技术特征：
1.一种氮化硅粉末的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：第一步、将经过0.1μm粒径的硅粉加入投料罐(201)中，转动调节螺杆(501)使活动架(30)在机架(10)的一侧向下滑动，直至二氧化碳激光器(40)的输出端进入通孔(60)的内部；第二步、直线电机(303)带动导料管一(304)滑移至投料罐(201)的正下方，伺服电缸三(308)带动导料管一(304)的顶端插入投料罐(201)内部，挡料板(207)在圆弧槽(206)的内部进行转动，使投料罐(201)内部的上下方连通，投料罐(201)内部上方的硅粉落入分料板(205)的下方，挡料板(207)复位，打开投料罐(201)内部电磁阀开关，分料板(205)下方的硅粉落入导料管一(304)的内部，接着硅粉落入导料管二(305)的内部；第三步、直线电机(303)带动送料架(301)滑移至反应盘(101)的上方，伺服电缸二(306)推动导料管二(305)下降至反应槽的内部，打开导料管二(305)内部电磁阀开关，将导料管二(305)内部的原料送至反应槽的内部；第四步、向反应箱(20)的内部通入氮气，使反应箱(20)的内部充满氮气，接着二氧化碳激光器(40)发射二氧化碳激光对反应槽内部的硅粉进行照射，硅粉的温度升至1300℃，硅粉和氮气产生光化学反应，得到氮化硅粉末；第五步、在得到氮化硅粉末后，反应盘(101)在滑杆(107)的推动下向右侧滑移，直至反应盘(101)的一侧进入集料管(605)的内部，接着滑杆(107)的一端进入安装槽(103)的内部，此时连接杆(108)的一端推动推料板(102)将反应槽中的氮化硅粉末推入集料管(605)的内部，完成对氮化硅粉末的收集。2.根据权利要求1所述的一种氮化硅粉末的制备方法，其特征在于：第四步中，二氧化碳激光器(40)发射二氧化碳激光的波长为10.6μm。3.一种氮化硅粉末的制备设备，其特征在于：所述包括机架(10)以及位于机架(10)顶部设置的反应箱(20)，所述机架(10)的一侧滑动设置有活动架(30)，且活动架(30)的一侧设置有二氧化碳激光器(40)，所述反应箱(20)的右侧连通有导气管(50)，所述反应箱(20)的内部设置有固定架(80)，且固定架(80)的内部设置有反应机构；所述反应机构包括反应盘(101)，所述反应盘(101)的顶部开设有反应槽，且反应槽的一侧滑动设置有推料板(102)，所述反应盘(101)的内部开设有安装槽(103)，且安装槽(103)的内部设置有弹簧一(104)，所述固定架(80)的左侧设置有伺服电缸一(105)，且伺服电缸一(105)驱动轴的一端设置有固定板(106)，所述固定板(106)右侧的下方设置有滑杆(107)，且滑杆(107)的一端与弹簧一(104)的一端固定连接，所述固定板(106)右侧的上方设置有连接杆(108)，且连接杆(108)的一端与推料板(102)的一侧固定连接。4.根据权利要求3所述的一种氮化硅粉末的制备设备，其特征在于：所述反应箱(20)内部的左侧设置有投料机构，所述投料机构包括投料罐(201)，且投料罐(201)内部的上方设置有密封块(202)，所述密封块(202)的内部设置有伺服电机(203)，且伺服电机(203)输出轴的一端通过联轴器固定连接有转动杆(204)，所述投料罐(201)内部的下方设置有分料板(205)，且转动杆(204)的底端与分料板(205)的顶部转动连接，所述分料板(205)的内部开设有两个圆弧槽(206)，且两个圆弧槽(206)的内部均设置有挡料板(207)。5.根据权利要求4所述的一种氮化硅粉末的制备设备，其特征在于：所述固定架(80)的内部设置有送料机构，所述送料机构包括送料架(301)，所述固定架(80)的内部开设有送料
槽(302)，且送料槽(302)内壁的两侧均滑动设置有直线电机(303)，所述送料架(301)的内部活动设置有导料管一(304)，且导料管一(304)的底端滑动设置有导料管二(305)，所述送料架(301)内部的两侧均设置有伺服电缸二(306)，且伺服电缸二(306)驱动轴的一端通过连接架一(307)与导料管二(305)的表面固定连接，所述送料架(301)内部的两侧均设置有伺服电缸三(308)，且伺服电缸三(308)驱动轴的一端通过连接架二(309)与导料管一(304)的表面固定连接。6.根据权利要求3所述的一种氮化硅粉末的制备设备，其特征在于：所述反应箱(20)的顶部设置有防护机构，所述防护机构包括防护板(401)，所述反应箱(20)的内部开设有与防护板(401)相配合的连接槽(402)，所述反应箱(20)的顶部设置有电推杆(403)，且电推杆(403)驱动轴的一端与防护板(401)的一侧固定连接。7.根据权利要求3所述的一种氮化硅粉末的制备设备，其特征在于：所述机架(10)的内部设置有调节机构，所述调节机构包括调节螺杆(501)，所述机架(10)的内部滑动设置有调节块(502)，且调节块(502)的一侧与活动架(30)的一侧固定连接，所述调节螺杆(501)的表面与调节块(502)的内部螺纹连接。8.根据权利要求3所述的一种氮化硅粉末的制备设备，其特征在于：所述反应箱(20)的内部设置有收料机构，所述收料机构包括活动箱(601)，且活动箱(601)的内部设置有收料箱(602)，所述活动箱(601)的一侧设置有弧形块(603)，且弧形块(603)与活动箱(601)的一侧之间设置有弹簧二(604)，所述弧形块(603)的内部设置有集料管(605)，且集料管(605)的一端与活动箱(601)的内部滑动连接，所述固定架(80)的内部开设有收料孔(606)。9.根据权利要求5所述的一种氮化硅粉末的制备设备，其特征在于：所述投料罐(201)的底端与导料管一(304)的顶端相配合，且投料罐(201)内部的下方与导料管二(305)内部的下方均设置有电磁阀。10.根据权利要求3所述的一种氮化硅粉末的制备设备，其特征在于：所述反应箱(20)内部的上方开设有通孔(60)，且通孔(60)内部的下方设置有透明板(70)。
技术总结
本发明公开了一种氮化硅粉末的制备方法及其设备，包括对硅粉原料的输送，在反应箱的内部通入氮气，利用二氧化碳激光器对硅粉原料进行照射处理，硅粉和氮气产生光化学反应，得到氮化硅粉末，涉及化学合成技术领域，本发明是通过采用二氧化碳激光器发射二氧化碳激光，对硅粉进行照射，由于硅材料在10.7μm处有一个很强的红外吸收谱，通过二氧化碳激光10.6μm波长符合硅的吸收峰，利用硅材料10.7μm的吸收峰吸收二氧化碳激光的能量，在含有充分氮气的反应箱中产生光化学反应，得到氮化硅粉末，相较于现有技术，在大幅度提高氮化硅粉末制备效率的同时，降低了氮化硅粉末的制备成本，进而有效提高氮化硅粉末的制备生产效率。而有效提高氮化硅粉末的制备生产效率。而有效提高氮化硅粉末的制备生产效率。
技术研发人员：刘宗才 许建文 裴晨艺 许轶雯
受保护的技术使用者：上瓷宗材（上海）精密陶瓷有限公司
技术研发日：2021.08.10
技术公布日：2021/9/17