整楔型制动器52b的高度，从而能够调整轴承部57、即上夹持辊50b的高度，调整上夹持辊50b与下夹持辊50a的间隙(夹持间隔)。
[0103]第I夹持部40、第2夹持部42及第3夹持部44利用这样的夹持间隔的调整机构，按照分别达到不同的夹持间隔的方式进行调整。
[0104]具体而言，按照越是基板16的搬运方向的下游侧，夹持间隔变得越窄(或者同等)的方式设定。即，第I夹持部40的夹持间隔最大、第3夹持部44的夹持间隔最小地设定。
[0105]第I夹持部40的夹持辊对50使经过其间的带粘合剂的基板16与支撑体14连续地贴合(层压)。此时，通过夹持间隔，计量粘合剂，规定层压厚度。
[0106]接着，第2夹持部42的由下夹持辊对60a及上夹持辊60b构成的夹持辊对60将经过第I夹持部40的基板16、粘合剂及支撑体14的层叠体进一步夹持，通过比第I夹持部40小的夹持间隔，计量粘合剂，规定层压厚度。
[0107]进而，第3夹持部44的由下夹持辊70a、上夹持辊70b构成的夹持辊对70将经过第I夹持部40及第2夹持部42的基板16、粘合剂及支撑体14的层叠体进一步夹持，通过比第2夹持部42小的夹持间隔计量粘合剂，确定最终的层压厚度。
[0108]如上所述，以往，进行了各种在制造橡胶片材或树脂片材时提高片材的膜厚精度的研究。
[0109]然而，存在精度不充分、存在用于实施制造方法的设备上的制约而没有通用性、或装置需要特殊加工而成本增加之类的问题。
[0110]与此相对，本发明以橡胶片材或树脂片材作为基板16，在基板16上涂布粘合剂而层压支撑体14时，通过越是后段则夹持间隔变得越窄的多个夹持辊对依次进行夹持后，使粘合剂固化。由此，将基板16表面的凹凸包埋，此外，通过多次的夹持将粘合剂弄平整，从而能够提高支撑体14表面的平滑性，提高层叠体10的膜厚精度。
[0111]其中，在仅通过I段的夹持辊对进行夹持来层压支撑体的情况下，因基板16的弹性或粘合剂的粘性(溶液阻力)的影响，在经过夹持辊对时基板16发生变形，实质的夹持间隔发生变化。因此，无法将粘合剂充分地弄平整，无法提高支撑体表面的平滑性而充分地提尚I旲厚精度。
[0112]与此相对，本发明由于通过多段的夹持辊对进行多次夹持，所以慢慢地将粘合剂弄平整，能够提高支撑体14表面的平滑性，能够提高膜厚精度。
[0113]特别是基板16为橡胶片材那样的弹性体的情况下，在基板16经过夹持辊对之间时容易发生变形。因此，通过I次的夹持，无法将粘合剂充分地弄平整。与此相对，本发明由于进行多次夹持，所以即使是基板16为橡胶片材那样的弹性体的情况，也能够将粘合剂充分地弄平整。因此，本发明在作为基板使用橡胶片材时，特别适宜使用。
[0114]其中，对夹持辊50a、50b的材质没有特别限定，但优选为金属辊与金属辊的组合。根据基板16的特性等，也可以是金属辊与橡胶辊、橡胶辊与橡胶辊的组合。
[0115]此外，支撑体14侧的辊即上夹持辊50b优选具有加热机构。夹持辊50b具有加热机构，在进行夹持时提高粘合剂的温度而降低粘度，从而能够降低经过夹持辊间时的溶液阻力，防止基板16的变形，提高支撑体14表面的平滑性。
[0116]其中，粘合剂经过夹持棍间是一瞬间，但通过加热单元进行加热时，粘合剂的表面的温度升高，粘合剂的表面部分的粘度降低。因此，粘合剂的表面更容易变得平整，能够提高支撑体14表面的平滑性。
[0117]另外，也可以是全部的夹持辊对具有加热单元，但优选至少最终段的夹持辊对的上夹持辊70b具有加热单元。通过使最终段的上夹持辊70b具有加热单元，能够适当提高层叠体10的最终的膜厚精度。
[0118]此外，对利用加热单元的加热温度没有特别限定，只要根据粘合剂的特性、基板16及支撑体14的材质或辊直径、搬运速度等动作条件、所要求的膜厚精度等适当决定即可。
[0119]作为上夹持辊50b的加热单元，可以利用例如日本特开平6-315980号中记载的电加热器、液体套管等各种公知的加热单元。
[0120]此外，夹持辊50a、50b的辊直径在制作成本上优选为小径，但若小径化则辊有可能因溶液阻力而发生弯曲。此外，在具有加热单元的情况下，由于因小径化而传热面积减少，所以无法将粘合剂充分加热而减少溶液阻力，依然有可能成为弯曲的原因。
[0121]夹持辊50a、50b的辊直径只要考虑上述方面适当决定即可。例如，在粘合剂的粘度范围为0.05Pa.s?5Pa.s且夹持辊50b具有加热机构的情况下，优选使用Φ 150mm?Φ500mm的范围的夹持辊50a、50b。由此，能够在不产生辊弯曲的情况下，设定准确的夹持间隔。
[0122]此外，第I夹持部40、第2夹持部42及第3夹持部44各自的夹持间隔只要根据粘合剂的特性、基板16及支撑体14的材质或弹性模量、辊直径、加热单元的有无、搬运速度等动作条件、所要求的膜厚精度等适当决定即可。
[0123]此外，调整夹持间隔的机构并不限定于图示例的构成，可以利用调整夹持间隔的各种公知的机构。
[0124]此外，在图示例中，制成具有调整夹持间隔的机构的构成，但本发明并不限定于此，也可以不具有调整夹持间隔的机构，第I夹持部40、第2夹持部42、第3夹持部44分别以规定的夹持间隔固定。
[0125]此外，在图示例中，制成夹持部28具有3对的夹持辊对的构成，但本发明并不限定于此，也可以是具有两对的夹持辊对的构成，或者，也可以是具有4对以上的夹持辊对的构成。若考虑膜厚精度提高的效果及成本，则优选具有2?5对的夹持辊对。
[0126]经过夹持部28后的基板16被供给至光照射部30中。
[0127](固化工序S208)
[0128]光照射部30是进行固化工序S208的部位，例如是照射紫外线(UV光)等光使基板16与支撑体14之间的粘合剂(粘合剂层18)固化的部位。通过照射紫外线等光使粘合剂固化，将基板16与支撑体14粘合，得到层叠体10。
[0129]作为在固化工序S208中使用的光，只要是通过该照射能够使光固化性粘合剂固化的活性光线则没有特别限制，广泛包含α射线、γ射线、X射线、紫外线(UV)、可见光线、电子射线、激光等。其中，特别优选使用紫外线。
[0130]另外，激光是相干性(Coherence)高的光，指向性、聚焦性优异，例如可例示出后述的红外线激光等。
[0131]此外，在固化工序S208中照射的光优选为200?600nm的光。作为固化工序S208中可以使用的光源，没有特别限制，可优选例示出汞灯、金属卤化物灯等。
[0132]此外，固化工序中的光的曝光量只要是光固化性粘合剂发生固化的量即可，但优选为 10 ?4，000mj/cm2，更优选为 20 ?2，500mJ/cm2。
[0133]此外，从利用光的固化的容易性的方面出发，支撑体14及基板16的至少I者优选为透明，更优选支撑体14为透明。
[0134]粘合剂层18固化后的基板16与支撑体14之间的剥离力优选为2N/cm以上，更优选为3N/cm以上，进一步优选为4N/cm以上。此外，优选为20N/cm以下。
[0135]经过光照射单元的层叠体10被供至下一工序。例如，可以作为层叠体10卷取，也可以被供至后述的贴附覆盖膜19的工序。
[0136]接着，利用图1及图3对层压装置20的作用及本发明的层压方法进行说明。
[0137]如上所述，若在旋转轴32上装填基板辊34，则从基板辊34引出基板16，插通规定的搬运路径。若基板16插通于规定的搬运路径中，则通过未图示的驱动源驱动而开始基板16的搬运。
[0138]另一方面，在旋转轴36上装填支撑体辊38，从支撑体辊38引出支撑体14，插通规定的搬运路径。若支撑体14插通于规定的搬运路径中，则通过未图示的驱动源驱动，与基板的16的搬运同步地开始支撑体14的搬运。
[0139]若开始基板16的搬运，则作为涂布工序S200，通过粘合剂涂布部24，在基板16的主表面上涂布光固化性的粘合剂。
[0140]接着，作为第I夹持工序S202，第I夹持部40在涂布有粘合剂的基板16上贴合支撑体14。接着，作为第2夹持工序S204，第2夹持部42将基板16、粘合剂及支撑体14的层叠体夹持，计量粘合剂，规定层压厚度。进而，作为第3夹持工序S206，第3夹持部44将基板16、粘合剂及支撑体14的层叠体夹持，计量粘合剂，规定层压厚度。
[0141]接着，作为固化工序S208，光照射部30对粘合剂照射UV光等，使粘合剂固化，将基板16与支撑体14粘合，制作了基板16、粘合剂层18及支撑体14层叠而成的层叠体10。
[0142]接着，对于通过本发明的层压方法制作的层叠体10，利用图2及图6进行说明。
[0143]图6是着重表示图2中所示的层叠体10的支撑体14侧的面的表面的凹凸的图。
[0144]如图2中所示的那样，层叠体10是将在主表面具有凹凸的基板16、层叠于基板16上的粘合剂层18和层叠于粘合剂层18上的支撑体14层叠而成的。S卩，层叠体10是通过将基板16和支撑体14介由粘合剂贴合，将基板16的凹凸以粘合剂层18包埋，使层叠体10表面(支撑体14表面)变得平滑，提高了层叠体10的膜厚精度。
[0145]其中，若设层叠体10的基板16与粘合剂层18的界面z的表面粗糙度指标的最大高度为R。，则与基板16的平均厚度d。之比R。/(1。优选为5%?30%。
[0146]此外，层叠体10的基板16的平均厚度d。优选为400 μπι?6000 μπι。
[0147]此外，基板16的材质优选为橡胶，优选弹性模量为0.5N/mm2?5.0N/mm 2。
[0148]通过对表面粗糙度R。及厚度d。满足上述范围的基板16应用本发明的层压方法，能够适宜地将基板16的凹凸包埋，提高膜厚精度。特别是材质为橡胶且弹性模量满足