单模面发射OAM激光器的制作方法

文档序号:14478472阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及半导体激光器技术领域,提出了一种单模面发射轨道角动量激光器。该激光器的谐振腔腔体为支持回音壁模式的微柱、微环或微盘结构。激光器腔体外侧面刻蚀光栅或缺陷能选出有特定角量子数的回音壁模式成为激光器的激射模式,顶上光栅对所选模式垂直散射输出,该输出为带涡旋相位的行波模式即OAM模式。顶上光栅位于光栅层靠近微柱外侧边的位置,包含两组光栅分别调制模式有效折射率的实部和虚部从而形成行波模式的散射输出。该激光器的腔体积小,损耗低,因此可实现超高速调制。本发明具有体积小、检测方便、易于集成二维阵列、单模工作、阈值电流低、输出光易于与光纤耦合、能在不同的材料体系上实现等诸多优点。

技术研发人员:国伟华;马向;陆巧银
受保护的技术使用者:华中科技大学
技术研发日:2017.12.07
技术公布日:2018.05.18
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