技术总结
本实用新型公开了一种化学铜清洗液过滤循环装置，包括化学铜主槽和化学铜副槽，连接于化学铜主槽和化学铜副槽之间并自化学铜主槽流向化学铜副槽的过滤溢流管，以及连接于化学铜副槽和化学铜主槽之间并自化学铜副槽流向化学铜主槽的回抽管网；所述化学铜主槽的槽壁顶部设置有主槽溢流口，所述化学铜副槽的开口顶面架设有尼龙网纱过滤盒，所述过滤溢流管的一端连接于主槽溢流口、过滤溢流管的另一端伸入尼龙网纱过滤盒。本实用新型提供化学铜清洗液过滤循环装置，实现化学铜清洗液的循环利用，大幅降低设备零部件的结铜，不仅节省人力物力，而且不用频繁更换、降低品质隐患，具有结构紧凑、拆装方便、制作容易、安全可靠、实用性强等诸多优点。
技术研发人员：何建荣;张纯;秦俊阳
受保护的技术使用者：昆山沪利微电有限公司
文档号码：201620506210
技术研发日：2016.05.30
技术公布日：2016.12.07