至所述反应室(8)并且沿所述流方向(11)传送，在各个反应流的所述相互作用区(14)之前在所述限制气流(2)中将所述第二化学元素引导至所述室(8)。2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在从沿围绕各个反应流(1、100、101、102、103、104、105、106)的闭合曲线分布的若干点(17)喷出的且围绕各个反应流(1、100、101、102、103、104、105、106)的外围气流(7)中所述第二化学元素被引导至所述室⑶并在各个反应流的方向上传送，在各个反应流的所述相互作用区(14)之后在外围气流(7)中将所述第二化学元素引导至所述室(8)。3.如权利要求1或2所述的方法，其特征在于，其包括以下步骤:在各个反应流的所述相互作用区(14)之前围绕各个反应流(1、100、101、102、103、104、105、106)的限制气流(2)被引导至所述反应室(8)并且沿所述流方向(11)传送，在各个反应流的所述相互作用区(14)之前在所述限制气流(2)中将所述第二化学元素引导至所述室(8)。4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，至少一个反应流的引导包括由所述限制气流(2)彼此分开的若干反应流(101、102、103 ;104、105、106)的至少一个排列的引导，并且各个反应流包含所述第一化学元素且各个反应流沿所述流方向(11)传送。5.如权利要求4所述的方法，其特征在于，所述辐射束(3)沿垂直于所述流方向(11)的辐射方向(12)传送，并且各个反应流排列(101、102、103 ; 104、105、106)的流沿与所述流方向(11)和所述辐射方向(12)垂直的排列方向(18)排列。6.如权利要求1至5中任一项所述的方法，其特征在于，所述辐射束(3)沿垂直于所述流方向(11)的辐射方向(12)传送，并且各个反应流(1、100、101、102、103、104、105、106)在垂直于所述流方向(11)的平面中具有沿与所述流方向(11)和所述辐射方向(12)垂直的延长方向(13)纵向延伸的横截面。7.如前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，在各个反应流的所述相互作用区(14)之前，将所述第二化学元素与在各个反应流(1、100、101、102、103、104、105、106)中的所述第一化学元素引导至所述室(8)。8.如前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，将所述第一化学元素以SiH4的形式引导至所述室(8)。9.如前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，所述颗粒(10)的核(15)为硅。10.如前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，所述第二元素为碳。11.通过前述权利要求中任一项所述的方法获得的颗粒。12.颗粒，各个颗粒包含: 核(15)，其包含非氧化的硅作为第一化学元素并且具有3nm至900nm的直径，和 围绕所述核的层(16)，所述层仅由碳的第二化学元素组成并且具有至少0.5nm的层厚度。13.生产颗粒(10)的装置(9)，其包含: 包含试剂的试剂源，该试剂包含娃作为第一化学元素； 反应室(8)，其与所述试剂源连接； 试剂注射器，布置其以便将至少一个包含所述试剂且来源于所述试剂源的反应流(1、100、101、102、103、104、105、106)引导至所述室(8)并且将所述反应流(1、100、101、102、103、104、105、106)在每个反应流的一个反应流区域￠)中沿流方向(11)传送， 辐射束的发射器，布置其以便将所述辐射束(3)投射通过所述反应室(8)并且在每个反应流的一个相互作用区(14)中与反应流(1、100、101、102、103、104、105、106)的各个区域⑶交叉， 第二化学元素源，和 第二元素的注射器，布置其以将来自所述第二元素源的第二化学元素引导至所述反应室⑶，以便该第二化学元素能够在所述室⑶中与各个反应流(1、100、101、102、103、104、105、106)相互作用， 所述试剂(1、101、102、103)缺少氧化所述第一化学元素的试剂，将所述第二元素的注射器和所述第一元素的注射器布置在一起以便按照一个原子的所述第二元素与至少两个原子的所述第一元素的比例来相对于所述第一元素的原子数量引导所述第二元素的原子数量，布置第二化学元素的注射器以在围绕各个反应流(1、100、101、102、103、104、105、106)的气流(2或7)中将所述第二化学元素引导至所述室(8)，特征在于: 布置所述第二化学元素的注射器以在从沿围绕各个反应流的闭合曲线分布的若干点(17)喷出的且围绕各个反应流(1、100、101、102、103、104、105、106)的外围气流(7)中将所述第二化学元素引导至所述室(8)，并且布置以在各个反应流的方向上引导所述外围气流，布置所述第二化学元素的注射器以在各个反应流的所述相互作用区(14)之后在所述外围气流(7)中将所述第二化学元素引导至所述室(8)，和/或 所述装置进一步包括限制气体注射器，布置其以在各个反应流的所述相互作用区(14)之前围绕各个反应流(1、100、101、102、103、104、105、106)的限制气流(2)被引导至所述反应室(8)并且沿所述流方向(11)传送，并且所述第二化学元素的注射器包括所述限制气体注射器。14.如权利要求13所述的装置，其特征在于，布置所述第二化学元素的注射器以在从沿所述围绕各个反应流的闭合曲线分布的若干点(17)喷出的且围绕各个反应流(1、100、101、102、103、104、105、106)的外围气流(7)中将所述第二化学元素引导至所述室(8)，并且布置以在各个反应流的方向上引导所述外围气流，布置所述第二化学元素的注射器以在各个反应流的所述相互作用区(14)之后在所述外围气流(7)中将所述第二化学元素引导至所述室⑶。15.如权利要求13或14所述的装置，其特征在于，其包括所述限制气体注射器，布置其以在各个反应流的所述相互作用区(14)之前围绕各个反应流(1、100、101、102、103、104、105,106)的限制气流(2)被引导至所述反应室(8)并且沿所述流方向(11)传送，并且所述第二化学元素的注射器包括所述限制气体注射器。16.如权利要求15所述的装置，其特征在于，布置至少一个反应流的注射器以将至少一个由所述限制气流⑵彼此分开的若干反应流(101、102、103 ;104、105、106)的至少一个排列引导至所述室，并且各个反应流包含所述第一化学元素且各个反应流沿所述流方向(11)传送。17.如权利要求16所述的装置，其特征在于，布置所述发射器以便所述辐射束(3)沿垂直于所述流方向(11)的辐射方向(12)传送，并且布置至少一个反应流的注射器以便各个反应流排列(101、102、103 ;104、105、106)的流沿与所述流方向(11)和所述辐射方向(12)垂直的排列方向(18)排列。18.如权利要求13至17中任一项所述的装置，其特征在于，布置所述发射器以便所述辐射束(3)沿垂直于所述流方向(11)的辐射方向(12)传送，并且布置至少一个反应流的注射器以便各个反应流(1、100、101、102、103、104、105、106)在垂直于所述流方向(11)的平面中具有沿与所述流方向(11)和所述辐射方向(12)垂直的延长方向(13)纵向延伸的横截面。19.如权利要求13至18中任一项所述的装置，其特征在于，布置所述第二化学元素的注射器以便在各个反应流的所述相互作用区(14)之前将所述第二元素与在各个反应流(1、100、101、102、103、104、105、106)中的所述第一化学元素引导至所述室(8)。
【专利摘要】本发明涉及生产颗粒(10)的方法，其包括下列步骤：将至少一个包含第一化学元素(通常为硅)并且沿流方向(11)传送的反应流(1)引导至反应室；将辐射束(3)投射通过所述反应室(8)，所述辐射束(3)在每个反应流的一个相互作用区(14)中与各个反应流(1)交叉，以便在各个反应流中形成包含所述第一化学元素的颗粒核；以及将与各个反应流(1)相互作用的第二化学元素(例如碳)引导至所述反应室以便使用包含所述第二化学元素的层覆盖所述颗粒核。各个反应流(1)优选缺少任何氧化所述第一化学元素的试剂。优选地，对于每单位时间引导的至少两个原子的第一元素，每单位时间引导一个原子的第二元素的比例。优选地，在至少一个限制流(2)中引导所述第二化学元素。
【IPC分类】C01B33/029
【公开号】CN105209386
【申请号】CN201380046104
【发明人】弗朗科伊斯·特尼盖尔
【申请人】纳米产品公司
【公开日】2015年12月30日
【申请日】2013年7月5日
【公告号】CA2878779A1, EP2872444A2, US20150151976, WO2014009265A2, WO2014009265A3