第一开关为电磁阀门;所述第二开关为电磁阀门。
[0034]本发明实施例还提供了一种上述装置的使用方法，包括:
[0035]控制监控装置与气体腔体之间的第二开关关闭，并控制监控装置与出气管道之间的第一开关开启，监控出气管道中单位体积内粉末的含量；
[0036]控制监控装置与气体腔体之间的第二开关开启，并控制监控装置与出气管道之间的第一开关关闭，输出气体进行薄膜沉积。
[0037]较佳地，所述监控装置包括:粉末收集装置、弹簧和压力传感器，所述压力传感器通过所述弹簧与所述粉末收集装置连接；
[0038]所述监控出气管道中单位体积内粉末的含量，包括:
[0039]所述粉末收集装置收集出气管道中的气态物，并将收集到的气态物凝固为固态物；
[0040]所述压力传感器通过检测所述弹簧的压力，得到随时间变化的压力转化为数字信号的数值，根据预先建立的压力与单位体积的粉末含量的对应关系，得到出气管道中单位体积内粉末的含量。
[0041]较佳地，粉末储藏罐的底端设置为一移动结构，该移动结构用于调节所述粉末储藏罐的体积；
[0042]还包括:与粉末储藏罐和所述监控装置连接的报警调节装置，所述监控出气管道中单位体积内粉末的含量后，所述方法还包括:
[0043]报警调节装置接收所述监控装置反馈的出气管道中单位体积内粉末的含量，将单位体积内粉末的含量值与预设范围比较，当所述单位体积内粉末的含量值超出所述预设范围时，发出警报，并控制所述移动结构运动，直到警报消除。
【附图说明】
[0044]图1为现有技术CVD维修设备的结构示意图；
[0045]图2为本发明实施例提供的一种装置的结构示意图；
[0046]图3为本发明实施例一提供的监控装置的结构示意图；
[0047]图4(a)和图4(b)为本发明实施例一提供的粉末收集装置的结构示意图；
[0048]图5为本发明实施例二提供的监控装置的结构示意图；
[0049]图6为本发明实施例提供的另一装置的部分结构示意图；
[0050]图7为本发明实施例提供的一种上述装置的使用方法流程图。
【具体实施方式】
[0051]本发明实施例提供了一种装置及该装置的使用方法，用以降低对基板线路维修时失败的几率，提尚基板的品质。
[0052]为了使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明作进一步地详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。
[0053]下面结合附图详细介绍本发明具体实施例提供的装置，该装置用于对基板线路进行维修。
[0054]如图2所示，本发明具体实施例提供了一种装置，包括粉末储藏罐21和气体腔体14，粉末储藏罐21设置有进气管道22和出气管道23，进气管道22用于通入惰性气体，出气管道23与气体腔体14连接，本发明具体实施例的装置还包括监控装置24、第一开关25和第二开关26，
[0055]第一开关25设置在监控装置24与出气管道23之间，第二开关26设置在监控装置24与气体腔体14之间，优选地，本发明具体实施例中的第一开关25为电磁阀门，第二开关26为电磁阀门，在使用时可以通过通电和断电控制电磁阀门的开和关，便于远程自动控制；
[0056]监控装置24设置在粉末储藏罐21和气体腔体14之间，与出气管道23连通，用于在第二开关26关闭，第一开关25打开时，即在监控装置24与气体腔体14之间的气路处于关闭状态时，监控出气管道23中单位体积内粉末的含量。
[0057]优选地，如图2所示，本发明具体实施例进气管道22与粉末储藏罐21连接的进气口的截面形状为梯形；出气管道23与粉末储藏罐21连接的出气口的截面形状为梯形。
[0058]本发明具体实施例中的粉末以钨粉为例进行介绍，与现有技术钨粉储藏罐的进气口和出气口为圆柱形相比，本发明具体实施例将钨粉储藏罐的进气口和出气口设置为梯形结构，能够增大口径，使进气口的气流方向多样化，同时也使出气口不会出现钨粉结晶和堵塞的问题。
[0059]本发明具体实施例中的监控装置采用两种不同的设置，下面结合附图分别进行介绍。
[0060]实施例一:
[0061]如图2所示，本发明具体实施例的监控装置24包括:粉末收集装置27、弹簧29和压力传感器28;
[0062]粉末收集装置27用于，在第一开关25打开，第二开关26关闭时，收集出气管道23中的气态物，并将收集到的气态物凝固为固态物；
[0063]压力传感器28通过弹簧29与粉末收集装置27连接，用于在气态物凝固为固态物时，通过检测弹簧29的压力，得到随时间变化的压力转化为数字信号的数值，根据预先建立的压力与单位体积的粉末含量的对应关系，得到出气管道23中单位体积内粉末的含量。
[0064]下面以粉末为钨粉为例，结合附图详细介绍本发明具体实施例监控装置监控钨粉含量时的工作原理。
[0065]如图2所示，在第一开关25打开，第二开关26关闭时，出气管道23中的气体只能进入监控装置24，而不进入气体腔体14。具体实施时，本发明具体实施例中进气管道22通入的气体为氩(Ar)气，并对粉末储藏罐21进行加热，使得粉末储藏罐21中储藏的钨粉变为气态钨粉，气态钨粉在Ar气的吹动下，经过出气口流入出气管道23，在第一开关25打开，第二开关26关闭的情况下，气态钨粉进入监控装置24。
[0066]如图3所示，当粉末收集装置27将收集到的气态钨粉凝固为固态钨粉时，弹簧29会在固态钨粉的作用力下发生形变，并产生相应的压力，该压力被压力传感器28所感知，通过压力传感器28内部的信号转换器、信号放大器以及数字处理器的处理，得到随时间变化的压力转化为数字信号的数值，然后根据预先建立的压力与单位体积的气态钨粉含量的对应关系，得到出气管道23中单位体积内气态钨粉的含量。
[0067]具体地，如图2和图3所示，本发明具体实施例通过控制第一开关25打开和第二开关26关闭的时间，以及控制粉末储藏罐21中钨粉的含量，测试一系列粉末收集装置27的压力变化，在Ar气流量一定且已知的情况下，计算出单位时间单位体积的气态钨粉的含量，再测试对应的钨粉沉积薄膜厚度，得出相应的压力与单位体积的气态钨粉的含量，以及压力与薄膜厚度的一一对应关系数据库。
[0068]本发明具体实施例根据压力与单位体积的气态钨粉的含量，以及压力与薄膜厚度的一一对应关系数据库，以及实际生产的需要设定合适的钨粉含量范围，对钨粉的使用状况进行监控。
[0069]本发明具体实施例通过监控装置监控钨粉含量和使用状况，与现有技术只能记录设备运行时间和观察钨粉沉积