可选地设置的马达镜单元7a,7b的不同射束直径和/或不同的镜大小和/或不同的镜位置。入射开口 4的开口横截面尤其适配于所需要的入射侧偏移V (参见图2a、2b以及图la、lb的立体图)。入射开口 4和第一接收开口 13a构造成长形孔。
[0031]在图4a和4b中示出了用于分别使具有小或大射束直径的激光束2a、2b偏转的、入射侧的第一马达镜单元7a、7b和射出侧的第二马达镜单元15a、15b。射出侧的第二镜12a、12b分别与射出侧的装配法兰16a、16b以及相应的射出侧驱动马达17a、17b —起形成第二马达镜单元15a、15b，所述第二马达镜单元可选地能固定在图3b示出的第二安装面14上。第一马达镜单元7a、7b的装配法兰6a、6b分别具有相同的接触面18并且利用所述接触面18能够可拆卸地固定到图3a和3b中示出的第一安装面8上。相应地，第二马达镜单元15a、15b的装配法兰16a、16b同样分别具有相同的接触面19用于固定在载体3的第二安装面14上。
[0032]图5示出由多个、在此是两个入射侧第一马达镜单元7a、7b构成的组20，根据射束直径从所述组中选择用于固定在载体上的另一马达镜单元7a、7b。第一马达镜单元7a具有小的第一镜11a、薄(第一)装配法兰6a连同布置在第一位置的小(第一)驱动马达5a并且另一第一马达镜单元7b具有大的第一镜11b、较厚(第二)装配法兰6b连同布置在另一位置、较大的(第二)驱动马达5b。因此，两个马达镜单元7a、7b在镜大小和/或镜位置方面相互不同。各个第一镜lla、llb分别绕轴线21a、2Ib被可枢转地支承并由马达驱动。
[0033]图6a和6b示出扫描装置1，其中，载体3的入射开口 4由不同孔板22a、22b (至少部分地)覆盖。供具有不同射束直径的激光束2a、2b穿过的孔开口 23a、23b不仅在直径方面而且在它们相对于所述孔板22a、22b的位置方面不同。要进入的激光束2a、2b首先从扫描装置的外部区域通过对应的孔开口 23a、23b进入并且然后通过入射开口 4进入载体3的内部或者进入扫描装置I的壳体9内部。在图6a、6b中，载体3部分地形成扫描装置I的壳体9或者所述载体3是壳体9的一部分。
[0034]最后，在图7a和7b中示出构造成螺纹内置件24a、24b的不同保持装置，各个不同的扫描物镜25a、25b (例如F/ Θ物镜)或者其射出侧的光学透镜能够通过所述保持装置以相对于载体3、尤其是扫描装置I的镜11、12不同的距离定位。在图7a、7b中仅仅局部地示出载体3。用于小扫描物镜25a或者用于具有小射束直径的激光束2a的螺纹内置件24a具有小的内螺纹26a或者小的内直径，与之相应地用于较大扫描物镜25b或者用于具有大射束直径的激光束2b的螺纹内置件24b具有大的内螺纹26b或者大的内直径。但是，两个螺纹内置件25a、25b为了固定在载体3上或者在载体3的射出开口 10上均具有同样大小的外螺纹27。
【主权项】
1.一种扫描装置(I)，用于借助于两个分别绕轴线(21a、21b)可枢转地支承的、马达驱动的镜(11a、11b、12a、12b) 二维地偏转激光束(2a、2b)，所述扫描装置具有第一马达镜单元(7a、7b)并且具有用于固定所述第一马达镜单元(7a、7b)的载体(3)，所述第一马达镜单元具有第一镜(IlaUlb)连同驱动马达(5a、5b)，其特征在于，提供至少两个分别具有装配法兰^a、6b)的第一马达镜单元(7a、7b)，所述第一马达镜单元分别具有相同的接触面(18)并且在镜大小和/或镜位置方面相互不同并且所述装配法兰可选地能够利用所述接触面(18)可拆卸地固定在所述载体(3)的相同的第一安装面(8)上。
2.如权利要求1所述的扫描装置，其特征在于，具有第二镜(12a、12b)连同驱动马达(17a、17b)的第二马达镜单元(15a、15b)为了固定在所述载体(3)上具有装配法兰(16a、16b)，所述装配法兰能够利用接触面(19)可拆卸地固定在所述载体(3)的第二安装面(14)上。
3.如权利要求2所述的扫描装置，其特征在于，提供至少两个分别具有装配法兰(16a、16b)的第二马达镜单元(15a、15b)，所述第二马达镜单元分别具有相同的接触面(19)并且在镜大小和/或镜位置方面相互不同并且所述装配法兰可选地能够可拆卸地固定在所述载体⑶的相同的第二安装面(14)上。
4.如前述权利要求中任一项所述的扫描装置，其特征在于，所述载体(3)具有壁，所述壁具有接收开口(13a、13b)以用于将所述马达镜单元(7a、7b、15a、15b)至少部分地配合到所述载体(3)中。
5.如权利要求4所述的扫描装置，其特征在于，所述接收开口(13a、13b)的轮廓与多个能够可选地布置的马达镜单元(7a、7b、15a、15b)的不同的镜大小和/或不同的镜位置相适应。
6.如前述权利要求中任一项所述的扫描装置，其特征在于，所述载体(3)具有用于所述入射激光束(2a、2b)的入射开口(4)，所述入射开口的开口横截面与多个能够可选地布置的马达镜单元(7a、7b)的不同的镜大小和/或不同的镜位置相适应。
7.如权利要求4至6中任一项所述的扫描装置，其特征在于，所述接收开口(13a、13b)和/或所述入射开口(4)分别构造成长形孔。
8.如前述权利要求中任一项所述的扫描装置，其特征在于，所述载体(3)、尤其是所述入射开口(4)能够至少部分地用不同的孔板(22a、22b)覆盖，所述孔板的孔开口(23a、23b)在直径和/或相对位置方面相互不同。
9.如前述权利要求中任一项所述的扫描装置，其特征在于，所述载体(3)至少部分地形成所述扫描装置(I)的壳体(9)。
10.如前述权利要求中任一项所述的扫描装置，其特征在于，在所述载体(3)上能够固定不同的保持装置(24a、24b)，所述保持装置将扫描物镜(25a、25b)相对于所述载体(3)、尤其是相对于所述扫描装置(I)的镜(lla、llb、12a、12b)分别以不同的距离定位。
11.一种由多个用于如前述权利要求中任一项所述的扫描装置的马达镜单元(7a、7b、15a、15b)构成的组(20)，其中，所述马达镜单元(7a、7b、15a、15b)分别具有镜(lla、llb、12a、12b)连同驱动马达(5a、5b、17a、17b)以及带有分别相同的接触面(18、19)的不同装配法兰(6a、6b、16a、16b)，其中，各个马达镜单元(7a、7b、15a、15b)在镜大小和/或镜位置方面相互不同。
【专利摘要】本发明涉及一种扫描装置(1)，所述扫描装置用于借助两个分别绕轴线可枢转地支承的、马达驱动的镜二维地偏转激光束(2a)，所述扫描装置具有带有一个所述第一镜连同驱动马达(5a)的第一马达镜单元(7a)，并且所述扫描装置具有用于固定所述第一马达镜单元(7a)的载体(3)，根据本发明，提供至少两个分别具有装配法兰(6a)的第一马达镜单元(7a)，所述第一马达镜单元分别具有相同的接触面并且在镜大小和/或镜位置方面相互不同并且所述第一马达镜单元能够可选地利用所述接触面可拆卸地固定在所述载体(3)相同的第一安装面(8)上。
【IPC分类】G02B26-10
【公开号】CN104755991
【申请号】CN201380055024
【发明人】M·胡翁克, R·布吕斯特勒
【申请人】通快激光有限责任公司
【公开日】2015年7月1日
【申请日】2013年8月26日
【公告号】DE102012216979A1, EP2898364A1, US20150212318, WO2014044495A1