石墨烯电极介电弹性体驱动器的制作方法

技术特征：

1.石墨烯电极介电弹性体驱动器，其特征在于：包括介电弹性体和石墨烯电极，所述介电弹性体两侧表面分别设置所述石墨烯电极而形成三明治结构；所述石墨烯电极包括：石墨烯层、引出电极；所述石墨烯层为石墨烯薄膜、石墨烯涂层或石墨烯复合材料层；所述石墨烯电极介电弹性体驱动器为石墨烯电极单层介电弹性体驱动器、石墨烯电极堆叠型介电弹性体驱动器、石墨烯电极管型介电弹性体驱动器或石墨烯电极卷型介电弹性体驱动器；所述石墨烯电极堆叠型介电弹性体驱动器为石墨烯电极矩形堆叠型介电弹性体驱动器或石墨烯电极圆形堆叠型介电弹性体驱动器。

2.根据权利要求1所述的石墨烯电极介电弹性体驱动器，其特征在于，所述石墨烯电极矩形堆叠型介电弹性体驱动器由石墨烯电极矩形单层介电弹性体单元依次堆叠构成；所述石墨烯电极圆形堆叠型介电弹性体驱动器由石墨烯电极圆形单层介电弹性体单元依次堆叠构成；所述石墨烯电极矩形堆叠型介电弹性体驱动器和石墨烯电极圆形堆叠型介电弹性体驱动器的边缘均有防止电极短路的绝缘框区。

3.根据权利要求1所述的石墨烯电极介电弹性体驱动器，其特征在于，所述石墨烯电极管型介电弹性体驱动器的介电弹性体呈管筒形状，石墨烯电极处于管筒形状介电弹性体的内侧与外侧并相连接。

4.根据权利要求1所述的石墨烯电极介电弹性体驱动器，其特征在于，所述石墨烯电极卷型介电弹性体驱动器的介电弹性体两侧面均与所述石墨烯层相连接，在所述石墨烯层的边缘设置引出电极和绝缘层，并将介电弹性体内部的弹簧两端预处理后进行卷膜。

5.根据权利要求1～4任一项所述的石墨烯电极介电弹性体驱动器，其特征在于，所述石墨烯电极介电弹性体驱动器通过不同方向的变形得到石墨烯电极介电弹性体厚度位移驱动器或石墨烯电极介电弹性体平面位移驱动器。