简易外延片曝光装置的制作方法

文档序号:11152892阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种简易外延片曝光装置,包括影像定准器,其特征在于:影像定准器顶部设有数字电子偏振画面捕捉结构,数字电子偏振画面捕捉结构与影像定准器之间安装有曝光灯,数字电子偏振画面捕捉结构与影像定准器之间通过可调节装置连接,影像定准器底部位于一操作平台上,影像定准器与操作平台之间铰接,操作平台靠近两侧面下表面处安装有云台,云台与操作平台之间固定连接,两云台之间连接有耗能板,耗能板不止一个,耗能板上设有导轨,导轨竖向设置在耗能板上,导轨顶部位于操作平台上,导轨为两个,两导轨之间设有光源,光源固定在两导轨之间,光源上设有激光器;

所述影像定准器上设有保护罩。

2.根据权利要求1所述的简易外延片曝光装置,其特征在于:所述光源采用冷光紫外线灯。

3.根据权利要求1所述的简易外延片曝光装置,其特征在于:所述影像定准器与数字电子偏振画面捕捉结构之间设有密封圈。

4.根据权利要求1所述的简易外延片曝光装置,其特征在于:所述操作平台采用有机玻璃制成。

5.根据权利要求1所述的简易外延片曝光装置,其特征在于:所述云台通过玻璃胶与操作平台连接。

6.根据权利要求1所述的简易外延片曝光装置,其特征在于:所述导轨采用不锈钢材料制成。

7.根据权利要求1所述的简易外延片曝光装置,其特征在于:所述导轨内设有传送皮带。

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