一种酸洗效果好的单晶硅搅拌装置的制作方法

文档序号:25308036发布日期:2021-06-04 14:57阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种酸洗效果好的单晶硅搅拌装置,其特征在于,包括固定箱(1)、固定板(2)、驱动机构和移动机构,所述固定箱(1)竖向设置,所述固定板(2)水平设置在固定箱(1)内,所述驱动机构和移动机构均设置在固定箱(1)内;所述驱动机构包括电机(26)、转杆(27)、搅拌组件、从动组件和震动组件,所述电机(26)竖向朝上设置在固定箱(1)内部的底端,所述转杆(27)竖向设置在固定板(2)上,所述转杆(27)的底端通过固定板(2)安装在电机(26)上;所述搅拌组件设置在转杆(27)上,所述搅拌组件位于固定板(2)的上方,所述搅拌组件包括搅拌杆(3)、移动环(4)、滑块(5)、轴承(6)和弹簧(7),所述轴承(6)套设在转杆(27)的顶端,所述移动环(4)套设在转杆(27)上,所述移动环(4)与转杆(27)滑动连接,所述转杆(27)上设有竖向限位槽,所述滑块(5)位于限位槽内,所述滑块(5)与限位槽滑动连接,所述滑块(5)远离限位槽的一端与移动环(4)的内圈连接,所述移动环(4)通过滑块(5)与限位槽滑动连接,所述弹簧(7)设置在轴承(6)和移动环(4)之间,所述弹簧(7)套设在转杆(27)上,所述弹簧(7)的一端与移动环(4)连接,所述弹簧(7)的另一端与轴承(6)的内圈连接,所述搅拌杆(3)有两根,两根搅拌杆(3)分别设置在移动杆的两侧,两根搅拌杆(3)关于转杆(27)的轴线对称设置;所述震动组件有两个,两个震动组件分别设置在轴承(6)的两侧,两个震动组件关于轴承(6)的轴线对称设置,所述震动组件包括半圆形滤网板(8)和支杆(9),所述滤网板(8)的圆心位于转杆(27)上,所述滤网板(8)水平设置在轴承(6)的一侧,所述滤网板(8)靠近转杆(27)的一侧设有半圆形凹槽,所述支杆(9)设置在凹槽和滤网板(8)之间,所述支杆(9)的一端与凹槽的内壁铰接,所述支杆(9)的另一端与轴承(6)的外圈铰接;所述从动组件有两个,两个从动组件分别设置在两根搅拌杆(3)上,两个从动组件关于转杆(27)对称设置,所述从动组件包括套环(10)、滑动杆(11)、连接环(12)和从动单元,所述套环(10)套设在搅拌杆(3)上,所述套环(10)与搅拌杆(3)滑动连接,所述连接环(12)设有滤网板(8)远离转杆(27)的一侧,所述滑动杆(11)竖向设置在连接环(12)上,所述滑动杆(11)的底端通过连接环(12)与套环(10)的外圈连接,所述滑动杆(11)与连接环(12)滑动连接;所述从动单元设置在固定箱(1)内部的顶端,所述从动单元包括螺纹筒(13)、丝杆(14)、从动杆(15)和轴承座(16),所述固定箱(1)顶端的内壁上设有环形定位槽,所述定位槽内设有滑动块(17),所述轴承座(16)设置在滑块(5)的上,所述轴承座(16)通过滑动块(17)与定位槽滑动连接,所述定位槽的截面为燕尾形,所述螺纹筒(13)竖向设置在轴承座(16)的下方,所述丝杆(14)竖向设置在滑动杆(11)和螺纹筒(13)之间,所述丝杆(14)与滑动杆(11)同轴设置,所述丝杆(14)与螺纹筒(13)同轴设置,所述螺纹筒(13)的底端设有与丝杆(14)相匹配的内螺纹孔,所述丝杆(14)的底端与滑动杆(11)的顶端连接,所述丝杆(14)的顶端位于螺纹孔内,所述丝杆(14)与螺纹孔螺纹连接,所述螺纹筒(13)的顶端通过轴承座(16)与定位槽连接,所述从动杆(15)有若干根,各从动杆(15)沿着螺纹筒(13)的外圈周向均匀设置;所述移动机构设置在电机(26)的一侧,所述移动机构包括气泵(18)、出气管(19)、进气管(20)、单向阀(21)、连杆(22)和抵靠板(23),所述气泵(18)设置在电机(26)的一侧,所述出气管(19)设置在气泵(18)的上方,所述出气管(19)的一端与气泵(18)连通,所述出气管
(19)的另一端通过固定板(2)与固定箱(1)的顶端的内部连通,所述进气管(20)设置在固定箱(1)的一侧,所述进气管(20)的一端通过固定箱(1)底端的一侧与气泵(18)连通,所述进气管(20)的另一端通过固定箱(1)顶端的一侧与固定箱(1)内部的顶端连通,所述单向阀(21)设置在出气管(19)远离气泵(18)的一端内,所述抵靠板(23)设置在固定板(2)上,所述抵靠板(23)位于出气管(19)的正上方,所述抵靠板(23)与固定板(2)滑动连接,所述连杆(22)设置在搅拌杆(3)和抵靠板(23)之间,所述抵靠板(23)通过连杆(22)与搅拌杆(3)连接。2.如权利要求1所述的酸洗效果好的单晶硅搅拌装置,其特征在于,所述内螺纹孔内设有牙套。3.如权利要求1所述的酸洗效果好的单晶硅搅拌装置,其特征在于,所述支杆(9)与轴承(6)的铰接处设有扭簧。4.如权利要求1所述的酸洗效果好的单晶硅搅拌装置,其特征在于,所述搅拌杆(3)远离转杆(27)的一侧设有竖向刮板(24),所述刮板(24)的一端与固定箱(1)的内壁抵靠,所述刮板(24)的另一端与搅拌杆(3)远离转杆(27)的一端连接。5.如权利要求4所述的酸洗效果好的单晶硅搅拌装置,其特征在于,所述管板和滑动杆(11)之间设有拉绳(25),所述拉绳(25)的一端与滑动杆(11)连接,所述拉绳(25)的另一端与刮板(24)连接。6.如权利要求1所述的酸洗效果好的单晶硅搅拌装置,其特征在于,所述抵靠板(23)靠近固定板(2)的一端为镜面。7.如权利要求1所述的酸洗效果好的单晶硅搅拌装置,其特征在于,所述滑动杆(11)上涂有铬。8.如权利要求1所述的酸洗效果好的单晶硅搅拌装置,其特征在于,所述丝杆(14)和滑动杆(11)为一体成型结构。9.如权利要求1所述的酸洗效果好的单晶硅搅拌装置,其特征在于,所述电机(26)为伺服电机。10.如权利要求1所述的酸洗效果好的单晶硅搅拌装置,其特征在于,所述固定箱(1)上涂有防腐镀锌层。
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