对薄膜腔中的密度增加的测量的制作方法

技术总结
本发明涉及在测试腔体(10)中对样本(16)进行泄漏测试的方法，所述测试腔体(10)的腔壁的至少一部分由柔性材料构成，所述样本被放入所述测试腔体中，所述测试腔体随后被抽空；所述方法的特征在于所述泄漏测试通过在所述样本(16)外部的区域中测量所述测试腔体(10)内部的气体密度来实现。

技术研发人员：丹尼尔·维茨格;德克尔·西尔维奥
受保护的技术使用者：英福康有限责任公司
文档号码：201580013920
技术研发日：2015.03.12
技术公布日：2017.05.10