驱动机构以及制造装置的制造方法
【技术领域】
[0001] 本发明设及一种驱动机构W及具备该驱动装置的制造装置。需要说明的是，在本 说明书中，制造装置是指包括直接制造物体的制造装置、W及在制造物体的工序中使用的 各种装置，该装置例如包括引线键合装置。
【背景技术】
[0002] 图10是示出W往的引线键合(Wire Bonding)装置的立体图。
[0003] 该引线键合装置的XYZ轴形成为Ξ层结构。在第一层2上配置有固定基座3,在固定 基座3上设置有X轴十字滚子导轨4。在X轴电动机部15上配置有X线性电动机17。通过X线性 电动机17使下部移动板6在X轴十字滚子导轨4上沿X轴方向移动。在第二层上配置有Y轴十 字滚子导轨12,通过Y线性电动机42使上部移动体10在Y轴十字滚子导轨12上沿Y轴方向移 动。
[0004] 在第Ξ层上设置有载置于上部移动体10的Z旋转支点，在该Z旋转支点配置有超声 波变幅器W及毛细管，Z旋转支点通过Z电动机而被摆动驱动(未图示）。换句话说，能够通过 Z电动机的驱动力使毛细管W及超声波变幅器沿Z轴方向移动。另外，本装置具有向毛细管 供给引线进行键合的键合机构(未图示）。
[0005] 上述的键合机构构成为：向毛细管供给引线，在从毛细管放出的引线的前端形成 球状部，通过毛细管使球状部向第一键合点移动，此时，通过超声波变幅器对球状部施加超 声波振动并且从毛细管对球状部施加压力，从而在第一键合点对引线进行接合，之后，使毛 细管向第二键合点移动，此时，通过超声波变幅器对引线施加超声波振动并且从毛细管施 加压力，从而在第二键合点对引线进行接合。
[0006] 在上述的引线键合装置中，当通过第一层2的X线性电动机17使下部移动板的往X轴 方向移动时，载置于该下部移动板6的上部移动体10与Z旋转支点的超声波变幅器W及毛细 管也沿X轴方向移动。另外，当通过第二层的Y线性电动机42使上部移动体10沿Y轴方向移动 时，载置于该上部移动体10的Z旋转支点的超声波变幅器W及毛细管也沿Y轴方向移动。但 是，即便使上部移动体10沿Y轴方向移动，下部移动板6也不会移动。另外，通过第Ξ层的Z电 动机使Z旋转支点的毛细管W及超声波变幅器摆动。但是，即便使Z旋转支点摆动，除Z轴的 摆动Y成分W外，下部移动板6W及上部移动体10不会移动。从第一层至第Ξ层的合成驱动 的结果是实现了精密的別Z移动。
[0007] 第Ξ层的Z电动机是Z旋转支点的摆动专用的电动机，因此对第一层的X线性电动 机17的朝向X轴方向的驱动完全没有贡献，单纯地成为负载。同样地，第二层的Y线性电动机 42是上部移动体10的Y轴方向的移动专用的电动机，对于第一层的X线性电动机17的朝向X 轴方向的驱动成为负载。另外，在X轴十字滚子导轨4上配置Y轴十字滚子导轨12,将Z电动机 搭载于箱状的壳体内，也需要一定程度的空间，因此运些也将成为负载。因此，X线性电动机 17与Z电动机相比相对负载大，不利于高加速度、减速度。
[000引当使Z旋转支点的超声波变幅器W及毛细管加速旋转时，在Z电动机的固定部产生 反作用力，该反作用力的矢量具有与X轴W及Υ轴均接近直角的角度，因此产生的该反作用 力成为振动源。
[0009]在先技术文献 [0010]专利文献
[0011] 专利文献1:日本特开2012-114359号公报
[0012] 专利文献2:日本特开2007-276304号公报
【发明内容】
[0013] 发明要解决的课题
[0014] 本发明的一方式的课题在于提供一种减小负载且有利于高加速度、减速度的驱动 机构或者制造装置。
[0015] 用于解决课题的方法
[0016] W下，对本发明的各种方式进行说明。
[0017] [1]-种驱动机构，其具有第一杆、第二杆、在平面上移动的第一移动机构、在所述 平面上移动的中央移动机构W及移动部，其特征在于，所述第一杆的一端通过第一旋转支 点W能够旋转的方式与所述移动部连接，所述第一杆的另一端通过第二旋转支点W能够旋 转的方式与所述第一移动机构连接，所述第二杆的一端通过设置于所述第一杆的第Ξ旋转 支点W能够旋转的方式与所述第一杆连接，所述第二杆的另一端通过第四旋转支点W能够 旋转的方式与所述中央移动机构连接，当使所述第一移动机构接近所述中央移动机构时， 所述移动部W远离所述中央移动机构的方式移动，当使所述第一移动机构远离所述中央移 动机构时，所述移动部W接近所述中央移动机构的方式移动。
[0018] [2]在上述[1]的基础上，其特征在于，所述驱动机构具有第Ξ杆、第四杆W及在所 述平面上移动的第二移动机构，所述第Ξ杆的一端通过第五旋转支点W能够旋转的方式与 所述移动部连接，所述第Ξ杆的另一端通过第六旋转支点W能够旋转的方式与所述第二移 动机构连接，所述第四杆的一端通过设置于所述第Ξ杆的第屯旋转支点W能够旋转的方式 与所述第Ξ杆连接，所述第四杆的另一端通过第八旋转支点W能够旋转的方式与所述中央 移动机构连接，当使所述第二移动机构接近所述中央移动机构时，所述移动部W远离所述 中央移动机构的方式移动，当使所述第二移动机构远离所述中央移动机构时，所述移动部 W接近所述中央移动机构的方式移动。
[0019] [2']在上述[2]的基础上，其特征在于，所述第二移动机构是第二平面电动机或者 第二ΧΥ工作台。
[0020] [3]在上述[1]、[2]W及[2']的任一项的基础上，其特征在于，所述驱动机构具备： 第一线性引导件，其将所述中央移动机构引导为位于所述平面上的第一直线上或者沿着第 一直线移动；W及第Ξ移动机构，其使所述第一线性引导件沿着所述平面上的与所述第一 直线交叉的第二直线移动。
[0021] [4]在上述[3]的基础上，其特征在于，所述第Ξ移动机构具有：固定线性引导件， 其将所述第一线性引导件的两端引导为位于所述第二直线上或者沿着所述第二直线移动； W及线性电动机，其使所述第一线性引导件位于所述第二直线上或者沿着所述第二直线移 动。
[0022] [5]在上述[3]或者[4]的基础上，其特征在于，所述驱动机构具有第二线性引导 件，该第二线性引导件将所述第一移动机构引导为，在所述平面上的连结所述中央移动机 构与所述第一移动机构的第Ξ直线上移动，所述第二线性引导件通过所述第一线性引导件 而被引导为沿着所述第一直线移动。
[0023] [6]在上述[1]~[4]、[2']的任一项的基础上，其特征在于，所述驱动机构具有:角 度编码器，其检测所述第一杆或者所述第二杆的角度；W及控制部，其根据通过所述角度编 码器检测出的所述角度而对所述第一平面电动机进行控制，W修正所述第一移动机构的位 置偏移。
[0024] [7]在上述[1]~[6]、[2']的任一项的基础上，其特征在于，所述驱动机构具有:应 力检测传感器，其检测所述第一杆或者所述第二杆的形变；W及控制部，其根据通过所述应 力检测传感器检测出的所述形变而对所述第一移动机构进行控制，W修正所述第一移动机 构的位置偏移。
[0025] [引在上述[1]~[7]、[2']的任一项的基础上，其特征在于，所述第一移动机构是 第一平面电动机或者第一 XY工作台，
[0026] 所述中央移动机构是中央平面电动机或者中央XY工作台。
[0027] [9]-种制造装置，其特征在于，具有上述[1]~[引的任一项所述的驱动机构。
[0028] [ 10 ]在上述[9 ]的基础上，其特征在于，所述制造装置具备:毛细管，其配置于所述 移动部；W及键合结构，其向所述毛细管供给引线，进行引线键合。
[00巧]发明效果
[0030] 根据本发明的一方式，能够提供一种减小负载且有利于高加速度、减速度的驱动 机构或者制造装置。
【附图说明】
[0031] 图1是示出本发明的一方式的驱动机构的示意图。
[0032] 图2是图1所示的驱动机构的俯视图。
[0033] 图3是示出图1所示的驱动机构的变形例的示意图。
[0034] 图4是图3所示的驱动机构的俯视图。
[0035] 图5是示意性地示出本发明的一方式的键合装置的立体图。
[0036] 图6是示意性地示出本发明的一方式的键合装置的立体图。
[0037] 图7是图6所示的键合装置的俯视图。
[0038] 图8是示意性地示出本发明的一方式的键合装置的俯视图。
[0039] 图9是示出第一实施方式的变形例的驱动机构的示意图。
[0040] 图10是示出W往的引线键合装置的立体图。
【具体实施方式】
[0041] W下，使用附图对本发明的实施方式进行详细说明。但是，本发明不限于W下的说 明，本领域技术人员容易认识到，在不脱离本发明的主旨及其范围的情况下能够对其方式 W及详细内容进行各种变更。因此，本发明不应理解为限定于W下所示的实施方式的记载 内容。
[0042] (第一实施方式）
[0043] 图1是示出本发明的一方式的驱动机构。图2是图1所示的驱动机构的俯视图。
[0044] 驱动机构通过组合四个平面电动机与Ξ个史格罗素(Scott-Russell)连杆机构而 在XYZ轴的空间内使移动部101移动。四个平面电动机只要使用公知的平面电动机即可。
[0045] W下进行详细说明。
[0046] 图及图2所示的驱动机构具有第一平面电动机下也称作"八点方位电动 机"。）1〇6、第二平面电动机下也称作"四点方位电动机"。）107、第Ξ平面电动机下也 称作"十二点方位电动机"。U08W及中央平面电动机105,运些平面电动机在同一平面上 (XY平面200上)移动。
[0047] 驱动机构具有第一杆103a、第二杆104a、第Ξ杆103b、第四杆104b、第五杆103c、第 六杆104c、移动部101W及固定部102。在固定部102上安装有中央平面电动机105。
[004引第一杆103a的一端通过第一旋转支点125a W能够旋转的方式与移动部101连接， 第一杆103a的另一端通过第二旋转支点126aW能够旋转的方式与八点方位电动机106连 接。第二杆104a的一端通过第Ξ旋转支点128aW能够旋转的方式与第一杆103a的中央连 接，第二杆104a的另一端通过第四旋转支点127aW能够旋转的