用于纯化硅熔体的耐火坩埚的表面的衬里以及使用所述坩埚纯化硅熔体的方法_6

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的至少一部分包含以下中的至少一种:至少一部分的所述第一母液和至少一部分的所述第二母液。
[0124]实施方案20包括实施方案18或19的方法,其中所述第二溶剂金属的至少一部分包含以下中的至少一种:至少一部分的所述第一母液和至少一部分的所述第二母液。
[0125]实施方案21包括实施方案18至20中任一项的方法,还包括使所述第二硅晶体与第三溶剂金属充分接触以提供第三混合物;用包含胶体氧化铝的第三衬里涂覆第三熔化坩祸的第三耐火材料的第三内表面的至少一部分;在第三熔化坩祸的内部中熔化第三混合物以提供第三熔融硅混合物;充分冷却第三熔融硅混合物以形成第三硅晶体和第三母液;和分离第三硅晶体和第三母液。
[0126]实施方案22包括实施方案21的方法,其中所述第一溶剂金属的至少一部分包含至少一部分的所述第三母液。
[0127]实施方案23包括实施方案21或22的方法,其中所述第二溶剂金属的至少一部分包含至少一部分的所述第三母液。
[0128]实施方案24包括实施方案21至23中任一项的方法,其中所述第三溶剂金属的至少一部分包含以下中的至少一种:至少一部分的所述第一母液、至少一部分的所述第二母液和至少一部分的所述第三母液。
[0129]以上的详细描述包括对附图的参照,所述附图构成详细描述的一部分。举例来说,附图示出其中可以实施本发明的具体实例。这些实例在本文中也被称为“实施例”。这类实例可以包括除了所示或所述的要素之外的要素。然而,本发明人还预期其中仅提供所示或所述的要素的实例。此外,关于本文所示的或所述的具体的实例(或其一个或多个方面)或关于本文所示的或所述的其他实例(或其一个或多个方面),本发明人还预期使用所示的或所述的那些要素(或其一个或多个方面)的任何组合或置换的实例。
[0130]如果本文与通过引用并入的任何文献之间的使用不一致,则以本文中的使用为准。
[0131]在本文中,如在专利文献中常用的,使用名词的单数形式来包括一个或多于一个,与“至少一个”或“一个或多个”的任何其他实例或使用无关。在本文中,术语“或”用于指非排他性的或,使得“A或B”包括“A但不是B”、“B但不是A”和“A和B”,除非另外指明。在本文中,术语“包括/包含(including)”和“其中(in which) ”用作相应的术语“包括/包含(comprising) ”和“其中(wherein) ”的简明英语等同物。另外,在以下权利要求中,术语“包括”和“包含”是开放式的,即包括除了在权利要求中该术语后列举的那些要素之外的要素的系统、装置、制品、组合物、制剂或方法仍被视为落入该权利要求的范围内。此外,在以下权利要求中,术语“第一”、“第二”和“第三”等仅用作标记,不旨在对其对象施加数字要求。
[0132]本文所述的方法实例可以是至少部分为机器实施或计算机实施的。一些实例可以包括以指令编码的计算机可读介质或机器可读介质,所述指令可操作以配置电子装置来执行如以上实例中所述的方法。这类方法的实施方式可以包括代码,如微代码、汇编语言代码、高级语言代码等。这种代码可以包括用于执行各种方法的计算机可读的指令。代码可以形成计算机程序产品的部分。另外,在一个实例中,代码可以有形地储存在一个或多个易失的、非暂时的,或非易失的有形计算机可读介质上,例如在执行期间或在其他时间。这些有形计算机可读介质的实例包括但不限于硬盘、可移动磁盘、可移动光盘(例如高密度光盘和数字视频光盘)、磁带盒、记忆卡或棒、随机存取存储器(RAM)、只读存储器(ROM)等。
[0133]以上描述旨在示例性的,而非限制性的。例如,上述实例(或其一个或多个方面)可以彼此组合地使用。可以使用其他实例,例如本领域普通技术人员在阅读以上描述后得到的。提供摘要以符合37 C.F.R.§ 1.72(b),使得读者能够快速获得技术公开的本质。该摘要是在理解其不会用于解释或限制权利要求的范围或含义的条件下提交的。另外,在上述详述中,各种特征可以组合到一起以使本公开一体化。这不应解释为意指未要求保护的公开特征对于任何权利要求都是必要的。相反,创造性主题可以在于少于具体公开的实例的全部特征。因此,以下权利要求在此并入到详述中作为实例或实施方案,每项权利要求独立地作为单独的实例,预期这种实例可以以各种组合或置换来彼此结合。本发明的范围应参照所附权利要求以及所述权利要求享有权利的等同方案的完整范围来确定。
【主权项】
1.用于容纳熔融硅混合物的坩祸,所述坩祸包含: 至少一种耐火材料,所述耐火材料具有至少一个内表面,所述内表面限定用于接收熔融硅混合物的内部; 沉积到所述内表面上的衬里,所述衬里包含胶体氧化铝。
2.如权利要求1所述的坩祸,其中所述衬里防止或减少所述至少一种耐火材料对所述主体的内部内容纳的熔融硅混合物的污染。
3.如权利要求2所述的坩祸,其中所述衬里防止硼和磷中的至少一种对所述熔融硅的污染。
4.如权利要求1所述的坩祸,其中所述胶体氧化铝包含悬浮在水中的氧化铝颗粒,所述氧化铝颗粒具有20纳米至50纳米的尺寸。
5.如权利要求1所述的坩祸,其中所述衬里具有2毫米至10毫米的厚度。
6.如权利要求1所述的坩祸,其中所述至少一种耐火材料包含氧化铝。
7.如权利要求1所述的坩祸,其中所述衬里还包含通过所述胶体氧化铝结合的碳化硅颗粒。
8.如权利要求7所述的坩祸,其中所述碳化硅颗粒具有小于约3.5毫米的尺寸。
9.如权利要求1所述的坩祸,其中所述坩祸配置为用于熔化硅和铝的混合物以形成所述熔融硅混合物。
10.用于纯化硅的方法,所述方法包括: 使第一硅与包含铝的溶剂金属充分接触以提供第一混合物; 在熔化坩祸的内部中熔化所述第一混合物以提供熔融硅混合物,所述熔化坩祸包含至少一种耐火材料,所述耐火材料具有限定所述熔化坩祸的内部的内表面; 在熔化所述第一混合物之前,用包含胶体氧化铝的衬里涂覆所述熔化坩祸的所述内表面的至少一部分; 充分冷却所述熔融硅混合物以形成重结晶的硅晶体和母液;和 分离最终的所述重结晶的硅晶体和所述母液。
11.如权利要求10所述的方法,其中所述衬里防止或减少所述至少一种耐火材料对所述熔融硅混合物的污染。
12.如权利要求11所述的方法,其中所述衬里防止硼和磷中的至少一种对所述熔融硅混合物的污染。
13.如权利要求12所述的方法,其中所述胶体氧化铝包含悬浮在水中的氧化铝颗粒,所述氧化铝颗粒具有20纳米至50纳米的尺寸。
14.如权利要求10所述的方法,其中所述衬里具有2毫米至10毫米的厚度。
15.如权利要求10所述的方法,其中所述衬里还包含通过所述胶体氧化铝结合的碳化娃颗粒。
16.如权利要求15所述的方法,其中所述碳化硅颗粒具有小于约3.5毫米的尺寸。
17.如权利要求10所述的方法,其中所述至少一种耐火材料包含氧化铝。
18.用于纯化硅的方法,所述方法包括: 使第一硅与第一溶剂金属充分接触以提供第一混合物; 用包含胶体氧化铝的第一衬里涂覆第一熔化坩祸的第一耐火材料的第一内表面的至少一部分; 在所述第一熔化坩祸的内部中熔化所述第一混合物以提供第一熔融硅混合物; 充分冷却所述第一恪融娃混合物以形成第一娃晶体和第一母液; 分离所述第一硅晶体和所述第一母液; 使所述第一硅晶体与第二溶剂金属充分接触以提供第二混合物; 用包含胶体氧化铝的第二衬里涂覆第二熔化坩祸的第二耐火材料的第二内表面的至少一部分; 在所述第二熔化坩祸的内部中熔化所述第二混合物以提供第二熔融硅混合物; 充分冷却所述第二熔融硅混合物以形成第二硅晶体和第二母液;和 分离所述第二硅晶体和所述第二母液。
19.如权利要求18所述的方法,其中所述第一溶剂金属的至少一部分包含以下中的至少一种:至少一部分的所述第一母液和至少一部分的所述第二母液。
20.如权利要求18所述的方法,其中所述第二溶剂金属的至少一部分包含以下中的至少一种:至少一部分的所述第一母液和至少一部分的所述第二母液。
21.如权利要求18所述的方法,其还包括: 使所述第二硅晶体与第三溶剂金属充分接触以提供第三混合物; 用包含胶体氧化铝的第三衬里涂覆第三熔化坩祸的第三耐火材料的第三内表面的至少一部分; 在所述第三熔化坩祸的内部中熔化所述第三混合物以提供第三熔融硅混合物; 充分冷却所述第三熔融硅混合物以形成第三硅晶体和第三母液;和 分离所述第三硅晶体和所述第三母液。
22.如权利要求21所述的方法,其中所述第一溶剂金属的至少一部分包含至少一部分的所述第三母液。
23.如权利要求21所述的方法,其中所述第二溶剂金属的至少一部分包含至少一部分的所述第三母液。
24.如权利要求21所述的方法,其中所述第三溶剂金属的至少一部分包含以下中的至少一种:至少一部分的所述第一母液、至少一部分的所述第二母液和至少一部分的所述第三母液。
【专利摘要】用于容纳熔融硅的坩埚包含至少一种耐火材料,所述耐火材料具有至少一个内表面,所述内表面限定用于接收熔融硅混合物的内部,以及沉积到内表面上的衬里,所述衬里包含胶体氧化铝。用于纯化硅的方法包括:使第一硅与包含铝的溶剂金属充分接触以提供第一混合物;在熔化坩埚的内部中熔化第一混合物以提供熔融硅混合物,熔化坩埚包含至少一种耐火材料,所述耐火材料具有限定熔化坩埚的内部的内表面;在熔化第一混合物之前用包含胶体氧化铝的衬里涂覆熔化坩埚的内表面的至少一部分;充分冷却熔融硅混合物以形成重结晶的硅晶体和母液;和分离最终的重结晶的硅晶体和母液。
【IPC分类】C01B33-037, C30B35-00, C30B11-00, C30B9-06
【公开号】CN104583465
【申请号】CN201380044143
【发明人】阿兰·杜尔纳, 克里斯坦·阿尔弗莱德
【申请人】希利柯尔材料股份有限公司
【公开日】2015年4月29日
【申请日】2013年6月24日
【公告号】EP2864528A1, US20150158731, WO2014004373A1
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