电动致动器和电动激振装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种电动致动器和使用其的电动激振装置。
【背景技术】
[0002]已知有将所谓音圈马达作为驱动装置使用的电动激振装置。在专利文献I中公开了使驱动轴朝向彼此正交的方向的三台电动致动器200、300、400与振动台100连结而成的三轴激振装置I。在专利文献I的激振装置I中，各电动致动器的驱动轴经由在与驱动轴正交的两个轴方向上能够平稳地滑动的双轴滑件(连接部240、340、440)与振动台100连接。该双轴滑件240(340、440)是将以可动轴彼此正交的方式配置的一对直线引导件经由中间台245(345、445)连结而成的。利用该结构，各电动致动器能够不被其它电动致动器的振动台100的驱动所强烈影响(即，以比较少的互相干扰(cross talk))地驱动振动台100。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1:国际公开W02009/130953号公报
【发明内容】
[0006]发明想要解决的技术问题
[0007]但是，在专利文献I的激振装置I所使用的电动致动器200中，可动部230仅在从其胴体部232的一端向驱动方向突出的细长杆234的前端附近被支承于固定部222，所以可动部230的胴体部232，在与驱动轴正交的方向(不驱动方向)上不以高刚性被支承，在不驱动方向上容易发生振动。因此，由于向可动部230的不驱动方向的振动，产生驱动轴间的互相干扰，会有激振精度降低的情况。
[0008]本发明的目的在于提供可动部在不驱动方向上不易振动的电动致动器和通过使用该电动致动器而使激振精确度优良的电动激振装置。
[0009]本发明的实施方式的电动致动器，包括:大致筒状的固定部;可动部，其至少一部分被收容于固定部的中空部内，在固定部的轴线方向上被往复驱动;和以使可动部能够在固定部的轴线方向上能往复移动的方式从侧方对可动部进行支承的多个可动部支承机构。可动部支承机构包括:轨道，其被安装于可动部的侧面，在固定部的轴线方向上延伸；和滑块，其被安装于固定部，与轨道卡合，并且，可动部支承机构大致等间隔地配置于以固定部的轴线为中心的周方向上。
[0010]利用该结构，可动部被多个可动部支承机构限制向不驱动方向的移动，所以在不驱动方向上不易振动。
[0011]可动部也可以构成为由两对可动部支承机构在正交的两个方向上从两侧夹持。
[0012]利用这些结构，可动部在正交的两个不驱动方向上分别被从两侧限制移动，所以在不驱动方向上不易振动。
[0013]电动致动器也可以以固定部的轴线朝向水平方向的方式被横置，可动部支承机构中的一个被配置于固定部的轴线之下。
[0014]利用该结构，可动部被可动部支承机构中的一个从下方支承，所以即使可动部的重量大，也能够有效防止可动部的上下方向上的振动。
[0015]也可以构成为可动部包括:杆，其从可动部的一端突出，在固定部的轴线上延伸，固定部包括:轴承，其以使杆在固定部的轴线方向上能自由移动的方式对杆进行支承。
[0016]利用该结构，可动部由可动部支承机构和轴承在驱动方向上的两点限制不驱动方向上的移动，所以在不驱动方向上更不易振动。
[0017]也可以构成为，包括:基座;和支承固定部的固定部支承机构，固定部支承机构包括:可动块，其被安装于电动致动器的固定部;直线引导件，其以在固定部的轴线方向上可自由滑动的方式对可动块和基座进行连结;和缓冲部件，其被配置在基座和可动块之间，防止轴线方向的振动的传递。缓冲部件例如为空气弹簧。另外，也可以构成为，包括:固定块，其被固定于基座，直线引导件和防振部件的至少一方经由固定块被安装于基座。
[0018]当电动致动器被驱动时，固定部由于反作用力而在轴线方向上强烈进行振动。根据该结构，固定部经由固定部支承机构的缓冲部件被固定于基座，所以能够防止固定部的轴线方向的较强的振动传递至基座。若将这样的电动致动器用于多轴激振机，则能够降低激振轴间的互相干扰、不需要的振动干扰，能够进行精度良好的激振试验。
[0019]也可以构成为包括一对可动块，一对可动块被安装于夹着固定部的轴线的两侧面。
[0020]根据该结构，可动块所接受的轴线方向的较强的反作用力，被一对固定部从轴线两侧对称地支承，所以能够抑制可动块的纵摇、横摇的产生。
[0021 ]本发明的实施方式的电动激振装置，包括:上述电动致动器;和与电动致动器的可动部的前端连结的振动台。
[0022]如上所述，提供一种电动激振装置，其利用使用成为干扰主要原因的向不驱动方向的振动少的电动致动器，能够进行精度高的激振。
[0023]另外，也可以构成为包括两个电动致动器，电动致动器中的一方为在第一方向具有驱动轴的第一致动器，电动致动器中的另一方为在与第一方向正交的第二方向上具有驱动轴的第二致动器，电动激振装置包括:第一滑件，其以在第二方向上可自由滑动的方式对振动台和第一致动器进行连结;和第二滑件，其以在第一方向上可自由滑动的方式对振动台和第二致动器进行连结。
[0024]利用该结构，两个电动致动器能够彼此不干涉地独立地驱动振动台，所以实现能够进行正确激振的双轴电动激振装置。
[0025]另外，也可以构成为包括:第三致动器，其为上述电动致动器，在与第一方向和第二方向正交的第三方向上具有驱动轴；和第三滑件，其以在第一方向和第二方向上可自由滑动的方式对振动台和第三致动器进行连结，第一滑件以在第二方向和第三方向上可自由滑动的方式对振动台和第一致动器进行连结，第二滑件以在第一方向和第三方向上可自由滑动的方式对振动台和第二致动器进行连结。
[0026]利用该结构，三个电动致动器能够彼此不干涉地独立地驱动振动台，所以实现能够进行正确的激振的三轴电动激振装置。
[0027]根据本发明的实施方式的结构，提供可动部在不驱动方向上不易振动的电动致动器、和通过使用该电动致动器而使激振精确度优良的电动激振装置。
【附图说明】
[0028]图1是本发明的第一实施方式的电动激振装置的正视图。
[0029]图2是本发明的第一实施方式的电动激振装置的俯视图。
[0030]图3是本发明的第一实施方式的电动激振装置的驱动系统的方块图。
[0031 ]图4是本发明的第一实施方式的Z轴致动器的主体的正视图。
[0032]图5是本发明的第一实施方式的Z轴致动器的主体的俯视图。
[0033]图6是本发明的第一实施方式的Z轴致动器的主体的纵截面图。
[0034]图7是将本发明的第一实施方式的Z轴致动器的振动台附近放大的俯视图。
[0035]图8是本发明的第一实施方式的电动激振装置所使用的直线引导件的截面图。
[0036]图9是图8的1-1截面图。
[0037]图10是本发明的第二实施方式的电动激振装置的正视图。
[0038]图11是本发明的第二实施方式的电动激振装置的俯视图。
[0039]图12是本发明的第二实施方式的电动激振装置的侧视图。
【具体实施方式】
[0040]以下，参照图式说明本发明实施方式的电动激振装置。
[0041](第一实施方式)
[0042]首先，参照图1?图9，说明本发明的第一实施方式的电动型三轴激振装置1(以下，简记为“激振装置I” ) O图1和图2分别是激振装置I的正视图和俯视图。另外，图3是表示激振装置I的驱动系统的概略结构的方块图。在以下第一实施方式的说明中，令图1的左右方向为X轴方向(令右方向为X轴正方向)，令与纸面表面垂直的方向为Y轴方向(令从纸张面表侧向背侧的方向为Y轴正方向)，令上下方向为Z轴方向(令上方方向为Z轴正方向)。另外，Z轴方向为铅直方向，X轴和Y轴方向为水平方向。
[0043]如图1和图2所示，激振装置I包括:振动台400，其安装试样(未图示)；三个致动器(X轴致动器100、γ轴致动器200和Z轴致动器300)，在X轴、Y轴、Z轴方向上分别对振动台400进行激振;和装置基座50，其支承各致动器100、200、300。各致动器100、200、300分别是具备音圈马达的电动型线性致动器，主体101、201和301分别包括覆盖从各主体突出的可动部(后述)的盖103、203和303。振动台400分别经由双轴滑件(YZ滑件160、ΖΧ滑件260和XY滑件360)与各致动器100、200、300连结。激振装置I使用各致动器100、200、300驱动振动台400，由此能够在正交的三个轴方向上对安装于振动台400上的试样进行激振。
[0044]装置基座50是将水平底板54和顶板56利用垂直配置的多个壁板58连结而成的。各致动器100、200和300分别被一对固定块110、210和310固定于装置基座50的顶板56上。另外，在顶板56形成有开口 57，Z轴致动器3