一种粗糙表面的面外偏振双向反射函数测量装置的制作方法

文档序号:11131407阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种粗糙表面的面外偏振双向反射函数测量装置,其特征在于,包括光源(1)、偏振态发生器(2)、用于夹持待测材料的夹持器(3)、偏振态分析器(4)和探测器(5);所述夹持器(3)包括一个能俯仰180°旋转的转轴(31)和一个能中心360°旋转的圆形旋转台(32)以及支撑柱(33);转轴(31)的一端用于放置待测材料,转轴(31)的一端固定在圆形旋转台(32)上,圆形旋转台(32)固定在支撑柱(33)上。

2.如权利要求1所述面外偏振双向反射函数测量装置,其特征在于,所述转轴(31)包括转轴底座(311)和固定于转轴底座(311)一端旋转连接轴上的转轴旋转部件(312);圆形旋转台(32)包括转台底座(321)和固定于转台底座(321)旋转连接轴上的转台旋转部件(322);所述转轴底座(311)固定在所述转台旋转部件(322)上;支撑柱(33)的上端与转台底座(321)固定。

3.如权利要求2所述面外偏振双向反射函数测量装置,其特征在于,夹持器(3)还可以包括一个能俯仰微调的微调转轴(34),支撑柱(33)的下端固定在微调转轴(34)上。

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