技术总结
本实用新型涉及一种钙钛矿层薄膜的成型设备及其应用，利用一管状腔体，管状腔体依次设置有基片进入段、沉积腔、过渡腔、退火腔以及基片取出段等五个部分，在管状腔体内设置传送装置，在沉积腔和退火腔分别设置有载物台、气压调节装置和加热装置，在相邻段与腔室以及各腔室之间分别利用隔板隔开，将待沉积薄膜的基片放置在基板架上，由传送装置从基片进入段开始，依次连续地通过沉积腔、过渡腔和退火腔后，最后从基片取出段的基板架上取出已沉积完钙钛矿层薄膜的基片，将沉积成膜和退火工艺结合在一起，实现钙钛矿层薄膜产品的连续性生产。利用本实用新型的设备制造的钙钛矿层薄膜晶体颗粒大小均匀、致密，具有良好的光电转换效率。
技术研发人员：姚冀众;颜步一
受保护的技术使用者：杭州纤纳光电科技有限公司
文档号码：201620939493
技术研发日：2016.08.25
技术公布日：2017.08.15