一种可在真空环境下对MEMS微结构进行激励的激波激励装置的制作方法

技术特征：

1.一种可在真空环境下对MEMS微结构进行激励的激波激励装置，包括基板，在基板上设有手动三轴位移台和支座，在手动三轴位移台的Z轴溜板上设有针电极单元；其特征是：所述针电极单元包括用于连接Z轴溜板的直角连接板，在直角连接板上设有二块相互平行的支撑板，在二块支撑板之间设有平行布置的导向轴和丝杠，并在导向轴上套设有传动板，传动板与丝杠之间通过丝母连接，在其中一块支撑板外侧设有与丝杠同轴连接的步进电机，在传动板上端通过陶瓷管绝缘安装有针电极，针电极指向设置在支座上端的微结构单元；

所述微结构单元包括安装在支座上端的安装套，在安装套内设有阶梯状安装孔，在安装孔内对应针电极一端通过第一压板密封压装有弹性底座，弹性底座夹持在第一压板与安装孔内的环形阶梯之间，弹性底座为圆环形薄片状并在其中部设有环形凸台，在弹性底座外侧中心孔内通过绝缘套镶装有板电极，弹性底座内侧通过微结构安装板安装有MEMS微结构；在安装孔内另一端通过第二压板密封压装有光学玻璃板，所述安装孔通过光学玻璃板和弹性底座形成一个密闭腔体，所述MEMS微结构位于该密闭腔体内；在安装套外壁沿径向设有一个与密闭腔体相通的真空接头；

所述针电极和板电极分别与高压电容的两极电联接，在针电极和高压电容之间设有第一空气开关控制通断；所述高压电容的两极分别电联接至高压电源的正负极，并通过第二空气开关控制通断。

2.根据权利要求1所述的一种可在真空环境下对MEMS微结构进行激励的激波激励装置，其特征是：所述陶瓷管垂直穿过传动板并通过设在传动板上端的顶丝固定。

3.根据权利要求1所述的一种可在真空环境下对MEMS微结构进行激励的激波激励装置，其特征是：所述支座为阶梯轴状，其下端为大径端并套设有法兰盘，法兰盘与基板通过螺钉连接并将支座固定在基板上，支座上端与安装套通过螺纹连接。

4.根据权利要求1所述的一种可在真空环境下对MEMS微结构进行激励的激波激励装置，其特征是：所述第一压板通过圆周均布的螺钉固定在安装孔内对应针电极一端的端口内，在安装套内对应第一压板一端的环形阶梯面上设有圆形定位卡槽，所述弹性底座通过间隙配合设在定位卡槽内并通过圆周均布在第一压板上的顶丝固定。

5.根据权利要求4所述的一种可在真空环境下对MEMS微结构进行激励的激波激励装置，其特征是：在所述安装孔内两端的环形阶梯面与光学玻璃板和弹性底座之间分别夹设有密封圈，以提高密闭腔体的密封性。

6.根据权利要求4或5所述的一种可在真空环境下对MEMS微结构进行激励的激波激励装置，其特征是：所述弹性底座的中心孔为锥形盲孔，所述绝缘套外缘为锥形且与所述锥形盲孔锥度配合插接并粘接，绝缘套内壁与板电极外缘之间通过相互配合的圆锥面插接并粘接。

7.根据权利要求1所述的一种可在真空环境下对MEMS微结构进行激励的激波激励装置，其特征是：所述微结构安装板通过圆周均布的螺钉连接在弹性底座内侧的中心处，MEMS微结构粘接在微结构安装板上。