1.一种有机膜蒸镀装置,其包括蒸镀装置,涂覆有有机膜的第一施体基板或者元件基板被投入到所述蒸镀装置中并与形成有导电膜的第二施体基板对置,其特征在于,
所述蒸镀装置对涂覆有有机膜的所述第一施体基板的导电膜施加电场以产生焦耳热,从而将涂覆在所述第一施体基板上的有机膜蒸镀到所述第二施体基板上,接着对蒸镀有有机膜的所述第二施体基板的导电膜施加电场以产生焦耳热,从而将蒸镀在所述第二施体基板上的有机膜蒸镀到所述元件基板上。
2.根据权利要求1所述的有机膜蒸镀装置,其特征在于,进一步包括:
涂覆装置,用于在形成有导电膜的所述第一施体基板涂覆有机膜。
3.根据权利要求2所述的有机膜蒸镀装置,其特征在于,进一步包括:
加载互锁室,用于从所述涂覆装置接收涂覆有有机膜的所述第一施体基板并投入到所述蒸镀装置中,或者接收从所述蒸镀装置排出的所述第一施体基板。
4.根据权利要求1所述的有机膜蒸镀装置,其特征在于,所述蒸镀装置包括:
蒸镀室;
固定台,设置在所述蒸镀室的一侧,用于安放所述第二施体基板;
固定部,设置在所述蒸镀室的另一侧,以与所述第二施体基板对置的方式固定所述第一施体基板,并且进行升降;
驱动部,用于移动所述固定部,以使所述第一施体基板接近或远离所述第二施体基板;以及
供电装置,用于对所述第一施体基板或者所述第二施体基板的导电膜 施加电场。
5.根据权利要求1所述的有机膜蒸镀装置,其特征在于,所述蒸镀装置包括:
蒸镀室;
固定台,设置在所述蒸镀室内的一侧,用于安放所述第一施体基板;
固定部,其与所述第一施体基板对置,用于固定所述第二施体基板并进行升降;
供电装置,用于对所述第一施体基板或者所述第二施体基板施加电场;以及
驱动部,用于移动所述固定部。
6.根据权利要求1所述的有机膜蒸镀装置,其特征在于,所述涂覆装置包括:
涂覆室,形成用于收容所述第一施体基板的内部空间;
工作台,设置在所述涂覆室的下部,用于安放所述第一施体基板;
有机物供给装置,用于供给有机物;以及
喷头,从所述有机物供给装置接收有机物,并对安放在所述工作台上的所述第一施体基板喷射有机物,从而在所述第一施体基板上涂覆有机物。
7.根据权利要求4或5所述的有机膜蒸镀装置,其特征在于,进一步包括:
侧面支撑部,其设置在所述蒸镀室中,用于对投入到所述蒸镀室内的所述元件基板进行支撑。
8.根据权利要求4或5所述的有机膜蒸镀装置,其特征在于,
所述蒸镀室中设置有朝向位于下部的工作台的侧面上部凸出且末端的一部分被折弯的下部支撑部,或者位于所述工作台上部的一个以上的中央支撑部,以便对投入到所述蒸镀室内的所述元件基板进行支撑并防止所 述元件基板的中央部位下垂。
9.根据权利要求3所述的有机膜蒸镀装置,其特征在于,
所述蒸镀装置是与多个涂覆装置以及装载及卸载装置相连的枚叶式设备的一部分,所述装载及卸载装置用于将所述元件基板装载到所述蒸镀装置中或从所述蒸镀装置卸载所述元件基板。
10.一种蒸镀装置,其特征在于,包括:
蒸镀室;
固定台,设置在所述蒸镀室内的一侧,用于安放第二施体基板;
固定部,与所述第二施体基板对置,用于固定第一施体基板并进行升降;
供电装置,用于对所述第一施体基板或者所述第二施体基板施加电场;以及
驱动部,用于移动所述固定部。
11.一种蒸镀装置,其特征在于,包括:
蒸镀室;
固定台,设置在所述蒸镀室内的一侧,用于安放第一施体基板;
固定部,其与所述第一施体基板对置,用于固定第二施体基板并进行升降;
供电装置,用于对所述第一施体基板或者所述第二施体基板施加电场;以及
驱动部,用于移动所述固定部。
12.根据权利要求10或11所述的蒸镀装置,其特征在于,进一步包括:
侧面支撑部,其设置在所述蒸镀室中,用于对投入到所述蒸镀室内的元件基板进行支撑。
13.根据权利要求10或11所述的蒸镀装置,其特征在于,
所述蒸镀室中设置有朝向工作台的侧面上部凸出且末端的一部分被折弯的下部支撑部,或者位于所述工作台上部的一个以上的中央支撑部,以便对投入到所述蒸镀室内的元件基板进行支撑并防止所述元件基板的中央部位下垂。