技术总结
一种多功能镀膜设备，包括真空腔室，在真空腔室内设置有坩埚、电磁感应线圈、中高频电源、工件台盘和高压气体管路，在真空腔室外设置有自控台架、靶材输送器、真空泵和高压供气系统。采用本发明的多功能镀膜设备，可实现真空腔内物理沉积镀膜和高压气体腔体外精细喷涂镀膜两种镀膜方法。并解决了镀制多种不同膜层以及进行金属和非金属材料的镀膜需要购置多种真空镀膜机、设备投资大的问题。
技术研发人员：宋逸
受保护的技术使用者：上海建冶科技工程股份有限公司
文档号码：201510455754
技术研发日：2015.07.29
技术公布日：2017.02.15