用于分离第一衬底的试样固持器,装置和方法与流程

文档序号:12071453阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于通过连接层(3、3'、3"、3"'、3IV)的脆化来将第一衬底(2)与第二衬底(4)分离的方法,其中所述第一衬底通过所述连接层(3、3'、3"、3"'、3IV)与所述第二衬底(4)连接。

2.根据权利要求1所述的方法,其中所述脆化通过冷却到室温之下的温度、尤其10℃之下、优选地1℃之下、更优选地0℃之下、更优选地-100℃之下、更优选地-150℃之下的温度来进行。

3.根据权利要求1或2所述的方法,其中所述连接层(3、3'、3"、3"'、3IV)选自以下材料之一:

- 硅树脂,

- 塑料,尤其是

- 热塑性塑料,

- 热固性塑料,

- 弹性体,或者

- 蜡。

4.根据权利要求1或2所述的方法,其中所述连接层(3、3'、3"、3"')选自以下材料之一:

- 有机组分、尤其有机分子,和/或

- 无机组分、尤其无机分子,和/或

- 金属、尤其金属离子,和/或

- 金属合金,和/或

- 陶瓷。

5.根据前述权利要求之一所述的方法,其中将用来冷却所述连接层(3、3'、3"、3"'、3IV)的冷却流体(18)用于脆化。

6.根据前述权利要求之一所述的方法,其中将尤其被所述冷却流体(18)流过的具有冷却面(9、9k'、9k"、9k"')的冷却主体(9、9'、9"、9"'、9IV、9V)用于脆化、尤其是冷却,其中所述冷却面尤其具有位于0.1 W/(m*K)与5000 W/(m*K)之间的导热率、优选地位于1 W/(m*K)与2500 W/(m*K)之间的导热率、更优选地位于10 W/(m*K)与1000 W/(m*K)之间的导热率、最优选地位于100 W/(m*K)与450 W/(m*K)之间的导热率。

7.根据前述权利要求之一所述的方法,其中在分离时,将尤其具有所述冷却主体(9、9'、9"、9"'、9IV、9V)的第一试样固持器用于固持所述第一衬底,和/或将尤其具有所述冷却主体(9、9'、9"、9"'、9IV、9V)的第二试样固定器用于固持所述第二衬底。

8.根据前述权利要求之一所述的方法,在冷却和/或脆化期间和/或之后给所述连接层(3、3'、3"、3"'、3IV)施加超声。

9.一种用于将第一衬底(2)与第二衬底(4)分开的装置,其中所述第一衬底通过所述连接层(3、3'、3"、3"'、3IV)与所述第二衬底(4)连接。

10.该装置具有以下特征:

- 第一试样固持器,其用于固持所述第一衬底(2),

- 第二试样固定器,其用于固持所述第二衬底(4),

- 分离装置,其用于将所述第一衬底(2)与所述第二衬底(4)脱离,

其特征在于,

所述装置具有用于使所述连接层(3、3'、3"、3"'、3IV)脆化的装置。

11.一种方法,所述方法用于利用尤其通过冷却能够脆化的连接层(3、3'、3"、3"'、3IV)来将第一衬底(2)与第二衬底(4)接合。

12.一种能够脆化的材料的用途,将所述材料用于制造第一衬底(2)与第二衬底(4)之间的连接层(3、3'、3"、3"'),来构造由所述第一衬底(2)、所述第二衬底(4)和被布置在其之间的连接层(3、3'、3"、3"'、3IV)构成的衬底堆叠(1、1'、1"、1"'、1IV、1V)。

13.一种衬底堆叠,其由第一衬底(2)、第二衬底(4)和被布置在其之间的连接层(3、3'、3"、3"'、3IV)构成,其中所述连接层(3、3'、3"、3"'、3IV)由能够脆化的材料构成。

14.一种试样固持器,其用于在将第一衬底(2)与第二衬底(4)分离时利用能够通过温度降低来激活的固定装置来固持所述第一衬底(2)。

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