一种用丙基三乙氧基硅烷制备折射率可控的SiO2增透膜的方法与流程

文档序号:11095559阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用丙基三乙氧基硅烷制备折射率可控的SiO2增透膜的方法,其特征在于,用丙基三乙氧基硅烷与正硅酸乙酯来制备SiO2增透膜。

2.根据权利要求1所述的用丙基三乙氧基硅烷制备折射率可控的SiO2增透膜的方法,其特征在于,具体步骤如下:

(1)溶胶的制备:将正硅酸乙酯、丙基三乙氧基硅烷、无水乙醇、氨水按质量比为11.0-15.6:1-8:130-200:3.6-6.6混合加入到密闭的玻璃容器中,在25-50 ℃磁力搅拌0.5-12 h,20-40 ℃恒温陈化3-30天;

(2)采用浸渍-提拉法在基片上镀膜,所得的膜层即为一定折射率的SiO2增透膜。

3.根据权利要求2所述的用丙基三乙氧基硅烷制备折射率可控的SiO2增透膜的方法,其特征在于,正硅酸乙酯:丙基三乙氧基硅烷:无水乙醇:氨水质量比为14.2:1.88:130:3.6。

4.根据权利要求2所述的用丙基三乙氧基硅烷制备折射率可控的SiO2增透膜的方法,其特征在于,搅拌的温度为25℃,时间为2 h。

5.根据权利要求2所述的用丙基三乙氧基硅烷制备折射率可控的SiO2增透膜的方法,其特征在于,混合溶胶的恒温陈化时间为5天,恒温温度为20℃。

6.根据权利要求2所述的用丙基三乙氧基硅烷制备折射率可控的SiO2增透膜的方法,其特征在于,步骤(2)中镀膜的速度为50-200 mm/min。

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