纯净气室的制作方法

本发明涉及纯净气室，纯净气室具有相对于周围环境密封的由侧壁包围的内部空间。

背景技术：

在生产和研发中的大量制造工艺和工序都不能在普通的环境条件下进行，而是需要特殊的气氛。这种制造工艺可以是镀层过程、例如在半导体制造中；在lcd或oled制造中的包封步骤或高纯度原材料的制造工艺、例如在医学和制药领域中；以及在焊接应用中、例如钛焊接。这些工艺例如会要求净室条件、低湿度、惰性气体气氛或各种的这类条件以及其他条件的组合。

已知的是，这种制造工艺或工序在封闭的空间中进行，在封闭的空间中可根据所需条件设定气氛。封闭的空间具有闸门，通过闸门能够将所需的材料引入封闭的空间中并且能够将产品取出。

这种空间例如构造在所谓的手套箱中，如在文献(参见“净室技术”，第三版更新，由springer出版，第202-207页)中充分地描述。这种手套箱主要由不锈钢制成。手套箱提供如下可能，通过手套执行件在手套箱之内期望的工序。为了设定所需的气氛，使相应的气体输入部或用于从手套箱排出气体的循环管路通过至少一个气体处理单元来引导，然后再次输送给手套箱。这种手套箱基于其构造尤其在大的制造设备中会很难集成到制造线中，因为需要包围住的设备仅能通过设置的闸门引入手套箱中。

因此，已知有在外罩设计中的惰性气体壳体。外罩与底板形成包围住的空间，在该空间中可设定所需的气氛。预安装的外罩从上面放置到底板上并且密封。所需的贯穿部、闸门、连接在前面的腔室和其他所需的机组和组件优选已经安装在外罩上并且进行了测试。因此可快速地将惰性气体壳体搭建在设置的工位或生产场地上。外罩设计的方法提供以下可能性，能够在闭合的空间中运行设备或设备部分，能够根据需要设定空间的气氛。对此，外罩的尺寸与相应的设备匹配。用于建造惰性气体壳体的材料设计成，该材料没有(例如通过污染物或废气)改变在壳体内部的气氛。此外，如此进行包围，使得在惰性气体壳体的内部空间和周围环境之间没有气体交换。已知惰性气体壳体由不锈钢或铝制成。这种惰性气体壳体的缺点是其重量大，这是由所述结构形式和所使用的材料造成的。大的重量一方面难以使外罩从上方倒扣在相应设备上，因为必须有能相应负载的升降装置。此外，除了被包围的设备之外，惰性气体壳体增加了底部负荷。这在需要搭建纯净气室的建筑物的地面负荷能力不够的情况下需要大范围的并且昂贵的改造措施来提高地面静力学。

技术实现要素：

因此，本发明的目的是提供用于容纳设备和设备部件的纯净气室，纯净气室的内部空间相对于周围环境密封，可根据设备或设备部件的运行要求设定纯净气室的气氛并且纯净气室自重小。

本发明的目的通过以下方式实现，纯净气室的侧壁的至少一部分由一个或多个结构型芯板、尤其一个或多个蜂窝式型芯板形成，其分别具有两个盖板和布置在两个盖板之间的结构型芯、尤其蜂窝式型芯。在本发明中，结构型芯板应尤其理解为这种板形构件，其构造成三明治形状并且具有两个或多个盖板，在盖板之间布置结构型芯。对此，结构型芯可以是任意的、尤其轻质建筑结构。结构型芯例如可由蜂窝式型芯、波纹形或回形纹形状的材料、泡沫材料等构成。

根据本发明的纯净气室是一种能够设定所需气氛的壳体。对此，壳体相对于其周围环境气体密封地构造。在壳体之内可进行以特殊气氛为前提条件的制造工艺和工序。对此使相应的制造设备、例如机器人或实验室装置布置在纯净气室之内。对气氛的要求可涉及其清洁程度、其湿气含量或其组分。由此例如可仅在惰性气体气氛下进行特定的工艺。其他的参数、例如温度或箱体压力同样可设定。因此为纯净气室分配相应的气体处理单元。因此，纯净气室可以是具有六边形底面和相对于周围环境密封的、通过侧壁包围的内部空间的室，其具有至少一个循环管路，通过循环管路从纯净气室提取气体，使其通过至少一个气体处理单元引导，然后再次输送给纯净气室。箱也可构造成具有层流系统。

相比于实施成实心的具有类似的机械负荷能力的侧壁，由结构型芯板构成的侧壁具有明显更小的重量。由于结构型芯板具有两个间隔布置的盖板(盖板经由结构型芯彼此连接)的构造实现了侧壁的非常高的负荷能力。结构型芯板具有高的抗弯强度，从而由此形成的侧壁在负荷时没有或仅很小地弹性弯曲。结构型芯板由于两侧布置的盖板相应于所使用盖板的渗透特性沿其面法线的方向气体密封。盖板和结构型芯由铝构成的蜂窝式铝质型芯板尤其适合制成纯净气室的气体密封的侧壁。结构型芯防止气体在结构型芯板之内横向于其面法线流动。由此确保没有气体能例如经由棱边或经由错位地引入盖板中的缺口而到达纯净气室或从纯净气室流出。

结构型芯板作为整体由于其构造而不会轻松被弯曲，因为在此外部盖板会伸展并且内部盖板会收缩，这导致相应的偏斜。

因此，根据本发明的变型方案可规定，沿着纯净气室的角部弯曲一盖板并且使另一盖板与结构型芯分离，或使其中一盖板朝向另一盖板的方向成型到结构型芯中并且在成型区域中弯曲结构型芯板。

通过沿着纯净气室的角部弯曲一盖板并且使另一盖板与结构型芯分离，能够由此通过结构型芯板形成角部。优选地，之后位于角部的外角的一侧上的盖板与结构型芯分离直至对置的盖板。然后内部盖板沿着外部盖板和结构型芯中的空隙弯曲成纯净气室的角部的期望角度。对此，该空隙扩开。

可替代地，可规定，之后位于角部的内角处的盖板和位于其下的结构型芯沿着之后的角部分离直至对置的盖板。在此会形成空隙，使得空隙从未完全分离的盖板朝向完全分离的盖板呈楔形地扩开。对此，所需的空隙张角由需要形成的角部的角度预先规定。然后，未完全分离的盖板沿着空隙弯曲，使得未完全分离的盖板形成外角。在此空隙再次被收缩。

有利的是，通过相应存在的、未完全分离的盖板使得结构型芯板即使在构造的角部的区域中也是气体密封的。在此，结构型芯防止气体从空隙开始在结构型芯板之内传播。

如果规定，一盖板朝向另一盖板的方向成型到结构型芯中并且结构型芯板在成型区域中弯曲，此时可以特别简单的方式实施气体密封的角部设计。

根据本发明优选的设计方案可规定，沿着纯净气室的角部形成的空隙在分离的盖板中并且在结构型芯中通过角部遮盖部覆盖；和/或角部遮盖部借助两个彼此成角度布置的侧边分别在空隙的一侧上与结构型芯板密封地连接，尤其密封地粘结。角部遮盖部提高了侧壁在角部区域中的稳定性。角部遮盖部确定角部的角度并且防止在侧壁受负荷时例如由于未分离的盖板掰动而改变该角度。此外角部遮盖部引起侧壁沿着角部的附加密封。

可通过以下方式保护侧壁的棱边以防机械损坏，即，在结构型芯板的棱边上在侧壁的上端部和下端部上放置、尤其套接构型轨道并且与结构型芯板密封地连接、尤其密封地粘结。构型轨道实现了侧壁在纯净气室的底部和罩盖处的密封闭合部。

为了能够将其他构件简单而可靠地固定在结构型芯板上可规定，在结构型芯板中布置至少一个螺钉容纳部，并且螺钉容纳部穿过结构型芯板的两个盖板中的一个以及布置在盖板之间的结构型芯的至少一部分，和/或螺钉容纳部穿过两个盖板和结构型芯并且在引入固定元件时至少在一侧密封。如果螺钉容纳部仅贯穿两个盖板中的其中一个，结构型芯板在螺钉容纳部的区域中也是气体密封的。如果例如在螺钉连接的机械负荷提高时需要使螺钉容纳部贯穿两个盖板，则可通过密封部防止由于螺钉容纳部使气体从外部进入纯净气室或从纯净气室到达周围环境。

可通过以下方式实现两个相邻的结构型芯板的气体密封地连接，即，两个彼此邻接的结构型芯板通过至少一个连接轨道连接，连接轨道具有贴靠区段并且贴靠区段与邻接的结构型芯板的各一个盖板密封连接、尤其密封粘结。因此，连接轨道的贴靠区段形成在两个邻接的结构型芯板之间的构造成气体密封式的桥接部。有利地，在纯净气室的侧壁的直线区域中连接结构型芯板。这种连接作为在纯净气室的角部中的连接可更简单地密封。代替或除了粘结之外，可在相应的结构型芯板和连接轨道的用于贴靠的贴靠区段之间设置密封元件。

通过以下方式能够进一步简化结构配置，即，连接轨道是具有空心构型和模制在其上的贴靠区段的挤压型材，以及彼此邻接的结构型芯板沿着空心构型布置在两侧并且通过空心构型间隔开。通过空心构型实现了连接轨道的高刚度和稳定性。由此额外地增强了与连接轨道连接的侧壁。此外，空心构型实现了贴靠在其上的结构型芯板的精确定位。连接轨道可简单而成本有利地在挤压工艺中制造。为了实现纯净气室的轻型结构，连接轨道优选由铝制成。

可通过以下方式简化纯净气室的安装，即，彼此邻接的结构型芯板中的至少一个以其棱边被推入在贴靠区段和与贴靠区段对置的模制在空心构型上的配合轨道之间的区域中并且保持在该区域中。配合轨道和对置的贴靠区段与空心构型一起形成u形容纳部，结构型芯板能够以其棱边被推入该u形容纳部中并且能够保持在其中。因此，配合轨道引起从结构型芯板到连接轨道的过渡区域中的额外密封以及提高的稳定性。

为了使纯净气室的内部空间朝下也被密封，可规定，纯净气室的侧壁间接地或直接地与纯净气室的底部连接，并且底部由一个或多个实施成结构型芯板、尤其实施成蜂窝式型芯板的底板构成。对此，侧壁气体密封地与底部连接。通过用结构型芯板构造底部，相比于实心的底部构造明显降低了纯净气室的重量。

可通过以下方式实现纯净气室的侧壁与底部的可简单安装的且密封的连接，即，侧壁以其放置、尤其套接的构型轨道搭建在底部上并且通过保持夹固定在底部上，以及在构型轨道和底部之间设置密封元件和/或将构型轨道与底部粘结在一起。

可通过以下方式实现在相邻底板之间的稳固的而且还气体密封的连接，即，在相邻底板的彼此邻接的棱边上模制或粘上接合到彼此中的底部轨道并且使底部轨道彼此紧密地连接。

根据本发明的另一优选设计方案可规定，纯净气室向上通过由至少一个罩盖板形成的罩盖闭合，并且罩盖板由结构型芯板、尤其蜂窝式型芯板构成。在此，结构型芯板也提供所述优点，即小的重量、在小弯曲时的高的机械负荷能力以及相对于气体的密封性。

可通过以下方式实现纯净气室的侧壁与罩盖的可简单安装的且密封的连接，即，侧壁以其放置、尤其套接的构型轨道间接地或直接地与至少一个罩盖板连接，和/或在构型轨道和罩盖板之间设置密封元件，和/或使构型轨道与罩盖板粘结。

附图说明

下面根据在附图中示出的实施例详细阐述本发明。其中：

图1示出了纯净气室的透视外视图；

图2示出了图1中所示的纯净气室的透视内视图；

图3示出了图1和图2中所示的纯净气室的分解示意图；

图4示出了纯净气室的一个角部的从上方看的剖视图；

图5示出了图3中所示的具有纯净气室的角部的局部的透视外视图；

图6示出了图3中所示的具有纯净气室的角部的局部的透视内视图；

图7示出了图3中所示的具有纯净气室的角部的局部的透视外视图和分解示意图；

图8示出了图3中所示的具有纯净气室的角部在两个连接轨道的区域中的局部的透视外视图；

图9示出了借助在图8中所示的连接轨道在端侧彼此紧接的两个侧壁的剖视图；

图10示出了图3中所示的具有竖直布置的连接轨道的局部的外视图；

图11示出了图3中所示的具有竖直布置的连接轨道和第一竖直侧壁的上闭合部的局部的外视图；

图12示出了图3中示出的具有竖直布置的连接轨道和第一竖直侧壁的下闭合部的局部的外视图；

图13示出了图3中所示的具有竖直布置的连接轨道和第五侧壁和第六侧壁的下闭合部的局部的内视图；

图14示出了图3中所示的在两个彼此相邻的底板的区域中的局部的分解示意图；

图15示出了纯净气室的一个载体的透视图；

图16示出了图15所示的载体的朝向载体的纵向延伸的方向看的剖视图；

图17示出了图3中所示的在纯净气室的罩盖的区域中的局部；以及

图18示出了图3中所示的在纯净气室的支承结构的固定的区域中的局部。

具体实施方式

图1以透视的外视图示出了纯净气室10。为了更容易转用下面的实施方式，纯净气室10的前侧10.1和后侧10.2被自由设定。

纯净气室10具有多边形的平面形状。在所示实施例中，平面形状为六边形。在相应六边形的底部20上搭建多个侧壁30。对此，侧壁30根据定位元件21取向，定位元件安装在底部20的外侧上。在所选择的前侧10.1的视图中，左侧设有第一竖直侧壁30.1和上下叠置地设置的第一水平侧壁30.8、第二水平侧壁30.9和第三水平侧壁30.10。其他的竖直侧壁30.2、30.3、30.4、30.5、30.6、30.7在图3中示出。第一竖直侧壁30.1包括纯净气室10的第一角部11.1。三个水平侧壁30.8、30.9、30.10包围第二角部11.2和第三角部11.3。在第二水平侧壁30.9的中间区域中设有凹空部31，中间门35装入该凹空部中。

在侧壁30.1、30.2、30.3、30.4、30.5、30.6、30.7、30.8、30.9、30.10之间的过渡部上设有连接轨道60，连接轨道借助连接夹61与侧壁30.1、30.2、30.3、30.4、30.5、30.6、30.7、30.8、30.9、30.10连接。

纯净气室10在上面通过罩盖40闭合。罩盖40同样具有六边形的平面形状。罩盖40的面由四个罩盖板43构成。罩盖板43通过固定元件44和边缘固定元件45保持。环绕着罩盖板43地设置包边42，栏杆41固定在包边上。

在纯净气室10的侧面固定有呈矩形通道形式的两个循环管路50.1、50.2。如在图1、图2和图3中所示，循环管路50.1、50.2经由输入部51.1、51.2和提取部位52.1、52.2与纯净气室10的内部空间连接。对此，在第一水平侧壁30.8和第三水平侧壁30.10中以及在图3所示的两个竖直侧壁30.2中设置相应的缺口。

纯净气室10是相对于其周围环境密封的壳体。在纯净气室10之内可布置制造设备或实验室装置等。此外，在纯净气室10中可设定预先规定的气氛。对此，在纯净气室10的内部空间中有确定的气体或具有预先规定组分的气体混合物。气体或气体混合物可为惰性气体。此外，可设定气体或气体混合物的湿度。作为附加要求可预先规定纯净气室10所需的净室等级。这些要求不仅可单独实现也可结合实现。额外地，可设定另外的气氛参数，例如温度和压力。根据本发明的纯净气理解为符合所提出要求的气氛。

视所需气氛而定，纯净气室10配设有相应的用于提供或产生该气氛的机组。在该实施方式中，纯净气室10具有两个循环管路50.1、50.2。通过循环管路，在提取部位52.1、52.2处将气体从纯净气室10排出并且经由输入部51.1、51.2再次输送给纯净气室10。在此将气体输送给图2中所示的气体处理单元55。气体处理单元55与纯净气室10的内部空间连接。在气体处理单元55中处理的气体在流经气体处理单元55之后经由提取部位52.1、52.2、循环管路50.1、50.2和输入部51.1、51.2输送给纯净气室10的内部空间。气体处理包括设定纯净气室10的内部空间所需的气氛。

由此，纯净气室10使得能够实施要求特殊气氛的制造过程或工序。这种制造工序可以是镀层工艺、封装工艺或加工或制造高纯度的物质、例如在制药领域中。经由设置的闸门、在该实施例中例如经由中间门35输送所需的材料和物质。对此，中间门35是到联接/连接纯净气室10的腔室的连接部。

根据本发明，侧壁30.1、30.2、30.3、30.4、30.5、30.6、30.7、30.8、30.9、30.10由结构型芯板12构成，如关于图4详细描述地那样。对此，侧壁30.1、30.2、30.3、30.4、30.5、30.6、30.7、30.8、30.9、30.10可实施成蜂窝式型芯板或蜂窝式铝质型芯板。结构型芯板具有多层的结构。如在图4中所示，至少两个间隔的盖板12.1、12.2面式地与结构型芯12.3连接。在该变型方案中盖板12.1、12.2和结构型芯12.3由铝制成。结构型芯12.3实施成蜂窝式型芯。以这种方式产生具有高抗弯强度并且同时重量低的板。因此，纯净气室10具有比用实心的铝或不锈钢壁制造的纯净气室10明显更轻的重量。由此明显降低了地面负荷，该地面负荷由构造的设备零件和纯净气室10的重量造成。因此，纯净气室10也可安装在地面负荷能力较低的建筑中。此外，较低重量使得纯净气室10能够更简单地搭建在其安装位置处，因为对此无需升降装置或只需负荷能力较小的升降装置。

为了进一步降低纯净气室10的重量，也可由结构型芯板12、在该实施例中由蜂窝式铝质型芯板构成罩盖板43。

图2示出了图1所示的纯净气室10的透视内视图。对此，从纯净气室的后侧10.2看向纯净气室10中。

在纯净气室10的底部20上沿着侧壁30.1、30.2、30.3、30.4、30.5、30.6、30.7、30.8、30.9、30.10安装气体输送通道53。气体输送通道53与底部20和侧壁30.1、30.2、30.3、30.4、30.5、30.6、30.7、30.8、30.9、30.10连接。循环管路50.1、50.2的第一输入部52.1和图3中所示的第二输入部52.2引入气体输送通道53中。气体输送通道经由构造有孔的遮盖格栅54与纯净气室10的内部空间连接，遮盖格栅布置在气体输送通道53的侧面和上面。

在所示的水平侧壁30.8、30.9、30.10之间布置有连接轨道60，连接轨道朝向纯净气室10的内部空间分别具有模制的空心构型60.2。侧壁30.8、30.9、30.10贴靠在空心构型60.2上。在图9中示出了所示实施例的连接轨道60的构造的放大图和剖视图。

纯净气室10的内部空间的上部区域通过支承结构70限定。在支承结构70上向下固定有罩件13，罩件至少部分地实施成带孔罩件。气体处理单元55的过滤器(以及可能的呈水-空气-热交换器形式的调温装置)56支承在支承结构70上。在过滤器(热交换器)上方布置有下部结构46，在下部结构上支承有纯净气室10的罩盖40。支承结构70和下部结构46构造有载体80，载体固定在侧壁30.1、30.2、30.3、30.4、30.5、30.6、30.7、30.8、30.9、30.10上。

制造设备或实验室装置等可搭建在纯净气室10的底部20上。制造设备或实验室装置例如可为机器人，机器人在纯净气室10的设定气氛中实施一个或多个工序。

经由提取部位52.1、52.2从纯净气室10的内部空间获取气体并且经由输入部51.1、51.2再次输送给内部空间。对此，通过过滤器56将气体吸入罩件13和罩盖40之间的间隙中，然后输送给循环管路50.1、50.2。罩件13在过滤器56下方实施成有孔的。可替代地，罩件13在过滤器56下方也可为凹空的。因此，气体从上向下地流经纯净气室10的内部空间。对此，在循环管路50.1、50.2中设置未相应示出的通风机。

图3示出了图1和图2中所示的纯净气室10的分解示意图。

纯净气室10的第四角部11.4布置在第七竖直侧壁30.7之内。第五角部11.5在第五竖直侧壁30.5之内伸延，而第六角部11.6沿着第三竖直侧壁30.3伸延。在侧壁30.1、30.2、30.3、30.4、30.5、30.6、30.7、30.8、30.9、30.10之间的接合棱边未沿着纯净气室10的角部11.1、11.2、11.3、11.4、11.5、11.6延伸。这些角部沿着纯净气室10的外壁的直线延伸的区段布置。由此可良好地密封侧壁30.1、30.2、30.3、30.4、30.5、30.6、30.7、30.8、30.9、30.10之间的过渡部。

在侧壁30.1、30.2、30.3、30.4、30.5、30.6、30.7、30.8、30.9、30.10上安装用于固定支承结构70的固定轨道71。

底部20由彼此邻接的底板22.1、22.2、22.3构成。在该实施例中设有三个底板22.1、22.2、22.3。为了降低纯净气室10的重量，底板22.1、22.2、22.3由结构型芯板12、在该实施例中由蜂窝式铝质型芯板构成。

局部v、vi、vii、viii、x、xi、xii、xiii、xiv、xvii、xviii在图5、图6、图7、图8、图10、图11、图12、图13、图14、图17和图18中放大地示出。

为了进行制造，预制纯净气室10的不同构件。对此由结构型芯板12切割出底板22.1、22.1、22.3、侧壁30.1、30.2、30.3、30.4、30.5、30.6、30.7、30.8、30.9、30.10和罩盖板43。在侧壁30.1、30.2、30.3、30.4、30.5、30.6、30.7、30.8、30.9、30.10中引入所需凹口、例如用于中间门35和循环管路50.1、50.2的提取部位52.1、52.2和输入部51.1、51.2的凹空部31。在角部区域中布置的侧壁30.1、30.2、30.3、30.4、30.5、30.6、30.7、30.8、30.9、30.10沿着纯净气室10的后续角部11.1、11.2、11.3、11.4、11.5、11.6弯曲，如关于图4详细阐述的那样。切割出载体80并且组装成支承结构70和下部结构46。罩盖板43借助固定元件44与下部结构46连接。

为了安装纯净气室10，使底板22.1、22.2、22.3连接成底部22并且安装定位元件21。制造设备或实验室装置定位在底部22上。然后搭建侧壁30.1、30.2、30.3、30.4、30.5、30.6、30.7、30.8、30.9、30.10并且借助连接轨道60彼此地以及与底板22.1、22.2、22.3气体密封地连接。对此，侧壁30.1、30.2、30.3、30.4、30.5、30.6、30.7、30.8、30.9、30.10一侧贴靠在定位元件21上。固定轨道71固定在侧壁30.1、30.2、30.3、30.4、30.5、30.6、30.7、30.8、30.9、30.10上并且置入支承结构70。安装气体处理单元55的机组。然后放置罩盖40并且使其气体密封地与侧壁30.1、30.2、30.3、30.4、30.5、30.6、30.7、30.8、30.9、30.10连接。安装入口、例如中间门35。最后安装其他组件，如循环管路50.1、50.2；气体输送通道53；包边42和栏杆41。该过程提供以下优点：无需作为整体运输预制的外罩，而是就地地安装各个构件。因此无需升降装置并且可简单而成本有利地将构件运输给搭建位置。

在可替代的过程中，首先预装配纯净气室10的外罩，其由侧壁30.1、30.2、30.3、30.4、30.5、30.6、30.7、30.8、30.9、30.10、支承结构70和下部结构46与罩盖40组成。根据相应情况可在外罩上预装配其他构件和组件。

为了安装纯净气室10，构造底部20；在其上安装定位元件21并且在底部上搭建制造设备或实验室装置。然后将预装配的外罩从上方安装到底部20上。对此有利的是，能够先前就检测外罩功能和密封性。此外能够快速地并进而例如没有长时间中断所进行的制造的情况下实施就地安装。

图4示出了纯净气室10的角部11的从上方看的剖视图。在此，角部11代表了已经引入的角部11.1、11.2、11.3、11.4、11.5、11.6。结构型芯板12由两个间隔地对置的盖板12.1、12.2和结构型芯12.3构成。结构型芯12.3连接两个盖板12.1、12.2。结构型芯板12形成角部11。对此，根据本发明，外部的第二盖板12.2和结构型芯12.3沿着角部11被分开。内部的第一盖板12.1沿着棱边11弯曲。对此，内部的第一盖板12.1沿着棱边11弯曲，使得棱边在其背离结构型芯12.3的一侧上形成内角。通过结构型芯板12的弯曲，沿着第一盖板12.1和结构型芯12.3的分割线形成打开的空隙32。该空隙被角部遮盖件33遮盖。角部遮盖件33由两个彼此成角度的侧边33.1、33.2形成。对此，该角度相应于纯净气室10的棱边11的所需角度。侧边33.1、33.2分别在空隙32的一侧上与结构型芯板12的外部的第二盖板12.1连接、尤其粘结。

结构型芯板12由于其构造而具有高度的稳定性和抗弯强度，同时自重很轻。因此可以相对于传统的壁材料、如实心的铝或不锈钢非常轻的重量构造纯净气室10。由于两个盖板12.1、12.2，结构型芯板是气体密封的。而且在盖板12.1、12.2之间，气体不能在结构型芯12.3之内横向于结构型芯板11的面法线流动，因为结构型芯元件在该方向上彼此地并且相对于盖板12.1、12.2密封地连接。在该实施例中，结构型芯板12设置成具有蜂窝式型芯作为结构型芯12.3。蜂窝式型芯实现了结构型芯板12的高抗弯强度，而蜂窝式型芯可实施成横向于结构型芯板12的面法线为气体密封的。

因为为了形成棱边11仅将外部的第二盖板12.2和结构型芯12.3分开，根据本发明不分开内部的第一盖板12.1，而是仅使其弯曲，结构型芯板12在棱边11的区域中保持气体密封。这是用作纯净气室10的侧壁30.1、30.2、30.3、30.4、30.5、30.6、30.7、30.8、30.9、30.10的基本前提条件。因为结构型芯板12横向于面法线是气体密封的，经由空隙32不能引入气体并且没有气体横向于结构型芯板12到达内部的第一盖板12.1的可能的、与角部11间隔的缺口并进而到达纯净气室10的内部。

通过角部遮盖件33预先规定棱边11的角度并且固定该角度。附加地，角部遮盖件33密封空隙32的区域。此外，角部遮盖件防止，无意地从外部通过空隙32损坏内部的第一盖板12.1。优选地，角部遮盖件33是沿着其纵向延伸弯曲的轨道、尤其由铝制成。

在该实施例中，结构元件板12实施成蜂窝式铝质型芯板。对此，盖板12.1、12.2和结构型芯12.3由铝制成。结构型芯12.3具有蜂窝式结构。由此获得密封的、机械非常稳定的侧壁30.1、30.2、30.3、30.4、30.5、30.6、30.7、30.8、30.9、30.10。相对于在纯净气室10之内大多需要的气氛，铝有利地表现为惰性的。

图5示出了图3中所示的具有纯净气室10的第二角部11.2的局部v的透视外视图。沿着第二角部11.2，角部遮盖件粘接在结构型芯板12的外部的第二盖板12.2上。两个构型轨道62套接在第一水平侧壁30.8的上棱边上。对此，将第一水平侧壁30.8引入相邻的构型轨道62的容纳区域62.2中。在构型轨道62的与容纳区域62.2的开口相对的侧部上，两个支承条62.1在两侧一件式地模制在容纳区域62.2上。切成斜面的构型轨道62在第二棱边11.2的区域中彼此邻接。

构型轨道62向上遮盖实施成结构型芯板12的侧壁30.1、30.2、30.3、30.4、30.5、30.6、30.7、30.8、30.9、30.10的敞开棱边。在安装好的纯净气室10中支承条62.1形成与放置的罩盖40的接触面。对此，接触面例如可通过粘结或通过夹紧密封地与罩盖40连接。为了密封，可沿着接触面布置密封件。优选地，也可密封在构型轨道62和侧壁30.1、30.2、30.3、30.4、30.5、30.6、30.7、30.8、30.9、30.10之间的接触区域。为此可在容纳区域62.2之内设置密封元件，或者使侧壁30.1、30.2、30.3、30.4、30.5、30.6、30.7、30.8、30.9、30.10在容纳区域62.2的区域中与构型轨道62粘结。

图6示出了图3中所示的具有纯净气室10的第五角部11.5的局部vi的透视内视图。由此，局部vi相应于图5的示意图，但是看向角部11.1、11.2、11.3、11.4、11.5、11.6在侧壁30.1、30.2、30.3、30.4、30.5、30.6、30.7、30.8、30.9、30.10的上闭合部的区域中的内角。

第五竖直侧壁30.5实施成结构型芯板12。结构型芯板12的内部第一盖板12.1沿着第五角部11.5弯曲，从而形成内角。因为内部第一盖板12.1在第五角部11.5的区域中不是贯穿的，所以第五角部11.5的区域保持气体密封。

图7示出了图3中所示的具有纯净气室10的第二角部11.2的局部vii的透视外视图和分解示意图。

根据第二角部11.2的角度将构型轨道62切割成斜面。构型轨道具有向下打开的容纳区域62.2，构型轨道借助容纳区域套接到在所示局部vii中水平的第一侧壁30.8的上棱边上。

棱边遮盖部33作为铝质构型被切割成需要遮盖的角部区域的高度。沿着第二角部11.2暴露出通过分离外部第二盖板12.2和结构型芯12.3、在弯曲第八侧壁30.8之后形成的空隙32。

在上下叠置的第一水平侧壁30.8和第二水平侧壁30.9之间设置连接轨道60。借助连接夹61和合适的固定元件、尤其螺钉将连接轨道安装在第一水平侧壁30.8和第二水平侧壁30.9上。

图8示出了图3中所示的具有纯净气室10的第二角部11.2在两个连接轨道60的区域中的局部viii的透视外视图。

连接轨道60布置在第一水平侧壁30.8和第二水平侧壁30.9之间。对此，连接轨道60以贴靠区段60.1大面积地贴靠在第一水平侧壁30.8和第二水平侧壁30.9上。连接轨道60借助连接夹61固定在第一水平侧壁30.8和第二水平侧壁30.9上。连接夹61具有孔61.1。固定元件、尤其螺钉可穿过孔61.1，连接夹61可借助固定元件固定在侧壁30.1、30.2、30.3、30.4、30.5、30.6、30.7、30.8、30.9、30.10上，在示出的局部viii中固定在第一水平侧壁30.8和第二水平侧壁30.9上。

优选地，在贴靠区段60.1和侧壁30.1、30.2、30.3、30.4、30.5、30.6、30.7、30.8、30.9、30.10之间的区域被密封。对此，可在贴靠区段60.1和侧壁30.1、30.2、30.3、30.4、30.5、30.6、30.7、30.8、30.9、30.10之间设置密封元件，或者贴靠区段60.1可与侧壁30.1、30.2、30.3、30.4、30.5、30.6、30.7、30.8、30.9、30.10粘结。因此，连接轨道60实现了在相邻侧壁30.1、30.2、30.3、30.4、30.5、30.6、30.7、30.8、30.9、30.10之间的气体密封地连接。

连接轨道60在第二棱边11.2上切割成斜面。

图9示出了借助在图8中所示的连接轨道60在端侧彼此紧接的两个侧壁30.1、30.2、30.3、30.4、30.5、30.6、30.7、30.8、30.9、30.10的剖视图。示出了在第一水平侧壁30.8和第二水平侧壁30.9之间结合区域。

连接轨道60由空心构型60.2和一件式地模制在其上的贴靠区段60.1构成。与贴靠区段60.1对置地，在第二水平侧壁30.9的侧部上将配合轨道60.3模制在空心构型60.2上。配合轨道60.3相应于第二水平侧壁30.9的厚度与贴靠区段60.1间隔开。因此，在贴靠区段60.1、配合轨道60.3和空心构型60.2之间形成u形包围的区域，第二水平侧壁30.9插入该区域中。第一水平侧壁30.8和第二水平侧壁30.9在端侧贴靠在空心构型60.2上。因此，空心构型60.2预先规定第一水平侧壁30.8和第二水平侧壁30.9之间的距离。连接轨道60以其贴靠区段60.1从外部贴靠在第一水平侧壁30.8和第二水平侧壁30.9上。连接夹61使贴靠区段60.1横向于其纵向延伸绷紧。从贴靠区段60.1的侧面将孔61.1引入连接夹61中。与孔61.1对齐地，在第一水平侧壁30.8和第二水平侧壁30.9中引入螺钉容纳部34。连接夹61通过未示出的螺钉与第一水平侧壁30.8和第二水平侧壁30.9连接，螺钉穿过连接夹61的孔61.1引入到螺钉容纳部34中。由此保持连接轨道60。连接夹61同时防止，第一水平侧壁30.8和第二水平侧壁30.9彼此离开。有利地，在连接轨道60和第一水平侧壁30.8和第二水平侧壁30.9之间的区域被密封，例如通过密封元件或通过粘合密封。可设想，侧壁30.9密封地粘合在u形容纳部中。此外可设想并且有利的是，第二侧壁30.8可在沿构型方向延伸的密封件的中间层之下支撑在贴靠区段60.1上。对此建议，密封件布置在贴靠区段60.1的背离空心构型60.2的棱边区域上。此时，在密封件被压缩时其可在侧面偏离到贴靠区段之上。突出区域此时可同样促进密封目的，例如可由此建立与直角地或成角度地连接在连接轨道上的构件的密封闭合。

螺钉容纳部34完全地贯穿第一水平侧壁30.8和第二水平侧壁30.9。为了在此避免气体进入纯净气室10设置密封元件，密封元件在安装螺钉之后密封螺钉容纳部34。在可替代的实施方式中，螺钉容纳部34仅可被引至结构型芯板12的内部的第一盖板12.1。内部的第一盖板12.1由此保持闭合，从而不会有气体通过螺钉容纳部34侵入或离开纯净气室10。结构型芯12.3防止气体从螺钉容纳部34横向于第一水平侧壁30.8和第二水平侧壁30.9扩散。

配合轨道63.3简化了纯净气室10的安装。首先可通过配合轨道63.3将连接轨道60套接到其中一个需要连接的侧壁30.1、30.2、30.3、30.4、30.5、30.6、30.7、30.8、30.9、30.10上。由此保持连接轨道60。然后可使接合在其上的侧壁30.1、30.2、30.3、30.4、30.5、30.6、30.7、30.8、30.9、30.10与连接轨道60连接。

图10示出了图3中所示的具有竖直布置的连接轨道60的局部x的外视图。

竖直布置的连接轨道60连接示出的第一竖直侧壁30.1与图3中所示的三个水平侧壁30.8、30.9、30.10。因此，通过连接轨道60使水平地以及竖直地布置的侧壁30.1、30.2、30.3、30.4、30.5、30.6、30.7、30.8、30.9、30.10气体密封地彼此连接。

图11示出了图3中所示的具有竖直布置的连接轨道60和第一竖直侧壁30.1的上闭合部的局部xi的外视图。

第一竖直侧壁30.1朝向纯净气室10的罩盖40被套接的构型轨道62遮盖。引导元件63以支柱63.2插入连接轨道60的空心构型60.2的敞开端部中。在支柱63.2上模制底座63.1。底座63.1具有与相邻的构型轨道62的支承条62.1相同的构型。因此，底座63.1和支承条62.1形成连续的面。该面朝向罩盖40定向。因此，引导元件63和构型轨道62实现了侧壁30.1、30.2、30.3、30.4、30.5、30.6、30.7、30.8、30.9、30.10与罩盖40沿着其上棱边并且在彼此相邻的侧壁30.1、30.2、30.3、30.4、30.5、30.6、30.7、30.8、30.9、30.10的区域中的密封连接。

图12示出了图3中示出的具有竖直布置的连接轨道60和第一竖直侧壁30.1的下闭合部的局部xii的外视图。

如在图11中对于第一竖直侧壁30.1的上闭合部所示，在其下闭合部也设置构型轨道62并且在其延长部中设置引导元件63，引导元件以其支柱63.2插入连接轨道60的空腔构型60.2中。在此，引导元件63的底座63.1和相邻构型轨道62的支承条62.1也形成连续的面。该面朝向纯净气室的底部20定向。因此，引导元件63和构型轨道实现了侧壁30.1、30.2、30.3、30.4、30.5、30.6、30.7、30.8、30.9、30.10与底部20沿着其下棱边并且在彼此相邻的侧壁30.1、30.2、30.3、30.4、30.5、30.6、30.7、30.8、30.9、30.10的区域中的密封连接。

图13示出了图3中所示的具有竖直布置的连接轨道60和第五竖直侧壁30.5和第六竖直侧壁30.6的下闭合部的局部xiii的内视图。

第五竖直侧壁30.5和第六竖直侧壁30.6以其下棱边插入对应的构型轨道62的容纳区域62.2中。在第五竖直侧壁30.5和第六竖直侧壁30.6之间布置有连接轨道60。第五竖直侧壁30.5被推入由配合轨道60.3、与该配合轨道相对布置的在图12中示出的贴靠区段60.1和空心构型60.2形成的u形区域中。与配合轨道60.3对置地，安装角64贴靠在空心构型60.2上。优选地，安装角64与空心构型60.2连接。安装角64与第六竖直侧壁30.6连接。通过连接轨道60使第五竖直侧壁30.5和第六竖直侧壁30.6气体密封地彼此连接。

引导元件63以其支柱63.2至少部分地被推入连接轨道60的空心构型60.2中。对此，支柱63.2的外轮廓匹配空心构型60.2的空腔的轮廓，支柱63.2被推入该空腔中。在支柱63.2上设置止挡，止挡限制支柱63.2可被推入空心构型60.2中的程度。

构型轨道62的支承条62.1和引导元件63的底座63.1形成连续的、面对纯净气室10的底部20的面，构型轨道借助该面贴靠在底部20上。构型轨道62以及第五竖直侧壁30.5和第六竖直侧壁30.6借助保持夹65与底部连接，保持夹固定在底部20上并且在一个区段上夹紧构型轨道62的支承条62.1。

图14示出了图3中所示的在两个彼此相邻的底板22.1、22.2的区域中的局部xiv的分解示意图。在两个底板22.1、22.2的紧连的棱边上安装彼此啮合的底部轨道23.1、23.2。底部轨道23.1、23.2具有用于连接元件的容纳部，借助连接元件可连接底部轨道23.1、23.2。

在该实施例中，底部轨道23.1、23.2实施成单独的构件，单独的构件在端面安装、尤其粘接在底板22.1、22.2上。根据可替代的实施方式，底部轨道23.1、23.2也可一件式地模制在底板22.1、22.2上。

在底板23.1、23.2的边缘上设置定位元件21。与定位元件21对置地布置保持夹65。与定位元件21和保持夹65组装在一起的侧壁30.1、30.2、30.3、30.4、30.5、30.6、30.7、30.8、30.9、30.10以其构型轨道62定位并固定在底部20上。

图15示出了纯净气室10的载体80的透视图。载体80构造成双t形载体，双t形载体具有第一窄条81、连接板82和第二窄条83。载体80沿着连接板82具有安装孔84。斜边81.1安装在第一窄条81的端侧。

根据本发明，载体80由结构型芯板12构造。对此，第一窄条81和第二窄条83以及连接板82由相应切割的结构型芯板12制成。在该实施例中，窄条81、83以及连接板由蜂窝式铝质型芯板构造。

相比于传统的以实心构造方式构造的载体80，通过由结构型芯板12制造载体80可明显节省重量。由于使用的结构型芯板12的高抗弯强度以及双t形载体形式的构造获得了能高负载的载体80，因此该载体即使在负荷下也仅微小弯曲。

在未示出的可替代的实施方式中，由结构型芯板12制成的载体80也可实施成简单的t形载体、或具有u形或l形、或对载体80已知的其他形状的载体80。

图16示出了图15所示的载体80的朝向载体80的纵向延伸的方向看的剖视图。

第一窄条81和第二窄条83借助连接角85与连接板82连接。连接角85在载体80的长度上延伸。连接角以其支承面贴靠在连接板82上并且以第二支承面贴靠在相应的窄条81、83上。对此，为每个窄条81、83分配布置在连接板82上的对置的连接角85。连接角85固定地与连接板82和相应的窄条81、83连接。尤其连接角85与连接板82和/或窄条81、83粘结。

如果载体80设有与双t形状不同的载体形状，则连接角85如针对双t形载体所示的那样沿着接合在一起的结构型芯板12的紧邻区域布置。对此，连接角85不仅可设置成内角也可设置成外角。

在所示实施例中安装孔84沿着连接板82引入第一窄条81中。

通过连接角85可使窄条81、83简单而快速地与连接板82连接。对此，连接角85与窄条81、83和连接板82的大面积粘合实现了固定的、可负载的连接。通过安装在连接板82两侧的连接角85可可靠地避免在载体80一侧负载时窄条81、83相对于连接板82倾倒。

可将固定元件、尤其螺钉固定在安装孔84中。由此可使纯净气室10的其他构件、在该实施例中为罩盖板43与载体80连接。安装孔84从用作第一窄条81的结构型芯板12的第一盖板12.1开始仅通过结构型芯12.3引至第二盖板12.2。第二盖板12.2未被贯穿。由此在载体80中没有气体通过安装孔84到达纯净气室10的内部或从纯净气室10向外到达外部，在载体的第一窄条81上将从纯净气室10之外引入的固定元件引入安装孔84中。

如果根据未示出的实施方式安装孔84基于较简单的制造而穿过两个盖板12.1、12.2，其沿着连接板82的布置防止在纯净气室10的内部空间和外部空间之间的气体交换。通过在第一窄条81的侧部上在载体80的纵向延伸上粘结在连接板82两侧的连接角85，使得从连接板82到第一窄条81的过渡部被密封。由此没有气体从安装孔84沿着第一窄条81和连接板82之间的接触面到达纯净气室10的内部空间中或从纯净气室10的内部空间出来。

图17示出了图3中所示的在纯净气室10的罩盖40的区域中的局部xvii。

由结构型芯板12形成的罩盖板43分别通过框架43.1框住。框架43.1具有u构型并且套接、尤其粘接在罩盖板43的棱边上。由此获得框架43.1和相应罩盖板43之间的密封连接。罩盖板43由结构型芯板12、尤其由蜂窝式铝质型芯板制成。

罩盖板43以其框架43.1放置在图15和图16中所示的载体80的第一窄条81上。对此，安装在第一窄条81上的斜边81朝向罩盖40的外边缘定向。

载体80是罩盖40的在图2中所示的下部结构46。罩盖板43借助固定元件44固定在载体80上。固定元件44具有两个在侧面间隔布置的夹紧区段44.1。在夹紧区段44.1之间模制u形弯曲的固定区段44.2，将相应于在载体80的第一连接板81中引入的安装孔84的未示出的孔引入该固定区段中。固定元件44通过该孔借助相应的螺钉旋紧在载体80上。对此，夹紧区段44.1包围相邻罩盖板43的框架43.1并且将其固定夹紧在载体80上。相邻的罩盖板43通过固定区段44.2间隔开并进而固定在其位置上。

如图1所示，在罩盖40的外边缘上布置有边缘固定元件45。边缘固定元件45弯曲成s形并且具有夹紧侧臂45.1和固定侧臂45.2。在固定侧臂45.2中引入孔。夹紧侧臂45.1包围罩盖板43的外部框架43.1。固定侧臂45.2固定在侧壁30.1、30.2、30.3、30.4、30.5、30.6、30.7、30.8、30.9、30.10的该示意图中未示出的上部构型轨道62上。由此，罩盖板43的框架43.1夹紧在相应构型轨道62的夹紧侧臂45.1和支承条62.1之间。由此罩盖可靠地保持在侧壁30.1、30.2、30.3、30.4、30.5、30.6、30.7、30.8、30.9、30.10上。优选地，密封框架43.1在载体80和构型轨道62上的支承区域。

图18示出了图3中所示的在纯净气室10的支承结构70的固定的区域中的局部xviii。支承结构70用于支承在图2中所示的气体处理单元55和设置在其中的过滤器56。

示出了支承结构70在纯净气室10的第五角部11.5的区域中的固定。在第五竖直侧壁30.5上安装已经在图3中所示的u形的固定轨道71。在固定轨道71上固定载体支承部72。载体支承部72形成半壳，支承结构70的载体80置入该半壳中。在载体支承部72的区域中为固定轨道71的上部侧臂留出凹空部，从而载体80可置入载体支承部72中。凹空部通过遮盖部73遮盖。因此，载体80可靠地固定在第五竖直侧壁30.5上。

在图3所示的支承结构70的载体80的外端部的位置上，在侧壁30.1、30.2、30.3、30.4、30.5、30.6、30.7、30.8、30.9、30.10上安装载体支承部72。由此，在安装纯净气室10时从上方将预安装的支承结构70引入纯净气室的内部空间并且放置在载体支承部72上。优选地，支承结构70的载体80与载体支承部72连接、尤其通过螺钉连接。

与图15和图16所示的载体80的实施方式不同，支承结构70的载体80的安装孔84作为通孔安装在载体80的连接板82侧面。由此，过滤器56的固定螺钉可穿过安装孔84并且从下方用螺母旋紧。因为支承结构70布置在纯净气室10的内部空间中，在此无需附加的密封措施。

相比于已知的纯净气室，在图1至图18所示的主要由结构型芯板12制成的纯净气室10具有非常小的重量。由此，纯净气室10能够更简单地被运输并且搭建。能够降低其搭建位置处的地面负荷要求。由于所示结构，使纯净气室10的内部空间相对于周围环境被密封。由此能够设定并维持在纯净气室10的内部空间中所需的气氛。由此，能够在合适的气氛中实施重要的工艺和工序。根据所示设计构造的纯净气室10的尺寸可简单地与相应要求相匹配。为此，可对设置的底板22.1、22.2、22.3、侧壁30.1、30.2、30.3、30.4、30.5、30.6、30.7、30.8、30.9、30.10和罩盖板43以及所需的支承结构70的尺寸和数量进行相应地设计。纯净气室10的平面形状可从所示的六边形调整为任意其他形状。