硬掩模的制作方法

技术总结
提供了适用于旋涂金属硬掩模的包含某些有机金属低聚物的组合物，其中该组合物可以被改变组成以提供具有一系列刻蚀选择性的金属氧化物硬掩模。还提供了使用本发明的组合物沉积金属氧化物硬掩模的方法。

技术研发人员：D·王;孙纪斌;庄芃薇;P·特雷弗纳三世;刘骢;
受保护的技术使用者：罗门哈斯电子材料有限公司;
文档号码：201610120335
技术研发日：2013.09.23
技术公布日：2016.07.06