一种连续供气装置的制作方法

文档序号:14918935发布日期:2018-07-11 02:38阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型涉及连续供气技术领域,尤其涉及一种连续供气装置,包括第一供气气路和第二供气气路,第一供气气路中自进气端至出气端依次设置有第一气源端阀门、第一调压阀及第一出口压力检测装置,第二供气气路中自进气端至出气端依次设置有第二气源端阀门、第二调压阀及第二出口压力检测装置;第一供气气路的进气端与第一气源连通,第二供气气路的进气端与第二气源连通,第一供气气路的出气端及第二供气气路的出气端均与用气端连通。本实用新型通过设置第一调压阀的出口压力和第二调压阀的出口压力为高低不同值,完全依靠机械结构设计实现供气气源的自动切换和无缝式更换,从而达到连续供气的目的,气路简单,操作简便,成本降低。

技术研发人员:李梦越;于锋
受保护的技术使用者:江苏正帆半导体设备有限公司;上海正帆半导体设备有限公司;上海正帆科技股份有限公司
技术研发日:2017.12.12
技术公布日:2018.07.10

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