基于3D打印制备光子晶体结构LED的方法与流程

文档序号:13109077阅读:来源:国知局
技术总结
本发明属于光电子器件领域,具体涉及一种基于3D打印制备光子晶体结构LED的方法。一种基于3D打印制备光子晶体结构LED的方法,包括以下步骤:在具有的低温成核层、非故意掺杂的GaN层、N型GaN层、多量子阱有源层及P型GaN层的外延片上先刻蚀出n型层台面,然后在n型层台面上3D打印较薄的透明导电层,并在透明导电层上3D打印光子晶体,最后在n型层上3D打印n型电极,及在没有覆盖光子晶体的透明导电层上3D打印p型电极。本发明利用3D打印制备光子晶体结构LED,形成的光子晶体图形丰富,制备工艺简单,能够有效的提高生产效率。

技术研发人员:卢太平;朱亚丹;周小润;许并社;
受保护的技术使用者:太原理工大学;
文档号码:201610397017
技术研发日:2016.06.07
技术公布日:2016.09.21

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