一种开关系统及动态随机存储器的制作方法

文档序号:14475792阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及半导体技术领域,尤其涉及一种开关系统,应用于一极低温环境下;开关系统包括:全耗尽型的SOI器件,包括源极、栅极、漏极以及衬底;温度反馈电路,包括一温度采样端和一电压输出端;电压输出端连接衬底;温度反馈电路通过温度采样端采集外部环境的温度信号,并根据采集到的温度信号生成用于调节衬底中电压的一调节电压;温度反馈电路通过一电压输出端与SOI器件的衬底连接,用于输出调节电压至衬底中;SOI器件在调节电压的调节下进行工作;能够避免低温环境造成的器件中载流子冻结的情况产生,进而避免翘曲效应的产生,提高器件性能。

技术研发人员:王本艳;黄添益;陈邦明;景蔚亮
受保护的技术使用者:上海新储集成电路有限公司
技术研发日:2017.12.15
技术公布日:2018.05.18
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