作为高性能有机薄膜晶体管的电介质表面的膦酸自组装单分子膜的制作方法_2

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Ox的表面上形成高度有序的单层。CDPA、CBPA以及0ΡΑ的SAM是通过使用掠角衰减全反射 傅里叶变换红外(GATR-FTIR)光谱法和近边X射线吸收精细结构(NEXAFS)光谱法来探测,如 图5中所示。CDPA和0ΡΑ的SAM的GATR-FTIR光谱在2850cm- 1和2919cm-1处呈现两个峰,所述峰 分别是归因于CH2基团的对称(vs)和不对称(vas)伸展模式,其可用作SAM内的良序烷基链 的参考物。
[0028] CBPA的SAM的C-H伸展分别针对vs和vas移位至较大波数2854和2925CHT 1。这种移位 类似于在具有较短直链烷基链的膦酸SAM的IR光谱中所观察到的移位,并且是无序SAM的指 示物。NEXAFS光谱法定性地用来自同步加速器来源的高强度、单色并且线性偏振的X射线分 析SAM中的结构次序以测量在原子的吸收边缘附近的电子跃迀。在碳K边缘附近的电子跃迀 的分析通常是用于表征SAM中的长链烷基的有序态。在改变的入射角(Θ)下收集的CDPA、 CBPA以及0ΡΑ的SAM的X射线吸收光谱允许探测所述SAM的次序。在90°和25° X射线入射角下 的NEXAFS光谱在与CDPA和0ΡΑ的SAM的σ*〇Η(约287.5eV)有关的峰处呈现角度依赖性(即, 差光谱强度)。相比之下,CBPA的SAM使用相同分析不呈现角度依赖性。另外,与GATR-FTIR的 结果一致,0ΡΑ和⑶PA的SAM形成良序单层,而CBPA形成无序单层,这是因为已知跃迀至C-C 和C-H反键轨道(σ*)是依赖于线性偏振的光和与SAM中的烷基链的定向有关的反键轨道的 对准。
[0029]根据本发明的一个实施方案的CDPA的有序单层是结晶的,当使薄膜暴露于在极浅 入射角(约〇. 12°)下的高强度同步加速器X射线时,使用掠入射X射线衍射(GIXD)由CDPA的 SAM显而易见这一点,其中就对于所述极薄膜的平面外(垂直于衬底)和平面内周期性结构 的灵敏性来说,X射线强度聚焦于恰在衬底上方的区域中。如图6中所示,CDPA的SAM的GIXD 图案在gxy二1.41人-1下呈现布拉格棒条,其指示所述SAM是结晶的,其晶格常数为 4.45 A。在检测范围内仅出现一个布拉格棒条表明,所述SAM具有六角晶格。所述晶格常数 仅比OPA SAM的晶格常数(4.2 Λ)大6%,表明庞大环己基端基的紧密堆积。
[0030]关于作为电介质应用于0TFT中,CDPA修饰的A10y/Ti0x需要适当的表面粗糙度、表 面能、电容以及漏电流。如使用原子力显微法(AFM)所测定,CDPA在25μπι2的面积内形成具有 0.2nm均方根(RMS)粗糙度的极光滑表面。这一粗糙度可与Si0 2上十八烷基三甲氧基硅烷 (0TMS)的超光滑SAM的粗糙度相当,如Ito等,1^111.(^111.3〇(3.2009,131,9396中所报道。 CDPA的SAM的表面能是31.6mN m-S含有0.3mN m-1的极性分量和31.3mN m-1的色散分量。通 过增加色散分量,同时保持极性分量几乎不变,CDPA的SAM具有大于0ΡΑ的表面能(26.6mN πΓ 1)的表面能。这与以下事实一致,即⑶PA含有非极性环己基端基,所述端基具有大于0ΡΑ中 的甲基端基的接触面积。由于增强的表面能,根据本发明的一个实施方案的CDPA修饰的 A10y/Ti0x呈现比0ΡΑ修饰的A10y/Ti0x好得多的湿润性,并且可由如氯仿、异丙醇、乙酸乙酯 以及甲苯的多种有机溶剂完全湿润,其中静止接触角小于5°。这种良好湿润性容易地允许 识别在滴铸期间使用的最优化溶剂。相比之下,CBPA的SAM呈现36.7mN πΓ1的较大表面能,具 有lmN nf1的极性分量和35.7mN nf1的色散分量。CBPA的较大表面能可能是由于无序的较短 烷基链,其允许探测液体在所述SAM下实现较大的与金属氧化物的相互作用。CDPA和CBPA修 饰的A10y/Ti0 x的每单位面积电容(Ci)分别测量为210±18nF cm-2和240±16nF cm-2。所述 电容在不同装置之间略微改变,因为旋涂方法不产生均一厚度的A10y/Ti0 x层。通过CDPA修 饰的AlOy/TiOx的漏电流约为1.6 X 10_6Acnf2,如由金属-绝缘体-金属结构使用3V电压所测 量。与⑶PA修饰的A10 y/Ti0x相比,0PA修饰的A10y/Ti0x具有基本上相同的漏电流,而CBPA修 饰的A10 y/Ti0X具有较大漏电流(在相同电压下3.4 X 10-6A cm-2)。CBPA修饰的A10y/Ti0X的较 大电容和漏电流看来与CBPA的烷基链较短有关。
[0031]根据本发明的一个实施方案的并五苯和C6Q的0TFT是通过使这些有机半导体在 ⑶PA和0ΡΑ修饰的A10y/Ti0x上真空沉积来制造,并且根据本发明的一个实施方案的TIPS-PEN和TIPS-TAP的0TFT是通过将相应有机半导体的溶液滴铸至⑶PA修饰的A10 y/Ti0x上来制 造。示例性0TFT具有作为漏电极和源电极的顶电极金。因为0ΡΑ修饰的A10 y/Ti0x由最常见的 有机溶剂不良地湿润,所以滴铸无法产生高质量薄膜的沉积。因此,TIPS-PEN和TIPS-TAP的 溶液处理的0TFT不在0ΡΑ修饰的A10 y/T i 0X上制造。使用大的每单位面积电容(C i),所述0TFT 在低达3V的栅压下操作。CDPA和0ΡΑ修饰的AlOy/TiOx上的0TFT呈现基本上相同的阈电压。 如在真空中和在空气中所测量的在⑶PA和0ΡΑ修饰的A10 y/Ti0x上的0TFT的场效应迀移率概 述于下文表1中,其中平均值是由五种不同衬底上的至少20个通道获得。在CDPA修饰的 AlOy/TiOx上的表现最好的0TFT的典型输出和传递I-V曲线显示于图7中。用CBDA取代⑶PA, 产生劣等0TFT,其中并五苯和C 6Q的真空沉积的0TFT分别呈现1.6±0.2cm2V-1(在空气中 测量)和0.021±0.005cm 2V-1s-1(在真空中测量)的较低场效应迀移率,并且TIPS-PEN和 TIPS-TAP的溶液处理的0TFT分别呈现0.23±0.07〇112¥-18-1(在空气中测量)和(7.3±0.6) X10-3cm2V-ls-l(在真空中测量)的较低场效应迀移率。CDPA修饰的A10y/Ti0x由其它有机 半导体构建,所述半导体包括铜酞菁、Ν,Υ-二环己基-1,4,5,8-萘-四羧基二酰亚胺(C-NT⑶I)以及Ν,Υ-二己基-1,4,5,8-萘-四羧基二酰亚胺(!1-犯^01)丄0?4修饰的41(^/11(^上 C-NTCDI的真空沉积的0TFT和H-NTCDI的溶液处理的0TFT是空气稳定的,分别具有1.50 土 0 · 30cm2V-ls-l 和1 · 09 ±0 · 26cm2V-ls-l 的高场效应迀移率。
[0032] 表1.如在真空中(Vac.)或在空气中所测试的在⑶PA和0ΡΑ修饰的A10y/Ti0 x上制造 的0TFT的场效应迀移率(cm2V-4。
[0033]
[0034] 如由⑶PA的SAM上并五苯和C6Q的0TFT所测量的并五苯和C6Q的场效应迀移率是在 这两种基准有机半导体的最高值当中。与⑶PA的SAM相比,十八烷基三甲氧基硅烷(0TMS)的 结晶SAM针对C60的真空沉积的0TFT具有较高场效应迀移率(当在犯氛围中测量时为4.7 土 0.41cm2V-但针对并五苯具有较低场效应迀移率(2.8±0.2cm2V-如Ito等, J.Am.Chem.Soc·2009,131,9396中所公开。在CDPA的SAM上TIPS-PEN 0TFT的最大场效应迀 移率(2 · 7cm2V-V4是高于由Park等,Appl · Phys · Lett · 2007,91,063514所报道的TIPS-PEN 的溶液处理的无应变膜的最大迀移率(1.8cm2V-4,但低于Diao等Nat .Mater. 2013,12, 665的应变单晶膜的最大迀移率(llcm2V-V0。在CDPA的SAM上TIPS-TAP 0TFT的电子迀移率 (S.Ocn^Vdir1)看来是溶液处理的多晶η通道0TFT中最高的。与Liu等, Angew. Chem. Int.Ed. 2013,52,6222中所报道的具有甲氧基端基以增强高迀移率溶液处理 的η通道0TFT的表面能的12-甲氧基十二烷基膦酸(M0DPA)的SAM相比,⑶PA的SAM具有高约 50%的平均场效应迀移率并且显示TIPS-TAP的η通道0TFT的显著改进的空气稳定性。看来 所述改进的空气稳定性是归因于所述SAM表面缺乏氧原子,在所述SAM表面中极性氧原子允 许在半导体-电介质界面处积聚水,正如M0DPA和⑶PA的SAM分别呈现75.2°和99.8°的水接 触角。CDPA的环己基允许SAM为疏水性和有机溶剂可湿润性的,这对于制造空气稳定性溶液 处理的η通道0TFT是至关重要的。
[0035]研究在⑶ΡΑ和0ΡΑ的SAM上有机半导体的真空沉积的膜。通过X射线衍射(XRD)和原 子力显微法(AFM),在⑶PA和0ΡΑ的SAM上并五苯的真空沉积的膜的X射线衍射基本上相同, 呈现与并五苯的薄膜相一致的四个衍射峰。如图8中所示的AFM图象所指示,沉积于CDPA和 0ΡΑ的SAM上的并五苯膜是由具有不同平台的晶粒构成。CDPA上的膜中具有超过Ιμπι大小的 晶粒是大于0ΡΑ上的膜中的那些晶粒,这大概是因为显示较高表面能的CDPA的SAM促进逐层 生长。因此,在不同SAM上并五苯0TFT的迀移率的差异可归因于膜形态的差异。与⑶PA和0ΡΑ 的SAM上的不同膜形态一致,极薄(3nm厚)膜的AFM图象披露了 CDPA上并五苯的膜具有较高 覆盖率和较少晶粒边界。CDPA的SAM上C6Q的膜在20 = 10.86° (d间距=8.19 A)和2Θ = 21.78° (d简$巨=4.08 Α)处呈现两个X射线衍射峰,这与源于所述单晶结构的(111)和 (222)衍射一致。这指示结晶膜,其中(111)平面与所述表面平行。相比之下,在相同条件下 沉积于0ΡΑ的SAM上的C6Q的膜仅在2Θ = 10.86°处呈现一个小的衍射峰,其指示明显较低结晶 度的膜。不同于CDPA的SAM上生长的C6〇膜,如Kobayash等Appl. Phys. Lett. 2003,82,4581 中 所报道通过分子
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