1.一种长程光学表面面形检测仪,用于对待测光学器件的表面进行面形检测,其包括移动光学头,其特征在于,
所述移动光学头包括尾纤、分束镜、单孔屏、傅里叶变换透镜和面阵探测器,所述移动光学头设置为通过所述尾纤将输入的光束出射,以使光束透过所述分束镜后入射到待测光学器件的表面上,再经所述待测光学器件的表面反射回所述分束镜,并通过所述分束镜使部分反射回的光束透过所述单孔屏的屏孔反射至所述傅里叶变换透镜,该反射的光束透过所述傅里叶变换透镜沿垂直于所述待测光学器件表面测量点的法线的方向反射至所述面阵探测器,最后在所述面阵探测器上形成测量光斑。
2.根据权利要求1所述的长程光学表面面形检测仪,其特征在于,所述单孔屏紧贴在所述傅里叶变换透镜的底面。
3.根据权利要求1所述的长程光学表面面形检测仪,其特征在于,所述尾纤的光束出射点经所述分束镜反射所成像的像点与所述单孔屏的屏孔经所述分束镜透射所成像的中心点重合。
4.根据权利要求1所述的长程光学表面面形检测仪,其特征在于,所述移动光学头还包括壳体,所述尾纤、分束镜、单孔屏、傅里叶变换透镜和面阵探测器均设置在所述壳体中。
5.根据权利要求1所述的长程光学表面面形检测仪,其特征在于,该检测仪还包括固定光学头及平面反射镜,所述平面反射镜固定在所述移动光学头上,所述固定光学头设置为向所述平面反射镜投射参考光束,并检测经所述平面反射镜反射的光束。
6.根据权利要求5所述的长程光学表面面形检测仪,其特征在于,所述固定光学头为自准直仪或f-θ角度检测系统。
7.根据权利要求1所述的长程光学表面面形检测仪,其特征在于,该检测仪还包括光纤和光源,且所述光纤连接在所述尾纤的入射端与所述光源之间。
8.根据权利要求1所述的长程光学表面面形检测仪,其特征在于,所述\t光源为非相干光源。
9.根据权利要求1所述的长程光学表面面形检测仪,其特征在于,该检测仪还包括光学平台和线性平移台,所述线性平移台位于所述光学平台上,所述移动光学头安装在所述线性平移台上。