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具有对准标记的集成电路管芯及其形成方法与流程
文档序号:11136546
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来源:国知局
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具有对准标记的集成电路管芯及其形成方法与制造工艺
技术总结
本发明的实施例提供了具有对准标记的管芯及其形成方法。一种方法包括:在第一工件的第一侧面上形成沟槽,所述第一工件的管芯介于相邻的沟槽之间;去除管芯的一部分以形成对准标记,对准标记延伸穿过管芯的整个厚度。减薄第一工件的第二侧面,直到管芯被分割,第二侧面与第一侧面相对。
技术研发人员:
陈宪伟;陈英儒
受保护的技术使用者:
台湾积体电路制造股份有限公司
文档号码:
201610557174
技术研发日:
2016.07.15
技术公布日:
2017.02.15
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