机械臂的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种机械臂，尤其涉及一种具备防止由设置于内部的驱动部产生的微粒(part i c 1 e )向外部流出的防尘机构的机械臂。
【背景技术】
[0002]以往，已知有搬送基板的基板搬送机械臂装置(例如参照专利文献1)。
[0003]该基板搬送机械臂装置具有:具有沿着垂直方向延伸的开口的中空的垂直壳体；容纳于垂直壳体的内部的垂直轴移动机构;藉由垂直轴移动机构于垂直方向上往返移动的水平壳体;水平壳体的上方的密封膜;以及垂直壳体的下方的密封膜。水平壳体与垂直轴移动机构连接，且具有贯通开口的中空支柱。而且，上方的密封膜的固定端固定于支持体并利用游动滑车折返，且经由固定滑轮结合于中空支柱的上端面。又，下方的密封膜的固定端固定于支持体并利用游动滑车折返，且经由固定滑轮结合于中空支柱的下端面。另外，上方的密封膜的游动滑车与下方的密封膜的游动滑车，以对上方的密封膜与下方的密封膜施加一定张力的形式连接。藉此，无论水平壳体因垂直轴移动机构受到驱动而移动至垂直行程内的哪一个位置，垂直壳体的开口均能够保持总是由中空支柱、上方的密封膜及下方的密封膜覆盖的状态。
[0004]现有技术文献:
专利文献1:日本特开平10-157847号公报。
【发明内容】
[0005]发明要解决的问题:
专利文献1所记载的基板搬送机械臂装置中由密封膜覆盖垂直壳体的开口，因此具有一定的防尘效果。然而，该防尘效果尚不充分。又，壳体的外部空间的气体中含有腐蚀性气体时，有时垂直轴移动机构会因腐蚀性气体流入至垂直壳体内而受到腐蚀，导致基板搬送机械臂装置的寿命缩短；
上述问题不限于基板搬送机械臂，是需要具有防尘功能的机械臂共同的问题。
[0006]本发明是鉴于如上所述的问题而成的发明，其第一目的在于提供一种比现有技术相更能提高对驱动机构产生的微粒的防尘效果的机械臂。
[0007]又，第二目的在于提供一种能够防止因腐蚀性气体自外部流入至内部而腐蚀驱动机构的机械臂。
[0008]解决问题的手段:
为了解决上述问题，本发明的某个形态的机械臂具备:形成有沿着某个方向延伸且于该延伸方向上具有第一端及第二端的开口的框体;经由所述开口而向所述框体的内部及外部延伸，在向该框体的外部延伸的部分设置有机械手的移动体;容纳于所述框体，且作用于所述移动体的向所述框体内部延伸的内在部而使所述移动体沿着所述开口的延伸方向移动的驱动机构；以及容纳于所述框体内部的密封带;所述密封带包含内侧带区间及外侧带区间，自所述开口的法线方向观察，所述内侧带区间及外侧带区间以两侧缘位于所述开口的两侧缘外侧的形式分别沿着该开口的延伸方向延伸；于所述框体的内部，所述内侧带区间的一端保持于所述移动体的内在部的所述第一端的一侧的部分，其他部分自所述移动体的内在部的所述第一端的一侧的部分，沿着所述开口而延伸至较所述移动体的内在部更靠所述第一端的一侧的第一空间位置，自所述第一空间位置起，于中途反转而延伸至较所述移动体的内在部更靠所述第二端的一侧的第二空间位置为止，且自所述第二空间位置沿着所述开口延伸，所述内侧带区间的另一端保持于所述移动体的内在部的所述第二端的一侧的部分，并且随着所述移动体的移动而旋转;所述外侧带区间包含:在所述内侧带区间与所述开口之间的第一部分，该第一部分的一端保持于所述移动体的内在部的所述第一端的一侧的部分，其他部分自所述移动体的内在部的所述第一端的一侧的部分，沿着所述开口而延伸至超越所述第一端的第三空间位置为止，且保持于该第三空间位置；以及在所述内侧带区间与所述开口之间的第二部分，该第二部分的一端保持于所述移动体的内在部的所述第二端的一侧的部分，其他部分自所述移动体的内在部的所述第二端的一侧的部分，沿着所述开口而延伸至超越所述第二端的第四空间位置为止，且保持于该第四空间位置;并且所述外侧带区间随着所述移动体的移动，所述第一部分的长度及所述第二部分的长度以一方增加另一方的减少量的形式发生变化;所述驱动机构位于由所述内侧带区间包围的空间。
[0009]根据该结构，对于位于由内侧带区间包围的空间中的驱动机构，由外侧带区间与内侧带区间双重地覆盖形成于框体的开口，因此，防止该驱动机构产生的微粒流出至框体的外部空间的效果(防尘效果)与现有技术相比有所提高。
[0010]所述机械臂亦可具备:于所述移动体的内在部的所述第一端的一侧的部分，以围绕沿所述开口的宽度方向延伸的旋转轴旋转的形式安装于所述移动体的第一移动辊;于所述移动体的内在部的所述第二端的一侧的部分，以围绕沿所述开口的宽度方向延伸的旋转轴旋转的形式安装于所述移动体的第二移动辊;位于所述第一空间位置，且以围绕沿所述开口的宽度方向延伸的旋转轴旋转的形式固定于所述框体的第一固定棍;以及位于所述第二空间位置，且以围绕沿所述开口的宽度方向延伸的旋转轴旋转的形式固定于所述框体的第二固定辊;所述内侧带区间的所述一端与所述外侧带区间的第一部分的所述一端相连，该相连部分卷绕于所述第一移动辊，从而保持于所述移动体的内在部的所述第一端的一侧的部分；
所述外侧带区间的第一部分的所述其他部分自所述第一移动辊延伸至所述第三空间位置为止，在该第三空间位置处固定于所述框体;所述内侧带区间的所述另一端与所述外侧带区间的第二部分的所述一端相连，该相连部分卷绕于所述第二移动辊，从而保持于所述移动体的内在部的所述第二端的一侧的部分;所述外侧带区间的第二部分的所述其他部分自所述第二移动辊延伸至所述第四空间位置为止，在该第四空间位置处固定于所述框体;所述内侧带区间的所述一端与所述另一端之间的部分卷绕于所述第一固定辊与所述第二固定辊，并且卷绕于使所述内侧带区间在所述第一固定辊与所述第二固定辊之间中途反转的辊上。
[0011]根据该结构，能够防止因密封带的外侧带区间与框体随着移动体的移动而相互摩擦所产生的微粒。
[0012]所述机械臂亦可具备:位于所述第一空间位置，且以围绕沿所述开口的宽度方向延伸的旋转轴旋转的形式固定于所述框体的第三固定辊;位于所述第二空间位置，且以围绕沿所述开口的宽度方向延伸的旋转轴旋转的形式固定于所述框体的第四固定辊;位于所述框体内部的所述第一端及所述第三固定辊的外侧，且以围绕沿所述开口的宽度方向延伸的旋转轴旋转的形式固定于所述框体的第五固定辊；以及位于所述框体内部的所述第二端及所述第四固定辊的外侧，且以围绕沿所述开口的宽度方向延伸的旋转轴旋转的形式固定于所述框体的第六固定辊;所述内侧带区间的所述一端固定于所述移动体的内在部的所述第一端的一侧的部分，并且所述内侧带区间的所述另一端固定于所述移动体的内在部的所述第二端的一侧的部分;所述内侧带区间的所述一端与所述另一端之间的部分卷绕于所述第三固定辊与所述第四固定辊，并且卷绕于使所述内侧带区间在所述第三固定辊与所述第四固定辊之间中途反转的辊上;所述外侧带区间的所述第一部分的一端固定于所述移动体的内在部的所述第一端的一侧的部分，并且所述外侧带区间的所述第二部分的一端固定于所述移动体的内在部的所述第二端的一侧的部分;于所述外侧带区间，所述第一部分的所述其他部分延伸至所述被保持的部分的前端为止，并且所述第二部分的其他部分延伸至所述被保持的部分的前端为止，所述第一部分的另一端与所述第二部分的另一端相连，所述第一部分的一端与所述第二部分的一端之间的部分位于所述内侧带区间与所述框体之间，卷绕于所述第五固定辊与所述第六固定辊，并且卷绕于使所述外侧带区间在所述第五固定辊与所述第六固定辊之间中途反转的辊上;所述内侧带区间及所述外侧带区间分别单独地构成内侧带及外侧带。
[0013]所述机械臂还可具备间隔壁，所述间隔壁沿着自所述内侧带区间的所述一端向第一空间位置延伸的部分的所述驱动机构的一侧、与自所述内侧带区间的所述另一端向第二空间位置延伸的部分的所述驱动机构的一侧延伸。
[0014]根据该结构，藉由存在于内侧带区间与驱动机构之间的间隔壁，能够更有效果地防止由位于内侧带区间包围的空间内的驱动机构产生的微粒流出至框体的外部空间。
[0015]所述机械臂还可具备抽吸所述外侧带区间与