一种封存孤立超细小簇的设备的制作方法

文档序号:13497225阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种封存孤立超细小簇的设备,其特征在于,该设备包括:采用隔离阀分割的第一处理室与第二处理室,所述第一处理室用于沉积超细小簇,所述第二处理室通入CO2气体,所述第二处理室上设置一传送杆,所述传送杆通入第二处理室并可开通隔离阀通入至第一处理室内。

2.按照权利要求1所述的封存孤立超细小簇的设备,其特征在于,所述第一处理室上安装有真空管道用于连接真空泵,所述第一处理室内设置超粒子流枪对准所述第一处理室的样品台。

3.按照权利要求1所述的封存孤立超细小簇的设备,其特征在于,所述第二处理室上安装有真空管道用于连接真空泵,并设置CO2罐体通过阀门控制连接至第二处理室。

4.按照权利要求2所述的封存孤立超细小簇的设备,其特征在于,第一处理室的样品台为中空结构,内通入液氮。

5.按照权利要求1所述的封存孤立超细小簇的设备,其特征在于,所述第二处理室内设置冷却台,所述冷却台为中空结构,内通入液氮。

6.按照权利要求1所述的封存孤立超细小簇的设备,其特征在于,所述传送杆的端部为样品托架。

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