一种用于超带宽声表面波滤波器设计的谐振器结构的制作方法

技术特征：

1.一种用于超带宽声表面波滤波器设计的谐振器结构，其特征在于，结构从上至下包括电极层（1）、压电基底层（2）、衬底层（3）。

2.根据权利要求书1所述的用于超带宽声表面波滤波器设计的谐振器结构，其特征在于，所述电极层材料为金（Au），铝（Al）或铜（Cu）。

3.根据权利要求书1所述的用于超带宽声表面波滤波器设计的谐振器结构，其特征在于，所述压电基底层材料为θ度Y切X传掺杂钛酸铅的铌铟镁酸铅三元铁电晶体（YX-PIMN-xPT）。

4.根据权利要求书1所述的用于超带宽声表面波滤波器设计的谐振器结构，其特征在于，所述衬底为碳化硅晶体（SiC），包括3C-SiC和6H-SiC。

5.根据权利要求书2所述的用于超带宽声表面波滤波器设计的谐振器结构，其特征在于，所述电极层标准化厚度为：0.01≤he≤0.15λ，λ为声表面波波长。

6.根据权利要求书3所述的用于超带宽声表面波滤波器设计的谐振器结构，其特征在于，所述压电基底层材料标准化厚度：0.3λ≤hPIMN-xPT≤2λ，欧拉角为：-90°≤θ≤-50°和60°≤θ≤90°。