清洗装置、清洗系统、清洗方法以及清洗系统中的控制方法与流程

技术总结
清洗装置(30)为，通过清洗气体对保存被保存物的保存容器(F)的内部进行清洗处理，具备：载放保存容器的多个载放部(31)；向载放于载放部的保存容器供给清洗气体的多个供给管(33)；连接多个供给管并且向多个供给管供给清洗气体的主管(41)；以及对主管中的清洗气体的流量进行调节的MFC(43)。

技术研发人员：村田正直;山路孝;大西真司
受保护的技术使用者：村田机械株式会社
文档号码：201580028389
技术研发日：2015.04.22
技术公布日：2017.02.15