本发明涉及玻璃膜层叠体的制造方法、玻璃膜层叠体、电子设备的制造方法的技术。
背景技术：
从省空间化的观点出发，代替以往普及的CRT型显示器，近年来液晶显示器、等离子体显示器、有机EL显示器等平板显示器普及。
进而，在这些平板显示器中，存在对进一步薄型化的需求。
近年来，对于平板显示器等设备中使用的基板或盖玻片，对实现进一步薄化和高的挠性的需求提高。
为了对玻璃基板赋予挠性，将玻璃基板薄化是有效的，下述专利文献1中，提出了厚度为200μm以下的玻璃膜。
对平板显示器或太阳能电池等电子设备中使用的玻璃基板进行加工处理或清洗处理等各种制造关联处理。
然而，若将这些电子设备中使用的玻璃基板薄化，则由于玻璃为脆性材料，所以存在这样的问题：因稍微的应力变化而导致破损，在进行上述的各种电子设备的制造关联处理时处理非常困难。
此外，由于厚度为200μm以下的玻璃膜富有挠性，所以还存在在进行处理时难以进行定位、在图案化时产生偏移等这样的问题。
此外，为了提高经薄化的玻璃膜的处理性，在下述专利文献1中，提出了在支撑玻璃上层叠有玻璃膜的玻璃膜层叠体。
根据这样的玻璃膜层叠体，即使使用为单质时没有强度或刚性的玻璃膜，也由于支撑玻璃的刚性高，所以在处理时作为玻璃膜层叠体整体定位变得容易。
此外，处理结束后可以将玻璃膜从支撑玻璃剥离。
若将玻璃膜层叠体的厚度设定为与以往的玻璃基板的厚度相同，则也能够共用以往的玻璃基板用的电子设备制造线来制造电子设备。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2011-183792号公报
技术实现要素：
发明所要解决的课题
使用专利文献1中所示的玻璃膜层叠体来制造液晶面板等电子设备时，通常存在对玻璃膜层叠体涂布抗蚀液的工序(抗蚀工序)。进而，在抗蚀工序中涂布到玻璃膜层叠体上的抗蚀液通过感光、加热、干燥等方法而被固化。
此外，在专利文献1中所示的以往的玻璃膜层叠体1中，如图16中所示的那样，有时在玻璃膜10与成为支撑体11的支撑玻璃12的界面13中形成气泡14。进而，在该气泡14中，有在玻璃膜10的外周缘以与大气连通的形态形成的气泡。另外，以下，规定将这样的气泡14称为开口泡14a。
进而，就在界面13中存在开口泡14a的玻璃膜层叠体1而言，存在在抗蚀工序中涂布的抗蚀液进入开口泡中这样的问题。
此外，进入开口泡14a中的抗蚀液之后被固化，但存在通过该固化的抗蚀液将存在开口泡14a的部位的玻璃膜10和支撑玻璃12粘着这样的问题。
进而，以抗蚀液粘着的玻璃膜层叠体1存在这样的问题：在将支撑玻璃12与玻璃膜10分离时，该粘着的部位没有顺利地剥离，导致玻璃膜10的破损，玻璃膜10的成品率恶化，同时由玻璃膜层叠体1得到的玻璃膜10的合格品率也恶化。
因此，期望通过防止由抗蚀液引起的支撑玻璃与玻璃膜的粘着，来抑制玻璃膜的剥离时的破损的发生，谋求玻璃膜的成品率及合格品率的提高。
本发明是鉴于所述现状的课题而进行的，其目的是提供谋求玻璃膜的处理性的提高、并且防止玻璃膜层叠体中的层叠界面的开口泡的产生、实现玻璃膜的成品率及合格品率的提高的玻璃膜层叠体及玻璃膜层叠体的制造方法。
用于解决课题的方案
本发明所要解决的课题如上所述，接着说明用于解决该课题的方案。
本申请的第1发明的特征在于，其是在支撑体上层叠玻璃膜而制作的玻璃膜层叠体的制造方法，具有以下工序：对上述玻璃膜和上述支撑体的至少周边部施加超声波的超声波施加工序；将经过上述超声波施加工序的上述玻璃膜和上述支撑体进行清洗的清洗工序；在经过上述清洗工序的上述支撑体上层叠上述玻璃膜来制作玻璃膜层叠体的层叠工序。
本申请的第2发明的特征在于，上述支撑体为支撑玻璃。
本申请的第3发明的特征在于，在上述超声波施加工序中，使用喇叭型超声波发生器来施加超声波。
本申请的第4发明的特征在于，在上述超声波施加工序中，使用上述喇叭型超声波发生器，仅对上述玻璃膜和上述支撑玻璃的上述周边部施加超声波。
本申请的第5发明的特征在于，在上述超声波施加工序中，将上述玻璃膜和上述支撑玻璃在超声波清洗槽的内部浸入液体中，利用上述超声波清洗槽，对上述玻璃膜和上述支撑玻璃的整体施加超声波。
本申请的第6发明的特征在于，其进一步具有检查存在于上述玻璃膜层叠体的上述玻璃膜与上述支撑玻璃的界面中与上述玻璃膜的端边相接的气泡即开口泡的有无的开口泡检查工序。
本申请的第7发明的特征在于，在上述开口泡检查工序中，进一步检查与上述玻璃膜的周边部对应的上述玻璃膜层叠体的周边部中的除上述开口泡以外的气泡的有无。
本申请的第8发明的特征在于，上述玻璃膜层叠体的周边部为从上述玻璃膜的端边起10mm以上的宽度。
本申请的第9发明的特征在于，上述玻璃膜层叠体的除周边部以外的气泡的个数为0.1个/m2以上且10000个/m2以下。
本申请的第10发明的特征在于，其是将玻璃膜与支撑玻璃直接层叠而制作的玻璃膜层叠体，上述玻璃膜的全部端边没有间隙地与上述支撑玻璃相接。
本申请的第11发明的特征在于，上述玻璃膜以从上述玻璃膜的全部端边起10mm以上的宽度没有间隙地与上述支撑玻璃相接。
本申请的第12发明的特征在于，上述玻璃膜层叠体的除上述玻璃膜与上述支撑玻璃没有间隙地相接的部位以外的部位中的气泡的个数为0.1个/m2以上且10000个/m2以下。
本申请的第13发明的特征在于，在上述支撑玻璃上设置有薄膜层。
本申请的第14发明的特征在于，其是具有以下工序的电子设备的制造方法：在电子设备制造关联处理前在支撑体上层叠玻璃膜来制作玻璃膜层叠体的层叠工序；通过对上述玻璃膜层叠体中的上述玻璃膜进行电子设备制造关联处理而在上述玻璃膜层叠体的上述玻璃膜上形成元件，以密封基板将上述元件密封来制作带支撑体的电子设备的工序；将上述带支撑体的电子设备中的电子设备制造关联处理后的上述玻璃膜从上述支撑体剥离来制造电子设备的工序，上述层叠工序为通过发明1～发明8中任一项所述的玻璃膜层叠体的制造方法来制作玻璃膜层叠体的工序。
发明效果
作为本发明的效果，发挥以下所示那样的效果。
根据本申请的第1发明，能够防止在玻璃膜层叠体的周边部产生开口泡。
由此，能够防止在抗蚀工序时抗蚀液渗透至玻璃膜与支撑体的界面中，进而，能够防止玻璃膜与支撑体的粘着，防止玻璃膜在剥离时破损。
根据本申请的第2发明，在作为支撑体使用支撑玻璃的情况下，能够防止在玻璃膜层叠体的周边部产生开口泡。
根据本申请的第3发明，能够从玻璃膜及支撑体的周边部将通常的成为开口泡的主要原因的异物可靠地除去。
根据本申请的第4发明，能够缩短除去成为开口泡的主要原因的异物所需要的时间。
根据本申请的第5发明，能够从玻璃膜及支撑体的周边部将成为开口泡的主要原因的异物可靠地除去。
此外，通过将玻璃膜及支撑体的除周边部以外的部位的异物除去，能够提高玻璃膜的合格品率。
根据本申请的第6发明，能够将产生开口泡的玻璃膜层叠体排除。
由此，能够提高制造关联处理后的玻璃膜的成品率。
根据本申请的第7发明，能够防止在检查开口泡的有无后产生开口泡。
由此，能够可靠地提高制造关联处理后的玻璃膜的成品率。
根据本申请的第8发明，能够可靠地防止在玻璃膜层叠体的周边部中产生开口泡。
根据本申请的第9发明，能够抑制时间或费用，且可靠地抑制玻璃膜层叠体的比周边部更靠内侧的封闭泡的产生。
根据本申请的第10发明，能够防止在抗蚀工序时抗蚀液渗透至玻璃膜与支撑体的界面，进而，能够防止玻璃膜与支撑体的粘着，防止在剥离时玻璃膜破损。
根据本申请的第11发明，能够提高玻璃膜的成品率。
根据本申请的第12发明，能够抑制时间和成本，且可靠地抑制玻璃膜层叠体的比周边部更靠内侧的封闭泡的产生。
根据本申请的第13发明，玻璃膜的剥离变得容易，能够提高玻璃膜的成品率。
根据本申请的第14发明，能够提高电子设备的成品率。
附图说明
图1是表示包含本发明所述的玻璃膜层叠体的制造方法的电子设备(玻璃膜)的制造方法的示意图。
图2是表示玻璃膜的制作方法(溢流下拉法)的示意图。
图3是表示玻璃膜层叠体的制作状况的立体示意图。
图4是用于说明玻璃膜与支撑玻璃的接合机制的示意图，(a)是表示羟基彼此的氢键的状况的图，(b)是表示隔着水分子的氢键的状况的图。
图5是表示本发明所述的玻璃膜层叠体的其他实施方式的示意图。
图6是表示本发明所述的玻璃膜层叠体的制造方法的流程图。
图7是表示本发明所述的玻璃膜层叠体的构成构件的示意图，(a)是表示玻璃膜的平面示意图，(b)是表示支撑玻璃的平面示意图。
图8是表示本发明所述的玻璃膜层叠体的示意图，(a)是平面示意图，(b)是侧面示意图。
图9是表示本发明所述的玻璃膜层叠体的制造方法中的利用喇叭型超声波发生器的超声波的施加状况的立体示意图。
图10是表示玻璃膜层叠体(在周边部有开口泡的状态)的平面示意图。
图11是表示玻璃膜层叠体(在周边部有封闭泡的状态)的平面示意图。
图12是表示本发明所述的玻璃膜层叠体(在周边部的内侧有封闭泡的状态)的平面示意图。
图13是表示本发明所述的玻璃膜层叠体的一个例子即带支撑玻璃的电子设备的示意图。
图14是表示抗蚀液相对于玻璃膜层叠体中的开口泡的渗透状况的平面示意图。
图15是表示确认本发明所述的玻璃膜层叠体中的合格品率的改善状况的实验结果的图。
图16是表示以往的存在开口泡的玻璃膜层叠体的平面示意图。
具体实施方式
以下，对于本发明所述的玻璃膜层叠体的优选的实施方式，参照附图进行说明。
首先，对本发明所述的玻璃膜层叠体1的制造方法进行说明。
在本发明所述的玻璃膜层叠体1的制造方法中，如图1中所示的那样，在第1工序中，通过在支撑体11上层叠玻璃膜10来制作玻璃膜层叠体1。
玻璃膜10使用硅酸盐玻璃、二氧化硅玻璃，优选使用硼硅酸玻璃，最优选使用无碱玻璃。
若在玻璃膜10中含有碱成分，则在表面产生阳离子的脱落，产生所谓的出碱的现象，结构上变粗。该情况下，若使玻璃膜10弯曲而使用，则有可能通过经年劣化由变粗的部分发生破损。
另外，这里所谓的无碱玻璃是实质上不包含碱成分(碱金属氧化物)的玻璃，具体而言，为碱成分为3000ppm以下的玻璃。
本发明中使用的无碱玻璃的碱成分的含量优选为1000ppm以下，更优选为500ppm以下，进一步优选为300ppm以下。
玻璃膜10的厚度优选为300μm以下，更优选为5～200μm，最优选为5～100μm。
由此，能够使玻璃膜10的厚度更薄，赋予适当的挠性。
使厚度更薄的玻璃膜10处理性困难，且容易产生定位错误或图案化时的挠曲等问题，但通过使用后述的支撑体11，能够容易地进行图案化等制造关联处理等。
另外，若玻璃膜10的厚度低于5μm，则有可能玻璃膜10的强度容易变得不足，从支撑体11将玻璃膜10剥离变难。
支撑体11只要是能够支撑玻璃膜10，则对于其材质没有特别限定，可以使用合成树脂板、天然树脂板、木板、金属板、玻璃板、陶瓷板、结晶化玻璃板等板状体。此外，对于支撑体11的厚度也没有特别限定，也可以根据作为支撑体所选择的材质的刚性来适当选择支撑体11的厚度。以改善玻璃膜10的处理等作为目的的情况下，也可以使用PET膜等树脂膜。另外，也可以在上述的板状体的表面上，通过适当设置用于调整与玻璃膜10的粘接性或剥离性的后述的树脂层来制成支撑体11。
对于支撑体11，优选使用支撑玻璃12。由此，相对于电子设备制造关联处理时的热处理或药液处理、曝光处理等，玻璃膜10及支撑玻璃12由于其特性或形状稳定，所以能够维持玻璃膜层叠体1的稳定的层叠状态。
支撑玻璃12与玻璃膜10同样使用硅酸盐玻璃、二氧化硅玻璃、硼硅酸玻璃、无碱玻璃等。
对于支撑玻璃12，优选使用与玻璃膜10的30～380℃下的热膨胀系数的差为5×10-7/℃以内的玻璃。
进而，从抑制膨胀率的差的观点出发，支撑玻璃12和玻璃膜10最优选使用具有相同的组成的玻璃。
支撑玻璃12的厚度优选为400μm以上。若支撑玻璃12的厚度低于400μm，则在将支撑玻璃12以单质进行处理的情况下，有可能在强度方面产生问题。支撑玻璃12的厚度优选为400～700μm，最优选为500～700μm。
由此，能够以支撑玻璃12可靠地支撑玻璃膜10，同时能够有效地抑制从支撑玻璃12将玻璃膜10剥离时可产生的玻璃膜10的破损。
另外，在后述的抗蚀液的涂布时(第3工序)等，在未图示的装定器上载置玻璃膜层叠体1的情况下，支撑玻璃12的厚度也可以低于400μm(例如300μm等与玻璃膜10相同的厚度)。
本发明中使用的玻璃膜10及支撑玻璃12优选通过下拉法来成形，更优选通过溢流下拉法来成形。
特别是图2中所示的溢流下拉法为在成形时玻璃板的两面不与成形构件接触的成形法，在所得到的玻璃板的两面(透光面)不易产生伤痕，即使不研磨也能够得到高的表面品位。当然，本发明中使用的玻璃膜10及支撑玻璃12也可以是通过浮法或狭缝下拉(slotdowndraw)法、轧平(rollout)法、引上(up-draw)法、再曳引(redraw)法等来成形的。
在图2中所示的溢流下拉法中，刚从截面为楔型的成形体20的下端部21流下后的玻璃带G通过冷却辊22边限制宽度方向的收缩边向下方拉伸而变薄至规定的厚度。接着，将达到上述规定厚度的玻璃带G以未图示的徐冷炉(退火炉)慢慢冷却，除去玻璃带G的热应变，并将玻璃带G切断成规定尺寸，由此玻璃膜10及支撑玻璃12分别被成形。
以下，对作为支撑体11采用了支撑玻璃12的实施方式进行说明。对于除起因于支撑玻璃12的材质的特有的说明部位以外的部分，可以适当将支撑玻璃12替换成支撑体11。
如图3中所述的那样，在玻璃膜10上设定有接触面10a和有效面10b。
接触面10a为与支撑玻璃12层叠时，与该支撑玻璃12相对并接触的一侧的面。
此外，有效面10b为与接触面10a相反侧的面、且为实施元件的形成等制造关联处理的一侧的面。
此外，在支撑玻璃12上设定有接触面12a和搬送面12b。
接触面12a为与玻璃膜10层叠时，与该玻璃膜10相对并接触的一侧的面。
此外，搬送面12b为与接触面12a相反侧的面、且为在玻璃膜层叠体1在搬送辊上被搬送时与该搬送辊相接的一侧的面。
图3中，在支撑玻璃12上层叠有大致相同面积的玻璃膜10，但支撑玻璃12也可以按照从玻璃膜10溢出的方式层叠。
该情况下，支撑玻璃12的从玻璃膜10的溢出量优选为0.5～10mm，更优选为0.5～1mm。
通过减少支撑玻璃12的溢出量，能够更宽地确保玻璃膜10的有效面10b的面积。
此外，在支撑玻璃12上层叠玻璃膜10的工序也可以在减压下进行。由此，能够减少在使玻璃膜10与支撑玻璃12层叠时在两者间产生的气泡。
玻璃膜10的接触面10a和支撑玻璃12的接触面12a的表面粗糙度Ra优选为2.0nm以下。由此，由于玻璃膜与支撑玻璃以平滑的表面彼此进行接触，所以密合性良好，即使不使用粘接剂，也能够使玻璃膜与支撑玻璃牢固地稳定地层叠。
为了将玻璃膜10与支撑玻璃12无粘接剂地牢固地层叠，本发明中使用的玻璃膜10及支撑玻璃12的各自的接触面10a·12a的表面粗糙度Ra分别优选为1.0nm以下，更优选为0.5nm以下，最优选为0.2nm以下。
本实施方式中，将玻璃膜10与支撑玻璃12的相互接触的一侧的面的表面粗糙度Ra分别设定为2.0nm以下，在第1工序中，通过将相互接触的一侧的面的表面粗糙度Ra分别为2.0nm以下的玻璃膜10与支撑玻璃12层叠，并将玻璃膜10相对于支撑玻璃12牢固地固定，制作了玻璃膜层叠体1。
若按照玻璃膜10与支撑玻璃12的各接触面10a·12a的表面粗糙度Ra达到2.0nm以下的方式进行平滑化，则在使这2个平滑的玻璃基板密合的情况下玻璃基板彼此无粘接剂地以能够剥离的程度粘着而成为玻璃膜层叠体1。推测该现象基于下面的机制。
认为如图4的(a)中所示的那样，通过形成于玻璃膜10的表面(接触面10a)和支撑玻璃12的表面(接触面12a)上的羟基彼此的氢键而相互吸引。或者，认为如图4的(b)那样，有时也通过隔着存在于玻璃膜10与支撑玻璃12的界面13中的水分子而形成氢键，从而玻璃膜10与支撑玻璃12相互粘着。
另外，本实施方式中，在支撑玻璃12上直接层叠玻璃膜10，但也可以如图5中所示的那样，在支撑玻璃12上形成薄膜层15后层叠玻璃膜10。对于薄膜层15，优选使用ITO、ZrO2等无机氧化物或SiNx、TiN、CrN、TiAlN、AlCrN等氮化物、Ti等金属、类金刚石碳、TiC、WC等碳化物、MgF2等氟化物。此外，此时，薄膜层15的表面粗糙度Ra优选依次分别为2.0nm以下、1.0nm以下、0.5nm以下、0.2nm以下。此外，对于薄膜层15，也可以使用树脂，此时，由于玻璃膜10最后被剥离，所以对于形成于支撑玻璃12上的薄膜层15，优选使用微粘合性的物质。该情况下，可以使用聚乙烯、聚氯乙烯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚偏氯乙烯、聚丙烯、聚乙烯基醇、聚酯、聚碳酸酯、聚苯乙烯、聚丙烯腈、乙烯醋酸乙烯酯共聚物、乙烯-乙烯基醇共聚物、乙烯-甲基丙烯酸共聚物、尼龙、玻璃纸、有机硅树脂等，薄膜层15对于材质自身具有粘合性的情况可以仅使用基材，也可以使用在基材的两面另外涂布有粘合剂的物质，还可以无基材而仅为粘合层。
另一方面，玻璃膜10的有效面10b的表面粗糙度没有特别限定，但由于在后述的第3工序中，进行元件的形成处理等，所以表面粗糙度Ra优选为2.0nm以下，更优选1.0nm以下，进一步优选0.5nm以下，最优选0.2nm以下。支撑玻璃12的搬送面12b的表面粗糙度没有特别限定。
在本发明所述的玻璃膜层叠体1的制造方法中，如图1及图6中所示的那样，在第1工序中，在将玻璃膜10与支撑玻璃12直接层叠来制作玻璃膜层叠体1的工序即层叠工序(STEP-1-3)之前，具有以下工序：对玻璃膜10及支撑玻璃12分别施加超声波US的超声波施加工序(STEP-1-1)、和将附着在经过超声波施加工序(STEP-1-1)的玻璃膜10及支撑玻璃12上的异物进行清洗而除去的清洗工序(STEP-1-2)，在这点上具有特征。
超声波施加工序(STEP-1-1)及清洗工序(STEP-1-2)为用于防止在玻璃膜层叠体1的界面13中产生开口泡的工序。
如图16中所示的那样，在将玻璃膜10与支撑玻璃12层叠时，若界面13中有异物，则有时因该异物而导致玻璃膜10与支撑玻璃12局部地不密合，在玻璃膜层叠体1的界面13中形成气泡14。
即，若将玻璃膜10的接触面10a及支撑玻璃12的接触面12a中的异物可靠地除去，则能够防止在界面13中形成气泡14。
如图16中所示的那样，在气泡14中，存在与玻璃膜10的端边10c相接的气泡14即开口泡14a、和不与玻璃膜10的端边10c相接的气泡14即封闭泡14b。
开口泡14a是指存在于玻璃膜层叠体1中的玻璃膜10与支撑玻璃12的界面13中的气泡14中的与玻璃膜10的端边10c相接的气泡，与外部连通。此外，封闭泡14b不与玻璃膜10的端边10c相接，也不与外部连通。
在本发明所述的玻璃膜层叠体1的制造方法中，如图7的(a)(b)中所示的那样，对玻璃膜10及支撑玻璃12的各表面的至少周边部10d·12d进行超声波施加工序(STEP-1-1)及清洗工序(STEP-1-2)中的异物的除去。
另外，玻璃膜10的周边部10d是指如图7的(a)中所示的那样，从玻璃膜10的接触面10a中的4条各端边10c·10c…起规定的宽度L的范围(带右上的斜线的范围)，支撑玻璃12的周边部12d是指如图7的(b)中所示的那样，从支撑玻璃12的接触面12a中的4条各端边12c·12c…起规定的宽度M的范围(带右下的斜线的范围)。
进而，如图8的(a)中所示的那样，将与周边部10d·12d重叠的范围(以网纹状带斜线的规定的宽度N的范围)规定为玻璃膜层叠体1中的周边部1d。
另外，玻璃膜10的周边部10d与支撑玻璃12的周边部12d不需要范围完全一致，玻璃膜10的周边部10d与支撑玻璃12的周边部12d相比可以溢出，相反，支撑玻璃12的周边部12d与玻璃膜10的周边部10d相比也可以溢出。
存在于周边部1d的异物成为开口泡14a的主要原因的可能性特别高。此外，起因于存在于周边部10d·12d的异物而产生的封闭泡14b通过来自外部的应力或经时变化等，发生位置偏移而变化成开口泡14a的可能性高。
即，为了可靠地防止开口泡14a，还需要防止周边部1d中的封闭泡14b的形成。
因此，在本发明所述的玻璃膜层叠体1的制造方法中，设为以下构成：通过超声波施加工序(STEP-1-1)及清洗工序(STEP-1-2)，将存在于周边部10d·12d的异物可靠地除去，使周边部1d中没有异物。进而，本发明所述的玻璃膜层叠体1按照在周边部1d中不存在开口泡14a的方式制作，如图8的(b)中所示的那样，玻璃膜10的端边10c·10c…相对于支撑玻璃12的接触面12a没有间隙地相接。
此外，优选除周边部10d以外的封闭泡14b少。
具体而言，气泡的圆换算时直径为5mm以上的气泡优选为10000个/m2以下，更优选为1000个/m2以下，进一步优选为100个/m2以下，最优选为10个/m2以下。
这是由于在进行元件(电子设备)的制造关联处理等时要求平滑性，所以对于除周边部10d以外的封闭泡14b也优选少。
此外，除周边部10d以外的封闭泡14b的泡个数优选为0.1个/m2以上。
这是由于，若想要使除周边部10d以外的封闭泡14b的个数尽可能少，则清洗等需要时间，所以有可能在玻璃膜层叠体的制作时成本提高。除周边部10d以外的封闭泡14b泡个数优选为0.5个/m2以上，更优选为1个/m2以上，进一步优选为2个/m2以上。
进而，本实施方式所述的玻璃膜层叠体1中的周边部1d的规定的宽度N设定为10mm，本发明所述的玻璃膜层叠体中的规定的宽度N优选设定为10mm以上。
这是由于，在从玻璃膜10的端边10c起低于10mm的位置产生的气泡14变成开口泡14a的可能性特别高，此外，在该范围内产生的封闭泡14b有可能通过来自外部的应力或经时变化等，位置偏移而变化成开口泡14a。
进而，存在于从玻璃膜10的端边10c起10mm以上的内侧的异物难以成为开口泡14a的主要原因。
此外，在超声波施加工序(STEP-1-1)中施加超声波US的范围可以设定为比周边部10d·12d(图7的(a)(b)中所示的规定的宽度L或M的范围)更达内侧的范围，或者，也可以对玻璃膜10及支撑玻璃12的整面(全部范围)施加超声波US。
这是由于，通过连比周边部10d·12d进一步存在于内侧的异物也除去，能够有助于玻璃膜10的合格品率提高。
此外，如图9中所示的那样，在本发明所述的玻璃膜层叠体1的层叠方法中，设定为使用喇叭型超声波发生器30作为对玻璃膜10及支撑玻璃12施加超声波US的单元的构成。
喇叭型超声波发生器30与槽型的超声波发生器相比，从能够局部地施加更强力的超声波US的方面考虑，适合于除去附着在玻璃膜10及支撑玻璃12的表面的异物的用途。特别是使用喇叭型超声波发生器30时，能够将通过通常的擦洗无法除去那样的附着在表面的玻璃粉等除去。
此外，喇叭型超声波发生器30由于作业者能够边选择施加超声波US的场所边进行扫描，所以能够在玻璃膜10及支撑玻璃12中，优先选择异物成为开口泡14a的主要原因的部位(即，规定的宽度L或M的范围)而施加超声波US。
进而，若设定为使用喇叭型超声波发生器30仅对规定的宽度L或M的范围施加超声波US的构成，则能够谋求超声波US的施加作业所需要的时间的缩短，能够高效地防止开口泡14a的产生。
此外，在本发明所述的玻璃膜层叠体1的制造方法中，设定为以下构成：在超声波施加工序(STEP-1-1)中，对玻璃膜10及支撑玻璃12施加超声波US时，在加有液体31的槽32的内部配置玻璃膜10及支撑玻璃12，在浸入液体31中的状态下对玻璃膜10及支撑玻璃12施加超声波US。
本实施方式中，作为浸泡玻璃膜10及支撑玻璃12的液体31，使用纯水。作为浸泡玻璃膜10及支撑玻璃12的液体31，也可以使用除纯水以外的液体，还可以使用例如乙醇等。
此外，在本发明所述的玻璃膜层叠体1的制造方法中，也可以使用超声波清洗槽作为槽32，进一步具有超声波清洗工序。即，也可以在对玻璃膜10及支撑玻璃12以喇叭型超声波发生器30施加超声波US的前后、或施加的过程中，一并以槽(超声波清洗槽)32对玻璃膜10及支撑玻璃12整体施加超声波。
若设定为使用超声波清洗槽对玻璃膜10及支撑玻璃12的整体施加超声波、并且进一步在规定的宽度L或M的范围内以喇叭型超声波发生器30施加超声波的构成，则不仅能够防止周边部1d中的开口泡14a的产生，而且能够将附着在玻璃膜10及支撑玻璃12的全部范围内的异物除去，因此，能够谋求玻璃膜10的合格品率提高。
如图1及图6中所示的那样，在本发明所述的玻璃膜层叠体1的制造方法中，在制作玻璃膜层叠体1后，具有检查在玻璃膜层叠体1的周边部1d中是否没有开口泡14a的作为第2工序的开口泡检查工序(STEP-2)。
在该开口泡检查工序(STEP-2)中，将图10中所示那样的在周边部1d中存在开口泡14a的玻璃膜层叠体1作为不合格品排除。
作为开口泡检查工序(STEP-2)，除了通过目视检查以外，还可以适当使用边缘照明、显微镜、线条相机(LINECamera)等进行光学检查等。
即，本发明所述的玻璃膜层叠体1的制造方法进一步具有开口泡检查工序(STEP-2)，其检查存在于玻璃膜层叠体1的玻璃膜10与支撑玻璃12的界面13中的气泡14、且与玻璃膜10的端边10c相接的开口泡14a的有无。
通过这样的构成，能够将产生了开口泡14a的玻璃膜层叠体1排除，此外，由此能够提高玻璃膜10的成品率。
此外，在本发明所述的玻璃膜层叠体1的制造方法中，也可以设定为以下构成：在开口泡检查工序(STEP-2)中，不仅检查周边部1d中的开口泡14a，也检查周边部1d中的封闭泡14b的有无。
封闭泡14b在检查时不与玻璃膜10的端边10c相接，但因经时变化或外力等的影响，有可能移动至与端边10c相接的位置，具有在检查后变化成开口泡14a的可能性。
因此，在本发明所述的玻璃膜层叠体1的制造方法中，设定为以下构成：在(STEP-2)中，将图11中所示那样的在周边部1d中存在封闭泡14b的玻璃膜层叠体1也作为不合格品排除。
另一方面，在开口泡检查工序(STEP-2)中，对于图12中所示那样的在比周边部1d进一步靠内侧存在气泡14(封闭泡14b)的玻璃膜层叠体1，作为合格品处理。
另外，在开口泡检查工序(STEP-2)中判定为不合格品的玻璃膜层叠体1通过分离成玻璃膜10和支撑玻璃12，并返回至第1工序中，可以分别进行再利用。
在图1中所示的第3工序中，进行电子设备制造关联处理。图13为表示带支撑玻璃的电子设备40的图，在玻璃膜层叠体1的玻璃膜10上形成液晶或有机EL、太阳能电池等元件41。进而，如图1中所示的那样，在元件41的形成时，为了部分地保护元件41，对玻璃膜层叠体1涂布抗蚀液42。该抗蚀液42通过感光·干燥·加热等方法而被固化。
此时假定，玻璃膜层叠体1为如图14中所示的那样在其界面13中存在开口泡14a的玻璃膜层叠体1，则抗蚀液42渗透至该开口泡14a中，通过感光·干燥等方法之后被固化，玻璃膜10与支撑玻璃12粘着。因此，在上述的开口泡检查工序(STEP-2)中，对于这样的具有开口泡14a的玻璃膜层叠体1，作为不合格品排除。
进而，将元件41以盖玻片43密封，同时在液晶面板的情况下实施液晶的注入(未图示)等，形成带支撑玻璃的电子设备40。
另外，在图13中所示的方式中，将盖玻片43与玻璃膜10直接粘接，但也可以适当使用公知的玻璃料或隔板等将盖玻片43与玻璃膜10粘接。
进而，作为元件41的密封中使用的密封基板，与上述的玻璃膜10同样地使用由硅酸盐玻璃、二氧化硅玻璃、硼硅酸玻璃、无碱玻璃等构成的盖玻片43。
对于盖玻片43，优选使用与玻璃膜10的30～380℃下的热膨胀系数的差为5×10-7/℃以内的玻璃。
由此，即使所制作的电子设备50的周边环境的温度发生变化，也难以产生由膨胀率的差引起的热翘曲或玻璃膜10及盖玻片43的裂缝等，能够制成难以破损的电子设备50。
进而，从抑制膨胀率的差的观点出发，盖玻片43与玻璃膜10最优选使用具有相同的组成的玻璃。
盖玻片43的厚度优选为300μm以下，更优选为5～200μm，最优选为5～100μm。由此，使盖玻片43的厚度更薄，能够赋予适当的挠性。若盖玻片43的厚度低于5μm，则有可能盖玻片43的强度容易变得不足。
接着，带支撑玻璃的电子设备40在第4工序中，玻璃膜10从支撑玻璃12剥离，制作了形成有元件41的形态的玻璃膜10即电子设备50。
本发明所述的第4工序为如图1中所示的那样，将带支撑玻璃的电子设备40分离成电子设备50(玻璃膜10)和支撑玻璃12的工序。
从支撑玻璃12将电子设备50剥离时，通过在玻璃膜10与支撑玻璃12的界面13中插入楔体(未图示)，同时将玻璃膜10的端部沿从支撑玻璃12离开的方向拉伸，能够将电子设备50(玻璃膜10)剥离。
假定，在玻璃膜10与支撑玻璃12粘着的图14中所示那样的玻璃膜层叠体1中，从支撑玻璃12将玻璃膜10剥离时应力集中于由抗蚀液42产生的粘着部中，以该粘着部作为起点，玻璃膜10破损的可能性变高。
另一方面，像本发明所述的玻璃膜层叠体1(参照图8及图12)那样，在防止周边部1d中的开口泡14a的生成的方式中，由于抗蚀液42不会渗透至界面13中，所以不会起因于固化的抗蚀液42而导致玻璃膜10与支撑玻璃12粘着，进而，在剥离时玻璃膜10也不会破损。
此外，如图1中所示的那样，第4工序中剥离的支撑玻璃12(支撑体11)返回至第1工序中，可以再次再利用于制作玻璃膜层叠体1。
进而，像本发明所述的玻璃膜层叠体1的制造方法那样，通过设定为抑制玻璃膜10的破损的构成，能够使支撑玻璃12的再利用率也提高，还能够有助于削减玻璃膜层叠体1的成本。
如以上说明的那样，本发明所述的玻璃膜层叠体1的制造方法是将玻璃膜10与支撑玻璃12层叠而制作的玻璃膜层叠体1的制造方法，其具有以下工序：对玻璃膜10和支撑玻璃12的至少周边部10d·12d施加超声波US的超声波施加工序(STEP-1-1)；将经过超声波施加工序(STEP-1-1)的玻璃膜10和支撑玻璃12进行清洗的清洗工序(STEP-1-2)；和将经过清洗工序(STEP-1-2)的玻璃膜10与支撑玻璃12层叠来制作玻璃膜层叠体1的层叠工序(STEP-1-3)。
通过这样的构成，能够防止在玻璃膜层叠体1的周边部1d中产生开口泡14a。
由此，能够防止在抗蚀工序(第3工序)时抗蚀液42渗透至玻璃膜10与支撑玻璃12的界面13中，进而，能够防止玻璃膜10与支撑玻璃12的粘着，防止在剥离时玻璃膜10发生破损。
接着，对确认了本发明所述的玻璃膜层叠体1的制造方法的效果的实验结果进行说明。
本实验中，使用日本电气硝子株式会社制的薄板玻璃(制品名：OA-10G)，使用350mm×450mm×0.2mm的薄板玻璃作为玻璃膜，使用360mm×460mm×0.5mm的薄板玻璃作为支撑玻璃。
进而，使用上述规格的玻璃膜及支撑玻璃，分别制作100片的实施例1～实施例3所述的玻璃膜层叠体1与比较例1所述的玻璃膜层叠体1以任意的比例混合存在的合计4种玻璃膜层叠体。
此外，各接触面10a·12a的清洗通过边对玻璃膜10及支撑玻璃12浇添加了碱性洗剂的清洗液，边以氨基甲酸酯制海绵擦洗来进行。
实施例1所述的玻璃膜层叠体1在仅对玻璃膜10及支撑玻璃12的各周边部10d·12d以喇叭型超声波发生器(前端面积20×80mm)施加30秒钟超声波(频率为25kHz)后，将各接触面10a·12a进行清洗，之后直接层叠来制作。
进而，对于实施例1所述的玻璃膜层叠体1，仅通过界面13内的气泡14的个数来进行好坏判定。
另外，在基于界面13内的气泡14的个数的检查中，在气泡14的个数为100个/m2以下的情况下判定为合格品(以下相同)。
此外，实施例2所述的玻璃膜层叠体1在对玻璃膜10及支撑玻璃12的各接触面10a·12a(整面)以喇叭型超声波发生器(同上)施加30秒钟超声波(频率为25kHz)后，将各接触面10a·12a进行清洗，之后直接层叠来制作。
进而，对于实施例2所述的玻璃膜层叠体1，仅通过界面13内的气泡14的个数来进行好坏判定。
进而，实施例3所述的玻璃膜层叠体1在对玻璃膜10及支撑玻璃12的各接触面10a·12a(整面)以喇叭型超声波发生器(同上)施加30秒钟超声波(频率为25kHz)后，将各接触面10a·12a进行清洗，之后直接层叠来制作。
进而，对于实施例3所述的玻璃膜层叠体1，首先，对界面13内的气泡14的个数进行计数，进行好坏判定，同时通过检查周边部1d(L＝10mm)中的开口泡14a及封闭泡14b的有无，进一步进行好坏的判定。
另一方面，比较例1所述的玻璃膜层叠体1不进行超声波的施加，仅进行各接触面10a·12a的清洗，之后直接层叠来制作。
进而，对于比较例1所述的玻璃膜层叠体1，仅通过界面13内的气泡14的个数，进行好坏判定。
这样操作，对实施例1～实施例3及比较例1所述的各玻璃膜层叠体进行好坏判定的情况下，将汇总作为最终制品的面板合格品率的差异如何的结果示于图15中。
在实施例1所述的玻璃膜层叠体1的情况下，仅以界面13中的气泡14的有无来判定的结果是，在最终面板中产生1个不合格品，最终面板合格品率达到99％。
此外，在实施例2所述的玻璃膜层叠体1的情况下，仅以界面13中的气泡14的有无来判定的结果是，在最终面板中产生2个不合格品，最终面板合格品率达到98％。
进而，在实施例3所述的玻璃膜层叠体1的情况下，以界面13中的气泡14的有无和周边部1d中的开口泡14a及封闭泡14b的有无来判定的结果是，在最终面板中没有产生不合格品，最终面板合格品率达到100％。
另一方面，在比较例1所述的玻璃膜层叠体1的情况下，仅以界面13中的气泡14来判定的结果是，在最终面板中产生10个不合格品，最终面板合格品率达到89％。
进而，根据图15中所示的实验结果，可以确认像实施例1～实施例3所述的各玻璃膜层叠体1·1·1那样，通过对玻璃膜10及支撑玻璃12施加超声波US，并且之后进行清洗后制作玻璃膜层叠体1，与没有施加超声波US的情况(即，比较例1的情况)相比，能够得到更多的最终面板合格品片数。
此外，根据该实验结果，可以确认像实施例3所述的玻璃膜层叠体1那样，通过确认在玻璃膜层叠体1的周边部1d中没有开口泡14a及封闭泡14b，能够进一步提高最终制品中的成品率。
符号说明
1玻璃膜层叠体
1d周边部
10玻璃膜
10c端边
10d周边部
12支撑玻璃
12d周边部
14气泡
14a开口泡
14b封闭泡
30喇叭型超声波发生器
31液体
32槽(超声波清洗槽)。