集成电路生产车间的制作方法

文档序号:12350474阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种集成电路生产车间,所述车间中设有操作台(1)、灯具(2)及除尘系统,其特征在于:所述操作台(1)间隔布置于所述车间中,操作台(1)的上方的车间顶部设有除尘隔腔(3)并间隔安装有悬吊式除尘管(4),所述除尘隔腔(3)中安装有除尘器,所述悬吊式除尘管(4)为可伸缩管,悬吊式除尘管(4)的下部的伸缩管套(5)上安装有支撑盘(6),所述支撑盘(6)位于操作台(1)的正上方,支撑盘(6)上安装有多个灯具(2)。

2.根据权利要求1所述的集成电路生产车间,其特征在于:所述悬吊式除尘管(4)的最下端的管壁上设有吸尘孔(7)。

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