光学滤波器器件、光学模块以及电子设备的制造方法
【技术领域】
[0001 ] 本发明涉及光学滤波器器件、光学模块以及电子设备。
【背景技术】
[0002]现有技术中，已知有将干涉滤波器容纳于框体内的光学滤波器器件，干涉滤波器中，在一对基板的彼此相对的面上隔着规定的间隙而分别相对配置有反射膜(例如参照专利文献1)。
[0003]在专利文献1记载的光学滤波器器件中，框体具备底座基板，干涉滤波器通过固定部件固定于底座基板。干涉滤波器的基板在与底座基板相对的相对面的一处粘接固定于该底座基板。
[0004]在该光学滤波器器件中，例如在使用粘接剂进行了粘接固定的情况下，与粘接基板的相对面的大致整面的构成相比，也能够使从粘接剂受到的应力变小。即，基板的相对面的粘接面积越小，越能抑制来自固化时收缩的粘接剂的拉应力和由于基板与底座基板的热膨胀系数差而产生的应力的影响。
[0005]在先技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1:日本特开2013-167701号公报
【发明内容】
[0008]然而，由于干涉滤波器在与底座基板接触的状态下在一处被固定于该底座基板，因此，当外部干扰等引发的振动施加于了光学滤波器器件时，振动有可能经由底座基板而传递至该干涉滤波器，使干涉滤波器的分辨率降低。例如，有时由于被传递有振动的干涉滤波器以固定位置为中心发生振动，从而使反射膜间的间隙尺寸变动。另外，有时由于干涉滤波器发生振动而使基板产生形变，从而使沿着反射面的面内的上述间隙尺寸的均匀性下降。这样，如果间隙尺寸发生变动或面内均匀性下降，则干涉滤波器的分辨率将会下降。
[0009]本发明的目的在于，提供能够抑制干涉滤波器的分辨率降低的光学滤波器器件、光学模块以及电子设备。
[0010]本发明的一应用例所涉及的光学滤波器器件的特征在于，具备:干涉滤波器，具有彼此相对的一对反射膜和设有所述一对反射膜中任一反射膜的基板；底座部，所述基板固定于所述底座部；以及固定部件，将所述基板的一处固定于所述底座部，所述基板的表面中的除被所述固定部件固定的部分以外的部分与所述底座部隔着间隙而配置。
[0011]本发明的一应用例所涉及的光学滤波器器件通过固定部件将干涉滤波器的基板的一处固定于底座部。而且，基板表面中的除固定部件固定的部分以外的部分与底座部隔着间隙而配置。
[0012]在此，在一处固定基板的情况下，例如有时会因于外部干扰的影响而使干涉滤波器的基板振动。具体而言，可例示以固定部件的固定位置为固定端、以离固定端最远的位置(最远部)为振幅最大的自由端的在基板厚度方向的固有振动。
[0013]在本应用例中，虽然通过固定部件在一处固定基板，但由于基板表面的固定部分以外的部分未与底座部接触，因而能够抑制由外部干扰引起的振动从底座部传递至基板。因此，能够抑制由于外部干扰的影响而导致的上述固有振动等振动的发生。因此，能够抑制由上述振动所引起的基板的形变，能够抑制由于该基板的形变所造成的干涉滤波器的分辨率降低。
[0014]在本应用例的光学滤波器器件中，优选，所述固定部件固定沿着所述基板的厚度方向的侧面。
[0015]在本应用例中，固定部件在一处固定沿着基板的厚度方向的侧面。
[0016]通常，基板的厚度方向的尺寸为比与厚度方向正交的平面方向的尺寸充分地小的尺寸。因此，基板的相对于厚度方向的刚性(对挠曲的耐性)比相对于平面方向的刚性低。为此，通过如上所述地将固定部件设置于侧面的一处，从而能够使来自于固定部件的应力的方向成为沿着侧面的平面方向，能够抑制由来自固定部件的应力所引起的基板的形变。因此，能够抑制由该基板的形变所导致的干涉滤波器的分辨率降低。
[0017]在本应用例的光学滤波器器件中，优选，所述固定部件沿着所述侧面的与厚度方向交叉的一边而设置。
[0018]在本应用例中，沿着侧面的与厚度方向交叉的一边设置有固定部件。
[0019]在这样的构成中，例如可将固定部件设置于侧面的大致整面，与固定固定部件的侧面的局部的情况相比，能够增大固定面积。由此，即使使用更低弹性的材料作为固定部件，也能够使固定部件的固定力为期望值以上，能够抑制基板的脱落。
[0020]在本应用例的光学滤波器器件中，优选，所述固定部件以与将所述侧面作为固定端的所述基板的旋转相应的应力弹性变形。
[0021]在本应用例中，固定部件以与将侧面作为固定端的基板的旋转相应的应力弹性变形。
[0022]在此，对于在一处固定基板侧面的构成，如上所述，有时会在基板上产生以固定位置为固定端的基板厚度方向的振动。在这样的振动中，由于在固定端处，基板沿着以该固定端为基点的旋转方向位移，因此，对应于该基板的旋转的应力作用于固定部件和基板。
[0023]对此，在本应用例中，固定部件由具有受到上述应力而弹性变形的程度的低弹性的材料形成。因此，即使由于外部干扰等的影响而使引发上述振动的外力作用于了干涉滤波器时，也能够通过固定部件弹性变形来抑制上述振动余留。
[0024]在本应用例的光学滤波器器件中，优选，所述底座部具有与所述侧面相对的固定面，所述侧面固定于所述固定面，所述侧面和所述固定面中任一方具有朝着另一方突出并与所述另一方抵接的突出部。
[0025]在本应用例中，突出部从基板的侧面和底座部的固定面中任一方朝着另一方突出并抵接。并且，在被突出部分隔开的侧面与固定面之间设有固定部件。
[0026]在这样的构成中，能够通过突出部的突出方向的尺寸限定侧面与固定面之间的距离，能够在使侧面与固定面隔开的同时，使基板相对于底座部定位并固定。
[0027]另外，例如在使用粘接剂作为固定部件的情况下，即使在侧面与固定面靠近的方向上发生了该粘接剂的固化收缩，也能够抑制侧面与固定面之间的距离变动，能够提高定位精度。
[0028]在本应用例的光学滤波器器件中，优选，所述侧面和所述固定面中任一方具有多个所述突出部，所述突出部具有朝着所述另一方变凸的曲面形状。
[0029]在本应用例中，突出部具有从侧面和固定面中的一方朝着另一方变凸的曲面形状，这样的突出部设有多个。
[0030]在这样的构成中，突出部具有沿着侧面和固定面的方向的截面积朝着突出方向而缩小的曲面形状，能够使与侧面和固定面中另一方抵接时的接触面积变小。由此，能够更可靠地抑制由外部干扰引起的振动从底座部传递而来。另外，通过用多个突出部抵接，从而能够在缩小接触面积的同时，提高定位精度。
[0031]在本应用例的光学滤波器器件中，优选，所述突出部设于所述固定面一侧，并具有比所述固定部件高的弹性模量。
[0032]在本应用例中，突出部设于底座部的固定面，由具有比固定部件高的弹性模量的材料形成。
[0033]在这样的构成中，例如通过将热固化性树脂、光固化性树脂等从液体固化为固体的材料涂布于固定面并使其固化，从而能够容易地形成突出部。另外，由于固化收缩时的应力不会作用于干涉滤波器的基板，因此，不会发生由该固化收缩引起的基板的形变，能够抑制干涉滤波器的分辨率降低。
[0034]在本应用例的光学滤波器器件中，优选，所述干涉滤波器还具备:变更所述一对反射膜的间隙尺寸的间隙变更部，所述基板包括:第一基板，所述一对反射膜中任一反射膜设置于所述第一基板；以及第二基板，所述一对反射膜中另一反射膜设置于所述第二基板，所述间隙变更部通过使所述第二基板向所述第一基板一侧挠曲(弯曲)来变更所述间隙尺寸，所述固定部件以与驱动所述间隙变更部时将所述固定部件的固定位置作为固定端的所述基板的旋转相应的应力弹性变形。
[0035]在本应用例中，构成为通过间隙变更来使第二基板挠曲，从而能够变更间隙尺寸。在这样的构成中，当间隙变更部使第二基板挠曲时，有时会由于随着第二基板的变形而作用于干涉滤波器的应力导致在干涉滤波器上产生上述那样的振动。这样，即使在干涉滤波器上产生了上述振动时，也能够通过固定部件弹性变形来恰当地抑制上述振动的余留。
[0036]本发明的一应用例所涉及的光学模块的特征在于，具备:干涉滤波器，具有彼此相对的一对反射膜和设有所述一对反射膜中任一反射膜的基板；底座部，所述基板固定于所述底座部；固定部件，将所述基板的一处固定于所述底座部；以及检测部，检测通过所述干涉滤波器所提取的光，所述基板的表面中的除被所述固定部件固定的部分以外的部分与所述底座部隔着间隙而配置。
[0037]在本应用例中，如上所述，能够抑制光学滤波器器件中的干涉滤波器的分辨率降低，能够在维持分辨率的状态下使光从光学滤波器器件中射出。因此，在光学模块中，能够通过受光部高分辨率地检测期望波长的光的光量。
[0038]本发明的一应用例所涉及的电子设备的特征在于，具备:干涉滤波器，具有彼此相对的一对反射膜和设有所述一对反射膜中任一反射膜的基板；底座部，所述基板固定于所述底座部；固定部件，将所述基板的一处固定于所述底座部；以及处理部，实施基于通过所述干涉滤波器所提取的光的处理，所述基板的表面中的除被所述固定部件固定的部分以外的部分与所述底座部隔着间隙而配置。
[0039]在本应用例中，如上所述，能够抑制光学滤波器器件中的干涉滤波器的分辨率降低，能够在维持分辨率的状态下使光从光学滤波器器件中射出。因此，可提供能够基于从光学滤波器器件中输出的高分辨率的光实施高精度的处理的电子设备。
【附图说明】
[0040]图1是示出本发明所涉及的第一实施方式的光学滤波器器件的概略构成的俯视图。
[0041]图2是示出上述第一实施方式的光学滤波器器件的概略构成的截面图。
[0042]图3是示出上述第一实施方式的波长可变干涉滤波器的概略构成的俯视图。
[0043]图4是示出上述第一实施方式的波长可变干涉滤波器的概略构成的截面图。
[0044]图5是示出上述第一实施方式的光学滤波器器件的制造工序的图。
[0045]图6的(A)和(B)是示意性示出滤波器固定工序中的底座和波长可变干涉滤波器的图。
[0046]图7的(A)和(B)是示意性示出滤波器固定工序中的底座和波长可变干涉滤波器的图。
[0047]图8的(A)和(B)是示意性示出滤波器固定工序中的底座和波长可变干涉滤波器的图。
[0048]图9的(A)和(B)是示意性示出滤波器固定工序中的底座和波长可变干涉滤波器的图。
[0049]图10是示意性示出滤波器固定工序中的底座和波长可变干涉滤波器的图。
[0050]图11是示出本发明所涉及的第二实施方式中的测色装置的概略构成的框图。
[0051]图12是示出作为本发明的电子设备的一个例子的气体检测装置的概略图。
[0052]图13是示出图12的气体检测装置的控制系统的构成的框图。
[0053]图14是示出作为本发明的电子设备的一个例子的食物分析装置的概略构成的图。
[0054]图15是示出作为本发明的电子设备的一个例子的分光照相机的概略构成的示意图。
[0055]符号的说明
[0056]1…测色装置(电子设备)、3...测色传感器(光学模块)、4...控制装置(控制部)、5…波长可变干涉滤波器(干涉滤波器)、31…检测部(受光部)、51…固定基板、51A…侧面、52...可动基板、52B…基板表面、54...固定反射膜、55...可动反射膜、56...静电致动器(间隙变更部)、100…气体检测装置(电子设备)、137…受光元件(受光部)、138…控制部、200…食物分析装置(电子设备)、213