一种立式多工位石英管清洗机及清洗方法与流程

文档序号:12621548阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种立式多工位石英管清洗机,其特征在于,包括:

清洗平台,转动设于本体内,所述清洗平台表面绕其中心贯通设有若干安装孔,所述安装孔内侧设有转盘,所述石英管固定在转盘上,受其带动进行自转,并在清洗平台带动下进行公转;

一至若干外喷管,竖直设于本体内,并位于石英管外侧,沿所述外喷管侧壁设有多数个喷口,用于喷射清洗液或气体,以清洗或干燥石英管外壁;

若干内喷管,与转盘一一对应,并由转盘下方穿过进入石英管内,沿所述内喷管侧壁及顶部也设有多数个喷口,用于喷射清洗液或气体,以清洗或干燥石英管内壁。

2.根据权利要求1所述的立式多工位石英管清洗机,其特征在于,所述外喷管竖直固定于本体内壁,所述内喷管活动设于本体内,并受驱动在石英管内进行上下移动,所述内、外喷管分别通过阀门连接至不同的清洗液管路或气体管路。

3.根据权利要求1所述的立式多工位石英管清洗机,其特征在于,所述清洗平台支承于环形导轨上,并受电机驱动进行旋转。

4.根据权利要求3所述的立式多工位石英管清洗机,其特征在于,所述清洗平台通过对应设于转盘下方的中空滑块支承于环形导轨上,所述转盘与中空滑块之间通过轴承副进行转动连接,所述内喷管依次穿过中空滑块、轴承副及转盘进入石英管内,并受驱动在石英管内进行上下移动。

5.根据权利要求1所述的立式多工位石英管清洗机,其特征在于,所述清洗平台表面贯通设有多数个网孔,不同状态的清洗废液经网孔汇入清洗平台下方的对应排液管路,以进行分类回收及循环利用。

6.根据权利要求5所述的立式多工位石英管清洗机,其特征在于,所述清洗平台下方设有储液槽,用于收集经网孔汇入的化学清洗液,并通过循环泵连接至内、外喷管,对化学清洗液进行循环利用。

7.根据权利要求1所述的立式多工位石英管清洗机,其特征在于,所述本体内壁设有传感器,用于检测石英管的公转通过。

8.根据权利要求1所述的立式多工位石英管清洗机,其特征在于,所述本体内还设有移动式水枪及气枪,用于对清洗平台进行清洗及干燥。

9.一种使用权利要求1-8任意一项所述的立式多工位石英管清洗机清洗石英管的清洗方法,其特征在于,包括以下步骤:

步骤S1:将石英管安装在转盘上;

步骤S2:启动清洗平台旋转,并打开超纯水管路阀,使内、外喷管同时喷射超纯水,对石英管进行预清洗;同时打开超纯水排液管路阀,将清洗后的超纯水废液通过清洗平台表面的网孔汇入清洗平台下方的超纯水排液管路,排入超纯水回收系统;

步骤S3:预清洗结束后,关闭超纯水管路阀和超纯水排液管路阀,切换到化学清洗液管路阀,并打开储液槽的循环泵,使内、外喷管同时喷射化学清洗液,对石英管进行化学清洗;同时打开化学清洗液排液管路阀,将清洗后的化学清洗液通过清洗平台表面的网孔汇入清洗平台下方的储液槽内,加以循环利用;

步骤S4:化学清洗结束后,关闭循环泵和化学清洗液排液管路阀,再次切换到超纯水管路阀,使内、外喷管同时喷射超纯水,对石英管进行第一次超纯水清洗;同时打开稀酸排液管路阀,将清洗后的超纯水废液通过清洗平台表面的网孔汇入清洗平台下方的稀酸排液管路,排入稀酸回收系统;

步骤S5:第一次超纯水清洗结束后,关闭稀酸排液管路阀,继续使内、外喷管同时喷射超纯水,对石英管进行第二次超纯水清洗;同时打开超纯水排液管路阀,将清洗后的超纯水废液通过清洗平台表面的网孔汇入清洗平台下方的超纯水排液管路,排入超纯水回收系统;

步骤S6:第二次超纯水清洗结束后,关闭超纯水管路阀和超纯水排液管路阀,打开气体管路阀,使内、外喷管同时喷射气体,对石英管进行干燥;

步骤S7:干燥完毕后,停止清洗平台旋转,将石英管取出,完成清洗。

10.根据权利要求9所述的清洗方法,其特征在于,当传感器感应到石英管通过时,使内、外喷管同时喷射清洗液或气体,开始对石英管进行清洗或干燥;通过水阻计对超纯水废液进行检测,并当水阻计的检测值达到阈值时,关闭超纯水管路阀和超纯水排液管路阀。

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