0的输出通过阀V89和V165被引导至节点163并到喷头14中。歧管150的输 出通过阀V69被引导至节点163并到喷头14中。可以使用阀V162将吹扫气体供给至喷头 14的背面。
[0075] 在图6和图6D中，在RF阶段期间，用阀V215、MFC 114、阀V210、阀V214、阀V205 和阀V55将推气体供给至MM 134。MM 134的输出通过阀V166被转向至真空。歧管150 的输出通过阀V69被引导至节点163并到喷头14中。可以使用阀V162将吹扫气体供给至 喷头14的背面。
[0076] 在图6和图6E中，在RF后阶段期间，使用阀V215、MFC 114、阀V210、阀V214、阀 V205和阀V55将推气体供给至MM 134。MM 134的输出通过阀V166被转向至真空。歧管 160的输出通过阀V89和V165被引导至节点163并到喷头14中。歧管150的输出通过阀 V167被转向。可以使用阀V162将吹扫气体供给至喷头14的背面。
[0077] 现在参考图7和图7A-7E，示出了在图2中的阀的操作的例子。在图7和7A中，在 投配阶段期间，使用阀V215、MFC 114、阀V210和阀V214将推气体供给到安瓿118。汽化的 前体利用阀V205离开安瓿118并利用阀V206、限流孔142和阀V55流至MM 134。汽化的 前体利用阀V164继续通过阀歧管146至喷头14。可以使用阀V162将吹扫气体供给至喷头 14的背面。歧管150通过阀V167被转向。
[0078] 在图7和图7B中，在投配吹扫阶段期间，用阀V215、MFC 114和阀V210供给推气 体。阀V202将推气体转向至真空。另外，歧管160的输出通过阀V89和V165被引导到节 点163并到喷头14中。歧管150的输出通过阀V167被转向。可以使用阀V162将吹扫气 体供给至喷头14的背面。
[0079] 在图7和图7C中，在投配吹扫后阶段期间，用阀V215、MFC 114和阀V210供给推 气体。阀V202将推气体转向至真空。另外，歧管160的输出通过阀V89和V165被引导到 节点163并到喷头14中。歧管150的输出通过阀V69被引导至节点163并到喷头14中。 可以使用阀V162将吹扫气体供给至喷头14的背面。
[0080] 在图7和图7D中，在RF阶段期间，用阀V215、MFC 114和阀V210供给推气体。阀 V202将推气体转向至真空。歧管150的输出通过阀V69被引导至节点163并到喷头14中。 可以使用阀V162将吹扫气体供给至喷头14的背面。
[0081] 在图7和图7E中，在RF后阶段期间，用阀V215、MFC 114、阀V210、阀V214、阀V205 和阀V55将推气体供给至MM 134。MM 134的输出通过阀V166被转向至真空。歧管160 的输出通过阀V89和V165被引导到节点163并到喷头14中。歧管150的输出通过阀V167 被转向。可以使用阀V162将吹扫气体供给至喷头14的背面。
[0082] 现在参考图8和8A-8E，示出了在图2中的阀的操作的例子。在图8和图8A中，在 投配阶段期间，使用阀V215、MFC 114、阀V210和阀V214将推气体供给至安瓿118。汽化的 前体利用阀V205离开安瓿118并利用阀V206、限流孔142和阀V55流至MM 134。另外，气 体从歧管144流至MM 134。汽化的前体利用阀V164继续通过阀歧管146至喷头14。可 以使用阀V162将吹扫气体供给至喷头14的背面。歧管150通过阀V167被转向。
[0083] 在图8和图8B中，在投配吹扫阶段期间，用阀V215、MFC 114和阀V210供给推气 体。阀V202将推气体转向至真空。由歧管144供给的气体通过阀V166被重新引导至真空。 另外，歧管160的输出通过阀V89和V165被引导到节点163并到喷头14中。歧管150的 输出通过阀V167被转向。可以使用阀V162将吹扫气体供给至喷头14的背面。
[0084] 在图8和图8C中，在投配吹扫后阶段，用阀V215、MFC 114和阀V210供给推气体。 阀V202使推气体转向至真空。由歧管144供给的气体通过阀V166被重新引导至真空。另 外，歧管160的输出通过阀V89和V165被引导到节点163并到喷头14中。歧管150的输 出通过阀V69被引导至节点163并到喷头14中。可以使用阀V162将吹扫气体供给至喷头 14的背面。
[0085] 在图8和图8D中，在RF阶段期间，用阀V215、MFC 114和阀V210供给推气体。阀 V202使推气体转向至真空。由歧管144供给的气体通过阀V166被重新引导至真空。歧管 150的输出通过阀V69被引导至节点163并到喷头14中。可以使用阀V162将吹扫气体供 给至喷头14的背面。
[0086] 在图8和图8E中，在RF后阶段期间，用阀V215、MFC 114、阀V210、阀V214、阀V205 和阀V55将推气体供给至MM 134。由歧管144供给气体至MM 134。MM 134的输出通 过阀V166被转向至真空。歧管160的输出通过阀V89和V165被引导到节点163并到喷头 14中。歧管150的输出通过阀V167被转向。可以使用阀V162将吹扫气体供给至喷头14 的背面。
[0087] 现在参考图9和图9A-9E，示出了在图2中的阀的操作的例子。在图9和图9A中， 在投配阶段期间，用阀V215、MFC 114、阀V210和阀V214将推气体供给至安瓿118。汽化的 前体利用阀V205离开安瓿118并利用阀V206、限流孔142和阀V55流至MM 134。另外，来 自歧管144的气体经由阀V46流至MM 134。汽化的前体经由阀V164继续通过阀歧管146 至喷头14。可以使用阀V162将吹扫气体供给至喷头14的背面。歧管150通过阀V167转 向。
[0088] 在图9和图9B中，在投配吹扫阶段期间，用阀V215、MFC 114、阀V210、阀V213、阀 V206和阀V55将推气体供给至MM 134。通过歧管144供给的气体也被供给到MM 134。 MM 134的输出通过阀V164B被供给至喷头14。另外，歧管160的输出通过阀V89和V165 被引导到节点163并到喷头14中。歧管150的输出通过阀V167被转向。可以使用阀V162 将吹扫气体供给至喷头14的背面。
[0089] 在图9和图9C中，在投配吹扫后阶段期间，用阀V215、MFC 114、阀V210、阀V213、 阀V206和阀V55将推气体供给至MM 134。通过歧管144供给的气体也被供给到MM 134。 MM 134的输出通过阀V164B被供给至喷头14。另外，歧管160的输出通过阀V89和V165 被供给至节点163并到喷头14中。歧管150的输出通过阀V69B被供给至喷头14。可以使 用阀V162将吹扫气体供给至喷头14的背面。
[0090] 在图9和图9D中，在RF阶段期间，用阀V215、MFC 114、阀V210、阀V213、阀V206和 阀V55将推气体供给至MM 134。通过歧管144供给的气体也被供给到MM 134。MM 134 的输出通过阀V166B被转向至真空。歧管150的输出通过阀V69B被供给至喷头14。可以 使用阀V162将吹扫气体供给至喷头14的背面。
[0091] 在图9和9E中，在RF后阶段期间，用阀V215、MFC 114、阀V210、阀V213、阀V206 和阀V55将推气体供给至MM 134。通过歧管144供给的气体也被供给到MM 134。MM 134的输出通过阀V166B被转向至真空。另外，歧管160的输出通过阀V89和V165被供给 至喷头14。歧管150的输出通过阀V167被转向至真空。可以使用阀V162将吹扫气体供给 至喷头14的背面。
[0092] 仅作为示例，投配阶段可具有0. 4秒的持续时间，投配吹扫阶段可具有0秒的持续 时间，投配吹扫后可以具有0. 4秒的持续时间，RF阶段可以具有0. 6秒的持续时间，RF后阶 段可以具有〇. 1秒的持续时间，但也可使用其他的持续时间。在一些实例中，投配吹扫阶段 可具有零或非零的持续时间。
[0093] 现在参考图10和10A-10E，示出了在图2中的阀的操作的例子。在图10和10A 中，在投配阶段期间，用阀V215、MFC 114、阀V210和阀V214将推气体供给至安瓿118。汽 化的前体利用阀V205离开安瓿118并利用阀V206、限流孔142和阀V55流至MM 134。另 外，气体从歧管144流到MM 134。汽化的前体经由阀V164继续通过阀歧管146至喷头14。 可以使用阀V162将吹扫气体供给至喷头14的背面。歧管150通过阀V167转向。
[0094] 在图10和10B中，在投配吹扫阶段期间，用阀V215、MFC 114、阀V210、阀V213、阀 V206和阀V55将推气体供给至MM 134。通过歧管144供给的气体也被供给到MM 134。 MM 134的输出通过阀V164B被供给至喷头14。歧管150的输出通过阀V69B被供给至喷 头14。可以使用阀V162将吹扫气体供给至喷头14的背面。
[0095] 在图10和10C中，在投配吹扫后阶段期间，用阀V215、MFC 114、阀V210、阀V213、 阀V206和阀V55将推气体供给至MM 134。通过歧管144供给的气体也被供给到MM 134。 MM 134的输出通过阀V166B被转向至真空。歧管150的输出通过阀V69B被供给至喷头 14。可以使用阀V162将吹扫气体供给至喷头14的背面。
[0096] 在图10和10D中，在RF阶段期间，用阀V215、MFC 114、阀V210、阀V213、阀V206和 阀V55将推气体供给至MM 134。通过歧管144供给的气体也被供给到MM 134。MM 134 的输出通过阀V166B被转向至真空。歧管150的输出通过阀V69B被供给至喷头14。可以 使用阀V162将吹扫气体供给至喷头14的背面。
[0097] 在图10和10E中，在RF后阶段期间，用阀V215、MFC 114、阀V210、阀V214、阀 V205、阀V206和阀V55将汽化的前体供给至MM 134。通过歧管144供给的气体也被供给 到MM 134。MM 134的输出通过阀V166B被转向至真空。歧管150的输出通过阀V69B被 供给至喷头14。可以使用阀V162将吹扫气体供给至喷头14的背面。
[0098] 仅作为示例，投配阶段可具有0. 4秒的持续时间，投配吹扫阶段可具有0秒的持续 时间，投配吹扫后可以具有0. 4秒的持续时间，RF阶段可以具有0. 6秒的持续时间，RF后阶 段可以具有〇. 1秒的持续时间，但也可使用其他的持续时间。在一些实例中，投配吹扫阶段 可具有零或非零的持续时间。
[0099] 现在参考图11和图11A-11E，示出了在图2中的阀的操作的例子。在图11和11A 中，在投配阶段期间，用阀V215、MFC 114、阀V210和阀V214将推气体供给至安瓿118。汽 化的前体利用阀V205离开安瓿118并利用阀V206、限流孔142和阀V55流至MM 134。另 外，气体从歧管144流至MM 134。汽化的前体经由阀V164继续通过阀歧管146至喷头14。 吹扫气体可以经由阀V162被供给至喷头14的背面。歧管150通过阀V167被转