源32。而且，温度控制装置10可经由次回流切换部40使未混合的流体回流至连接于次流路16的第I流体源30或第2流体源32。其结果，温度控制装置10 —方面可减少流量调整部54的个数，另一方面可维持流体的利用效率。
[0078]此处，具体说明阀的数量的减少数。再者，加热或冷却对象具有支撑排列为2X2个的4个推动器78的8个热交换部70。图8为说明比较对象的温度控制装置的阀的数量之表。图9为说明温度控制装置10的阀的数量之表。
[0079]如图8所示，由于比较对象的温度控制装置对主流路及次流路各自设置有流量调整部，因此对预热室及试验室各设置16个阀。另一方面，冷却器部中未设置阀。因此，比较对象合计设置32个阀。
[0080]如图9所示，在本实施方式的温度控制装置10中，主流路14上未设置阀，而对预热室42及试验部44各自设置有次流路16的流量调整部54、也就是说8个阀。而且，在温度控制装置10中，对冷却器部12的主切换部34、次切换部36、主回流切换部38及次回流切换部40各设置有I个合计4个阀。因此，本实施方式的温度控制装置10合计设置20个阀。
[0081]如此，本实施方式的温度控制装置10与比较对象相比，可减少12个阀。此处，如果每次进行加热或冷却的热交换部70的个数及推动器78的个数变多，则本实施方式中的预热室42及试验部44所需的阀的个数与比较对象的预热室42及试验部44所需的阀的个数之差变大。另一方面，本实施方式的冷却器部12中所设置阀的个数也可保持为4个而不论热交换部70的个数及推动器78的个数有多少。因此，如果每次进行试验的被试验设备DUT增加而导致热交换部70的个数及推动器78的个数变多，则本实施方式所需的阀的个数与比较对象所需的阀的个数之差变大。并且，由于温度控制装置10在截面积较小的次流路16上设置有流量调整部54，因此可使流量调整部54小型化。
[0082]其次，对变更后的处置器部122进行说明。图10为变更后的处置器部122的整体构成图。再者，对与处置器部22相同的构成标注相同符号并省略说明。
[0083]如图10所示，处置器部122具有预热室142、主中间流路115、中间合流部180、中间分支部182、次中间流路117及试验部144。在本实施方式中，串列连接有多个热交换部70、主流路14、次流路16、混合流路56和156、主回流流路18、次回流流路20及流量调整部154和155的群组。
[0084]在本实施方式中，延伸自冷却器部12的主流路14及次流路16仅配置于预热室142，而未配置于试验部144。因此，关于开头的、也就是说预热室142的热交换部70，对应的主流路14连接于主切换部34、对应的次流路16连接于次切换部36。另一方面，向冷却器部12延伸的主回流流路18及次回流流路20配置于试验部144，但未配置于预热室142。因此，关于末尾的、也就是说试验部144的热交换部70，对应的主回流流路18连接于主回流切换部38、对应的次回流流路20连接于次回流切换部40。
[0085]预热室142具有主分支部50、次分支部52、多个流量调整部154、多个混合流路56、多个流路温度检测部58、混合分支部60、混合合流部62及多个热交换部70。
[0086]流量调整部154对是从次流路16向混合流路56流动流体、还是从次流路16向也作为预热室142的次回流流路20而发挥功能的次中间流路117流动流体进行切换。流量调整部154的一例为3 口阀。
[0087]主中间流路115从预热室142的热交换部70的热交换流路74向试验部144延伸。主中间流路115将流经热交换流路74的混合流体FLm流向试验部144。换言之，关于第2个之后的、也就是说试验部144的热交换部70，主中间流路115将对应的主流路14连接至来自正前方的、也就是说预热室142的热交换部70的主回流流路18。
[0088]中间合流部180设置于主中间流路115的途中部。中间合流部180使多个主中间流路115合流。在本实施方式中，中间合流部180使4条主中间流路115合流。再者，中间合流部180也可使在预热室142中每I次进行预加热或预冷却的热交换部70的个数的主中间流路115合流。因此，中间合流部180也可使最多8条主中间流路115合流。
[0089]中间分支部182设置于主中间流路115的途中部且比中间合流部180靠下游侧。中间分支部182使主中间流路115分支。中间分支部182的分支数与中间合流部180的合流数相同。
[0090]次中间流路117经由流量调整部154、155而连接次流路16与主中间流路115或次回流流路20。次中间流路117将流至次流路16的流体流向主中间流路115或次回流流路20。换言之，关于第2个之后的、也就是说试验部144的热交换部70，次中间流路117将对应的次流路16连接至来自正前方的、也就是说预热室142的热交换部70的次回流流路20。
[0091]如此，通过利用中间合流部180使一部分主中间流路115合流而减少条数，可缩短流路的总长，并且可简化流路的配设。
[0092]试验部144在流体的流动中连接于预热室142的下游。试验部144具有多个流量调整部155、多个混合流路156、多个流路温度检测部58、混合分支部60、混合合流部62、主合流部64、次合流部66及多个热交换部70。试验部44的热交换部70调整试验中的被试验设备DUT的温度。
[0093]流量调整部155在试验部144中，对是从次中间流路117向混合流路156流动流体、还是从次中间流路117向次回流流路20流动流体进行切换。流量调整部155的一例为3 口阀。
[0094]混合流路156的一端连接于作为预热室142的主回流流路18而发挥功能的主中间流路115和次中间流路117。因此，混合流路156流动在主中间流路115中流动的混合流体FLm与在次中间流路117中流动的流体混合而成的新混合流体FLm。混合流路156的另一端连接于试验部144的热交换部70。因此，混合流路156将新混合流体FLm流向热交换部70。
[0095]在本实施方式中，控制部24也是基于PWM控制而控制流量调整部54、155。控制部24是以如下方式控制流量调整部154、155，即，使流体在预热室142中从次流路16流至混合流路56的时序与流体在试验部144中从次中间流路117流至混合流路156的时序不重叠。
[0096]其次，说明处置器部122的动作。
[0097]首先，说明高温试验中的处置器部122的预热室142中的动作。在预热室142中，流经主流路14而供给第I流体FL1、流经次流路16而供给第2流体FL2。第I流体FLl经由主流路14而由主分支部50分支后，流向混合流路56。第2流体FL2经由次流路16而由次分支部52分支后，到达流量调整部154。
[0098]此处，控制部24基于从预热室142的流路温度检测部58及交换温度检测部76获取的混合流体FLm的温度信息而控制流量调整部154。例如，如果控制部24判断混合流体FLm的温度高于目标温度，则控制流量调整部154而提高将次流路16连接于混合流路56的工作周期比。由此，从次流路16流向混合流路56的温度较低的第2流体FL2的流量增加，因此混合流体FLm的温度下降。另一方面，如果控制部24判断混合流体FLm的温度低于目标温度，则控制流量调整部154而提高将次流路16连接于次中间流路117的工作周期比。由此，从次流路16流向混合流路56的温度较低的第2流体FL2的流量减少，因此混合流体FLm的温度上升。
[0099]其后，混合流体FLm在预热室142的热交换部70中加热或冷却被试验设备DUT后，流经主中间流路115而被供给至试验部144。另一方面，在流量调整部154将次流路16连接于次中间流路117期间，第2流体FL2从次流路16流向次中间流路117而被供给至试验部 144。
[0100]在试验部144中，混合流体FLm流经主中间流路115并经由中间合流部180及中间分支部182而合流及分支之后，流向混合流路156。另一方面，第2流体FL2流经次中间流路117而到达流量调整部155。
[0101]此处，控制部24基于从试验部144的流路温度检测部58及交换温度检测部76获取的混合流体FLm的温度信息而控制流量调整部155。例如，如果控制部24判断混合流体FLm的温度高于目标温度，则控制流量调整部155而提高将次中间流路117连接于混合流路156的工作周期比。由此，从次中间流路117流向混合流路156的温度较低的第2流体FL2的流量增加，因此在混合流路156中流动的混合流体FLm的温度下降。另一方面，如果控制部24判断混合流体FLm的温度低于目标温度，则控制流量调整部155而提高将次中间流路117连接于次回流流路20的工作周期比。由此，从次中间流路117流向混合流路156的温度较低的第2流体FL2的流量减少，因此在混合流路156中流动的混合流体FLm的温度上升