介质支承装置的制作方法

文档序号:13743906阅读:来源:国知局
技术特征:
1.一种介质支承装置,包括压板和在所述压板中的多个吸盘,每个吸盘具有端口,空气能够通过所述端口从所述吸盘排出。2.根据权利要求1所述的介质支承装置,其中,所述压板中的所述吸盘的密度在所述压板的不同部分之间变化。3.根据权利要求1所述的介质支承装置,其中,所述压板包括多个托板,每个所述托板具有多个吸盘。4.根据权利要求3所述的介质支承装置,其中,在每个托板中的吸盘的密度在所述托板的不同部分之间变化。5.根据权利要求1所述的介质支承装置,其中,每个吸盘包括嵌入所述压板中的离散部分。6.根据权利要求1所述的介质支承装置,其中,每个吸盘包括所述压板的整体部分。7.根据权利要求1所述的介质支承装置,其中,每个吸盘包括围绕所述端口的边沿,所述边沿从所述压板的面突出。8.根据权利要求7所述的介质支承装置,其中,所述边沿在柔性环的周边处形成,所述柔性环的周边以间隔而围绕所述端口从而使得当支承在所述压板的所述面上的介质被吸到所述边沿上时所述环能够远离所述压板的所述面而弯曲到所述间隔中。9.根据权利要求8所述的介质支承装置,其中,每个吸盘包括多个脊部,每个所述脊部从所述端口向着所述边沿径向向外延伸。10.一种介质支承装置,包括:平整的刚性压板,其内具有多个吸盘以将真空施加到在所述压板上的介质;以及可拆卸板,其配制成覆盖所述压板的至少一部分,所述板具有在其内部的孔,真空能够通过所述孔而施加到所述板上的介质,并且所述板中的每个孔在所述板附接至所述压板时与所述压板中的吸盘或真空孔对齐。11.根据权利要求10所述的介质支承装置,其中,所述板包括多个可拆卸板,每个所述可拆卸板配置成覆盖所述压板的一部分,并且每个所述可拆卸板具有在其内部的孔,真空能够通过所述孔而施加到在所述板上的介质,每个板中的每个孔在所述板附接至所述压板时与所述压板中的吸盘或真空孔对齐。12.根据权利要求11所述的介质支承装置,还包括在所述压板中散置于所述吸盘之间的多个真空孔,并且其中,在每个板中的所述孔的一些与所述压板中的吸盘对齐,并且在每个板中的所述孔的一些与所述压板中的真空孔对齐。13.一种介质支承装置,包括压板以及嵌入所述压板中或为所述压板的整体部分的多个吸盘,所述吸盘设置在具有第一密度的第一部分中以及具有第二密度的第二部分中,所述第二密度比所述第一密度小。14.根据权利要求13所述的介质支承装置,其中:在所述第一部分中的每个吸盘与相邻的吸盘在第一方向和与所述第一方向垂直的第二方向两个方向上都间隔开第一距离,并且,在所述第二部分中的每个吸盘与相邻的吸盘在所述第一方向上间隔开所述第一距离并且在第二方向上间隔开第二距离,所述第二距离比所述第一距离大。15.根据权利要求13所述的介质支承装置,其中:在所述第一部分中的每个吸盘与相邻的吸盘在第一方向和与所述第一方向垂直的第二方向两个方向上都间隔开第一距离,并且,在所述第二部分中的每个吸盘与相邻的吸盘在所述第一方向和所述第二方向两个方向上都间隔开第二距离,所述第二距离比所述第一距离大。
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