1.一种基于实时系统的热处理设备温度控制装置；其特征在于，包括：用于给反应腔室供热的加热器、给所述加热器供电的电力供应单元、测量所述反应腔室温度的温度测量单元、信号处理单元、包含在电力供应单元中的功率控制单元、专用温度控制器和工艺模块控制器；所述信号处理单元接收所述温度测量单元发送所述反应腔室的实时温度测量结果和温度测量单元状态信息，其中，所述工艺模块控制器与信号处理单元、专用温度控制器和电力供应单元相连；
当进行工艺前，所述工艺模块控制器将工艺文件和系统文件中配置参数和控制参数导入温度控制器；
当所述专用温度控制器启动时，接收所述工艺模块控制器发出控制指令的信号量，根据控制所述专用温度控制器配置参数和控制参数，以及所述工艺模块控制器与所述专用温度控制器间周期相同的心跳交互线程，实时执行对所述反应腔室供热的加热器的温度控制操作。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述工艺模块控制器还包括复核模块，用于对基于实时系统的所述专用温度控制器所回送收到的配置参数和控制参数的执行复核功能；即将所述专用温度控制器接收的配置参数和控制参数，发送回到所述工艺模块控制器，同初始化的配置参数和控制参数进行比较核对。
3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述专用温度控制器的温度控制操作包括温度控制启停操作、系统配置参数和控制参数交互操作、Autoprofiling功能操作、心跳信号功能操作、清除回送数据功能操作、温度控制器重置功能操作。
4.权利要求1所述的装置，其特征在于，所述专用温度控制器在完成操作时，回写各所述温度控制操作状态的完成标志位。
5.一种基于实时系统的热处理设备温度控制方法，其采用权利要求1所述的温度控制装置；其特征在于，包括如下步骤：
步骤S1：所述的热处理设备温度控制装置启动前，所述工艺模块控制器将工艺文件和系统文件中配置参数和控制参数导入所述专用温度控制器；
步骤S2：当需所述专用温度控制器启动时，所述工艺模块控制器发送的信号量给所述专用温度控制器；
步骤S3：根据控制所述专用温度控制器配置参数和控制参数，以及所述工艺模块控制器与所述专用温度控制器间的心跳交互线程，实时执行对所述反应腔室供热的加热器的温度控制的操作流程。
6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述专用温度控制器的温度控制操作流程包括温度控制启停操作流程、系统配置参数和控制参数交互操作流程、Autoprofiling功能操作流程、心跳信号功能操作流程、清除回送数据功能操作流程、温度控制器重置功能操作流程。
7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述温度控制启动操作流程包括如下步骤：
步骤A：当所述专用温度控制器启动时，根据接收到的配置参数和控制参数，初始化主函数变量、清除交互区数据、初始化控制器变量、启动与所述工艺模块控制器周期相同的心跳交互线程、启动信号量处理主循环和等待所述工艺模块控制器发出控制指令的信号量；
步骤B：所述工艺模块控制器发出控制指令的信号量，查询指令编码数组、识别指令编号和利用枚举类型进行分选。
8.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述步骤S3后还包括：步骤S4：所述专用温度控制器在完成操作时，回写各所述操作状态的完成标志位。
9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述基于实时系统的专用温度控制器心跳状态工作流程包括如下步骤：
步骤a：所述专用温度控制器启动心跳线程函数；
步骤b：按所述工艺模块控制器发送的心跳信号量，启动与所述工艺模块控制器心跳周期相同的定周期循环；
步骤c：向所述工艺模块控制器写入操作状态完成标志位；
步骤d：状态反转处理、定周期循环计数器累加；
步骤e：如果计数器累加大于一个预定值，两个计数器清零；否者，状态异常。
10.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述步骤S1还包括：将所述专用温度控制器接收的配置参数和控制参数，发送回到所述工艺模块控制器，同初始化的配置参数和控制参数进行比较核对。