利要求书为准。

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