到上表面板140-1的下表面144的另一端144b的间隔距离d3可以是1 μπι?500 μπι。
[0160]参照图12，第一楔形构件212a可以在凹槽601内提升，第一楔形构件212a的另一端可以提升，使得第一楔形构件212a的插入深度达到第二深度D2，并且上表面板140-1的下表面144可以平行于第二参考表面402。
[0161]参照图13，随着第一楔形构件212a的插入深度超过第二深度D2，上表面板140-1的中部可以改变成具有沿第一方向的凸形。
[0162]另外，当上表面板140-1的下表面144的一端144a与第二参考表面402对齐时，上表面板140-1的下表面144的另一端144b可以位于第二参考表面402上方。
[0163]例如，当第一楔形构件212的插入深度是第三深度(D3>D2)且上表面板140-1的下表面144的一端144a与第二参考表面402对齐时，从第二参考表面402到上表面板140-1的下表面144的另一端144b的间隔距离d4可以是1 μπι?500 μπι。
[0164]控制器190控制第一移动部214，因此控制第一楔形构件212或212a在凹槽501或601内的插入位置。
[0165]例如，如果第一移动部214包括气缸和液压缸中的至少一个，则控制器190可以包括用以调节施加到气缸或液压缸的压力的阀，该阀诸如是电磁阀。
[0166]例如，控制器190可以产生控制信号以调整电磁阀，使得第一楔形构件212或212a的插入深度变成第一深度到第三深度中的一个。
[0167]例如，如果第一移动部214包括马达，则控制器190可以包括换流器以输出电信号来驱动马达。
[0168]第二形状调整单元220调整下表面板110的上表面的形状。
[0169]第二形状调整单元220可以通过将压力施加到下表面板110而将下表面板110的上表面的形状调整成凹形、平坦形状和凸形之一。
[0170]第二形状调整单元220可以包括设置在基座120和下表面板110之间的至少一个第二楔形构件222和用以将至少一个第二楔形构件222沿第二方向或者与第二方向相反的方向移动的至少一个第二移动部214。
[0171]随着至少一个第二楔形构件222沿第二方向或者与第二方向相反的方向移动，下表面板110的上表面可以具有凹形、平坦形状和凸形之一。
[0172]图14是示出了图1所示第二形状调整单元220和基座120的平面图，并且图15是图14所示的第二形状调整单元220和基座120沿线C-D截取的剖视图。
[0173]参照图14和图15，第二形状调整单元220可以包括至少一个第二楔形构件、至少一个第二移动部和至少一个连接部，该至少一个连接部连接该至少一个第二楔形构件和该至少一个第二移动部。
[0174]例如，第二形状调整单元220可以包括多个第二楔形构件222-1至222_4、多个第二移动部214-1至214-4和连接第二楔形构件222-1至222-4和第二移动部214-1至214-4的连接部242。
[0175]第二楔形构件222-1至222-4可以具有相同的构造，并且第二移动部214_1至214-4可以具有相同的构造。
[0176]第二楔形构件222-1至222-4中的每个可以具有楔形构造，其厚度或宽度沿第二方向减小或者与此相反，但是不限于此。
[0177]第二楔形构件222-1至222-4可以设置在基座120的上表面121的第一区域S1中。为了均匀地改变下表面板110的形状，第二楔形构件222-1至222-4可以相对于作为原点的基座120的中部或者下表面板110的中部对称地设置。
[0178]例如，第一区域S1可以是基座120的上表面121的局部区域，该局部区域位于基座120的外周面和基座120的中线701之间。基座120的中线701与基座120的外周面122的间隔距离和基座120的中线701与基座120的内周面123的间隔距离可以是相等的。
[0179]例如，第二楔形构件222-1至222-4可以设置成比基座120的内周面123更靠近基座120的外周面122。
[0180]第二楔形构件222-1至222-4的布置不限于图14和图15所示，并且根据另一实施例，第二楔形构件222-1至222-4可以布置成比基座120的外周面122更靠近基座120的内周面123，或者穿过中线701的左侧和右侧进行布置。在此，第二楔形构件222-1至222-4的布置可以包括由第二移动部214-1至214-4所移动的第二楔形构件222-1至222-4的位置。
[0181]该基座120包括凹槽801，第二楔形构件222-1至222-4分别插入或配装到这些凹槽801中。以与第二楔形构件222-1至222-4的数量对应的数量制备的凹槽801可以设置在基座120的上表面121上。
[0182]凹槽801的形状可以对应于第二楔形构件222-1至222_4的形状或者与第二楔形构件222-1至222-4的形状相符，使得第二楔形构件222-1至222-4可以插入或配装到凹槽801中。
[0183]凹槽801的底部812可以从第二参考表面402倾斜。
[0184]例如，凹槽801的底部812可以沿第二方向向上倾斜。
[0185]凹槽801可以设置在基座120的上表面121的第一区域S1内。
[0186]第二形状调整单元220还可以包括设置在第二楔形构件222-1至222_4与基座120的凹槽801之间的承载件225，从而减少第二楔形构件222-1至222-4与基座120的凹槽801之间的摩擦。
[0187]承载件225可以设置在凹槽801的底部812上或者设置在第二楔形构件222-1至222-4的外周面上。
[0188]承载件225允许第二楔形构件222-1至222_4在凹槽801中平顺地移动。
[0189]凹槽801的一端128可以接触基座120的外周面122，但是不限于此。在另一实施例中，凹槽801的一端128不会直接接触基座120的外周面122，并且可以与基座120的外周面122隔开。
[0190]为了便于承载件225的移动，可以将诸如油或脂的润滑剂127供应到承载件225。凹槽801的另一端129可以与基座120的上表面121具有高度差P。由于凹槽801的另一端129与基座120的上表面121具有高度差P，当第二楔形构件222-1至222-4移动时可以始终将润滑剂127充分供应到承载件225。
[0191]第二楔形构件222-1至222-4中的每个可以沿着从基座120的内周面123到基座120的外周面122的方向或者相反方向移动第二楔形构件222-1至222-4中对应的一个。
[0192]第二移动部224-1至224-4中的每个可以包括气缸和液压缸(未示出)中的至少一个或者包括马达。
[0193]图16至图18是示出了下表面板根据第二楔形构件222-1至222_4的移动的形状改变的视图。
[0194]参照图16，当第二楔形构件222-1至222-4位于第一位置时，下表面板110的上表面113的中部在第一位置中可以是凸形的。
[0195]该第一位置可以指第二楔形构件222-1至222-4未将力施加到下表板110的情形。在该情形中，下表面板110的上表面113的中部在第一位置中可以是凸形的。
[0196]例如，第一位置可以是这样的位置，S卩，第二楔形构件222-1至222-4位于凹槽801内并且不从凹槽801向外突出。在该第一位置，第二楔形构件222-1至222-4可以与凹槽801的端部129隔开第一距离，或者接触凹槽801的端部129。
[0197]在第一位置，当下表面板110的上表面113的一端113a与第二参考表面402对齐时，下表面板110的上表面113的另一端113b可以位于第二参考表面402的上方。在该第一位置，当下表面板110的上表面113的端部113a与第二参考表面402对齐时，从第二参考表面402到下表面板110的上表面113的另一端113b的间隔距离d5可以是1 μπι?500 μ mD
[0198]参照图17，当第二楔形构件222-1至222-4位于第二位置时，下表面板110的上表面113可以平行于第二参考表面402。对比于第一位置，第二位置可以是这样的位置，即，第二楔形构件222-1至222-4设置成更靠近下表面板110的外周面。
[0199]第二楔形构件222-1至222-4可以藉由第二移动部214-1至214-4而沿从基座120的内周面123到外周面122的方向移动。
[0200]对比图16，藉由移动的第二楔形构件222-1至222_4，下表面板110的上表面113的端部113a可以被相对提升，而下表面板110的上表面113的另一端113b可以被相对降下。
[0201]由此，随着第二楔形构件222-1至222-4移动到第二位置，具有沿第一方向的凸形的中部的下表面板110的上表面113可以改变成与第二参考表面402平行。
[0202]参照图18，当第二楔形构件222-1至222-4位于第三位置时，下表面板110的上表面113可以改变成具有这样的形状，S卩，该形状的中部是沿第一方向的凹形。
[0203]对比于第二位置，第三位置可以是这样的位置，即，第二楔形构件222-1至222-4设置成更靠近下表面板110的外周面。
[0204]在此，对比第二位置，第二楔形构件222-1至222-4可以藉由第二移动部214-1至214-4沿从基座120的内周面123到外周面122的方向进一步移动。
[0205]对比图17，藉由进一步移动的第二楔形构件222-1至222-4，下表面板110的上表面113的端部113a可以被相对提升，而下表面板110的上表面113的另一端113b可以被相对降下。
[0206]由此，随着第二楔形构件222-1至222-4移动到第三位置，平行于第二参考表面402的下表面板110的上表面113可以改变成具有这样的形状，即，该形状的中部是沿第一方向的凹形。
[0207]在该第三位置，当下表面板110的上表面113的端部113a与第二参考表面402对齐时，下表面板110的下表面113的另一端113b可以位于第二参考表面402的下方。在第三位置，当下表面板110的上表面113的端部113a与第二参考表面402对齐时，从第二参考表面402到下表面板110的上表面113的另一端113b的间隔距离d6可以是1 μπι?500 μ mD
[0208]图19是根据另一实施例的晶片抛光设备200的剖视图。晶片抛光设备200的各元件与图1所示的元件基本相同，这些元件由同样的附图标记表示，并且因此，省略了对这些元件的详细描述。
[0209]参照图19，晶片抛光设备200可以包括下表面板110、基座120a、基座支承件130、上表面板140、上表面板转动件150、恒星齿轮160、内齿轮170、至少一个载