一种用于制作纳米粒子自组装结构的装置的制作方法

文档序号:17838731发布日期:2019-06-05 23:53阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于制作纳米粒子自组装结构的装置,其特征在于,包括:

一平面基底;

一柔性模板;其底部贴合设置于所述平面基底的上表面;且所述柔性模板的与所述平面基底贴合的底部设置有与外界相通的、用于使得外界的纳米粒子溶液流入的微通道。

2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,还包括:

温度湿度控制器,用于控制所述微通道区域环境的温度和湿度。

3.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述微通道结构为:端部与外界相通的沟道型结构。

4.根据权利要求3所述的装置,其特征在于,所述沟道型结构为:端部与外界相通的贯穿所述柔性模板底部的单条或多条平行间隔的沟道型结构。

5.根据权利要求4所述的装置,其特征在于,所述微通道的宽度为以下其一:2.5μm、3μm、5μm;

所述微通道之间的间距为以下其一:5μm、7μm、10μm。

6.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述平面基底为:

普通平面玻璃片、石英平面玻璃、透明导电平面玻璃、镀膜平面玻璃或平面硅材料。

7.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述柔性模板为聚二甲基硅氧烷PDMS模板或聚甲基丙烯酸甲酯PMMA模板。

8.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述柔性模板底部的微通道的设置为通过软刻蚀方式处理设置。

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