一种用于超带宽声表面波滤波器设计的谐振器结构的制作方法

文档序号:14477030阅读:来源:国知局
技术总结
超带宽声表面波滤波器在多个领域特别是通信领域具有巨大的需求,高机电耦合系数的谐振器是设计超带宽声表面波滤波器的关键所在。本发明提供了一种用于超带宽声表面波滤波器设计的谐振器结构,结构从上至下包括电极层1、压电基底层2、衬底层3。所述电极层材料为金(Au),铝(Al)或铜(Cu)。所述压电基底层材料为θ度Y切X传掺杂钛酸铅的铌铟镁酸铅三元铁电晶体(YX‑PIMN‑xPT)。所述衬底为碳化硅晶体(SiC),包括3C‑SiC和6H‑SiC。所述电极层标准化厚度为:0.01λ≤he≤0.15λ,λ为声表面波波长。所述压电基底层材料标准化厚度:0.3λ≤hPIMNT≤2λ,欧拉角为:‑90°≤θ≤‑50°和60°≤θ≤90°。

技术研发人员:周一峰;沈旭铭;陈景;V·S·库尔卡尼;吴长春;沈晓燕
受保护的技术使用者:海宁市瑞宏科技有限公司
文档号码:201810141551
技术研发日:2018.02.11
技术公布日:2018.05.18

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