77GHz毫米波雷达天线锐利度及线路加工精度处理方式的制作方法

文档序号:14477875阅读:来源:国知局
77GHz毫米波雷达天线锐利度及线路加工精度处理方式的制作方法

技术特征:

1.77GHz毫米波雷达天线锐利度及线路加工精度处理方式,其特征在于,包括以下步骤:

步骤1:首先将目标板进行减薄铜工艺处理,通过药水对目标板的板面铜厚进行微蚀处理,得到基础板;

步骤2:将步骤1中得到的基础板进行沉铜处理,使基础板的铜面上沉上一层化学薄铜,得到薄铜板;

步骤3:将在步骤2中的薄铜板的外层线路上进行菲林制作工艺处理,该工艺在Genesis软件上进行计算机辅助制造,并实现自动化控制电镀,得到具有规定厚度的基础电路板;

步骤4:将步骤3中得到的基础电路板外层进行电镀处理,使其表面形成一层金属层,得到金属板;

步骤5:将步骤4中得到的金属板上的外层线路,在Genesis软件上进行计算机辅助制造,并实现自动化控制电镀,对外层线路进行线路PAD位增加增益补偿工艺处理;

步骤6:将步骤5中进行过线路PAD位增加增益补偿工艺处理后的金属板进行蚀刻工艺处理,从未实现PAD位为直角或者锐利度不大于20um。

2.如权利要求1所述的77GHz毫米波雷达天线锐利度及线路加工精度处理方式,其特征在于,所述减薄铜工艺处理所用的药水由硫酸和双氧水组成,且反应化学式为:H2SO4+H2O2+Cu=CuSO4+2H2O。

3.如权利要求1所述的77GHz毫米波雷达天线锐利度及线路加工精度处理方式,其特征在于,所述电镀菲林制作工艺处理包括点镀菲林挡点,所述挡点尺寸比孔径单边小0~3mil。

4.如权利要求1所述的77GHz毫米波雷达天线锐利度及线路加工精度处理方式,其特征在于,所述线路PAD位增加增益补偿工艺处理的增益补偿增益补偿方式为目标PAD角增加三角PAD、方PAD、圆PAD或泪滴的方式。

5.如权利要求1所述的77GHz毫米波雷达天线锐利度及线路加工精度处理方式,其特征在于,所述减薄铜工艺处理中,板面铜厚极差<5um。

6.如权利要求1所述的77GHz毫米波雷达天线锐利度及线路加工精度处理方式,其特征在于,所述Genesis软件上进行计算机辅助制造包括对外层线路的线路图形的处理及曝光对准度标识控制。

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