1.一种调控金属互连线各向异性收缩率的方法，其特征在于，包括如下步骤：把带有金属互连线微结构的硅片放在加热板上进行热处理，同时在硅片上下方分别放置正负电极板以对带有金属互连线微结构的硅片施加单轴驱动力，通过改变所加电极板放置方向来实现金属互连线在不同方向上的收缩；通过调整电极板电压值来控制金属互连线在受力方向上收缩量，进而实现微纳互连线的各向异性收缩以满足微加工技术对特征线宽的需求。
2.根据权利要求1所述的调控金属互连线各向异性收缩率的方法，其特征在于，热处理温度为150℃～200℃，时间为1.5h。
3.根据权利要求1所述的调控金属互连线各向异性收缩率的方法，其特征在于，对硅片上下方分别放置的正负电极板分别接至恒压源正负极以施加静电场。
4.根据权利要求3所述的调控金属互连线各向异性收缩率的方法，其特征在于，通过改变恒压源电压值改变电场强度。
5.根据权利要求1所述的调控金属互连线各向异性收缩率的方法，其特征在于，带有金属互连线微结构的硅片所需要的单轴驱动力还可通过静磁场、超声波、交变电场或光场来实现。