技术总结
本发明提供一种声表面波传感器，所述传感器由Si衬底、SiO2缓冲层、换能器IDT、ZnO薄膜组成多层结构，所述多层结构从上之下依次为ZnO薄膜、换能器IDT、SiO2缓冲层及Si衬底，所述换能器IDT为同心环形结构。本发明能够有效减少声表面波向自由空间的衍射现象，减少压电基片各向异性对声电转换的影响，从而提高声电转换效率；同时可以用于生物检测的液相检测环境。
技术研发人员：徐静波;张海英
受保护的技术使用者：中国科学院微电子研究所
文档号码：201610727889
技术研发日：2016.08.25
技术公布日：2017.02.15