技术特征：
技术总结
本发明公开了一种基于MEMS工艺的二维磁驱动扫描微镜及其制备方法，制备方法首先在硅基底上制备第一压阻传感器和第二压阻传感器；在硅基底上刻蚀出线圈槽、线圈引线槽；制备线圈、线圈引线；形成氧化绝缘层，为线圈导线、金属连接线互连搭建绝缘层；在线圈引线末端制备金属电极、在硅基底上制备金属镜面层以及在氧化绝缘层上制备金属连接线；制备第一悬臂梁、第二悬臂梁、镜面基底、框架；制备的微镜的包括深沟道的环形线圈、双轴悬臂梁、镜面与框架、引线互连及引线绝缘层结构；与传统技术相比，本发明的基于MEMS技术的扫描微镜具有体积小、偏转频率高、视场角度大、成本低的特点，具有嵌入式装配的可能。
技术研发人员：姜波;彭明迪;苏岩;朱欣华
受保护的技术使用者：南京理工大学
技术研发日：2018.08.03
技术公布日：2019.01.08